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超高速单颗粒CBN磨削的试验研究 被引量：7
1
作者 宋贵亮 蔡光起 《新技术新工艺》 北大核心 2000年第7期12-12,13,共2页
在改制的超高速试验机床上利用单颗粒 CBN磨粒进行了磨削试验 ,并对超高速磨削机理进行了初步探讨 ,从而为超高速磨削工艺技术的研究提供了依据。
关键词 超高速磨削 单颗粒CBN磨粒 试验研究
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基于ABAQUS的单颗磨粒磨削GH4169高温合金有限元分析 被引量：2
2
作者 李超 霍文国 《工具技术》 北大核心 2023年第8期86-92,共7页
通过建立单颗磨粒磨削模型,采用ABAQUS软件对GH4169高温合金的磨削过程进行有限元仿真,探究单颗磨粒在不同参数下对GH4169高温合金工件磨削过程的影响。研究表明:磨粒从切入工件后到切出工件前,磨削力稳定波动,且与磨粒前角和磨削深度... 通过建立单颗磨粒磨削模型,采用ABAQUS软件对GH4169高温合金的磨削过程进行有限元仿真,探究单颗磨粒在不同参数下对GH4169高温合金工件磨削过程的影响。研究表明:磨粒从切入工件后到切出工件前,磨削力稳定波动,且与磨粒前角和磨削深度显著相关,切向磨削力随着磨粒前角增大而显著减小,随着磨削深度的增大而显著增大;最高磨削温度出现在磨粒切入工件的时刻,且与磨粒前角、磨削深度和磨削速度相关;磨粒前角对磨屑的形状影响显著,磨粒前角越大,磨屑越难排出,磨削速度对磨屑的形状影响较小,磨削深度影响磨屑的厚度和长度。 展开更多
关键词 单颗磨粒 高温合金 磨削力 有限元分析
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基于Deform-3D轴向超声辅助磨削仿真试验 被引量：6
3
作者 王艳 张省 +2 位作者 王帅 杨林 谢建华 《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期104-111,共8页
磨削过程可视为大量随机分布磨粒切削形成的累积效应,因此可以把复杂的磨削过程简化为单颗磨粒的切削过程。提出了一种新的超声辅助单颗磨粒磨削的仿真方法:利用Deform-3D软件,对轴向超声振动辅助磨削时单颗磨粒的速度进行加载,完成磨... 磨削过程可视为大量随机分布磨粒切削形成的累积效应,因此可以把复杂的磨削过程简化为单颗磨粒的切削过程。提出了一种新的超声辅助单颗磨粒磨削的仿真方法:利用Deform-3D软件,对轴向超声振动辅助磨削时单颗磨粒的速度进行加载,完成磨削力和磨削温度的仿真。仿真结果表明:在相同磨削条件,超声振动辅助磨削弧区最高温度值低于普通磨削最高温度值;超声振动辅助磨削磨粒的法向磨削力及切向磨削力均小于普通磨削条件下所得到的磨削力;随着磨粒速度增加,磨削弧区温度升高,法向磨削力与切向磨削力下降,而其磨削力比增大;随着磨粒切削深度的增加,磨削弧区温度升高,法向磨削力与切向磨削力上升,而其磨削力比下降。 展开更多
关键词 超声 仿真 单颗磨粒 磨削
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研磨SiCp/Al复合材料微弧氧化膜的有限元仿真研究
4
作者 王政棋 于晓琳 +3 位作者 黄树涛 许立福 张玉璞 刘成炜 《机械工程师》 2023年第12期33-36,共4页
SiCp/al复合材料两相性能差异大,研磨缺陷多,通过表面微弧氧化,生成硬脆的陶瓷氧化膜,建立两相延性耦合去除的研磨条件,故基于ABAQUS有限元仿真软件,建立单磨粒研磨SiCp/Al复合材料微弧氧化膜的三维模型并进行仿真实验,得到了陶瓷膜在... SiCp/al复合材料两相性能差异大,研磨缺陷多,通过表面微弧氧化,生成硬脆的陶瓷氧化膜,建立两相延性耦合去除的研磨条件,故基于ABAQUS有限元仿真软件,建立单磨粒研磨SiCp/Al复合材料微弧氧化膜的三维模型并进行仿真实验,得到了陶瓷膜在材料去除过程中的表面应力变化规律,通过改变研磨加工工艺参数,得到不同工艺参数与切削力的关系,仿真结果表明:当其他条件一定时,研磨速度越快,磨粒切削力越小;研磨压力越大,磨粒切削力越大;磨粒越大,磨粒切削力越大。 展开更多
关键词 单磨粒 研磨 SICP/AL复合材料 陶瓷 工艺参数 有限元仿真
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单颗磨粒作用下硼硅酸盐玻璃的亚表面静态裂纹 被引量：4
5
作者 戴子华 朱永伟 +3 位作者 居志兰 李军 孙韬 左敦稳 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第9期1161-1166,共6页
利用Vickers压痕法模拟研磨抛光过程中单颗磨粒作用于K9(硼硅酸盐玻璃)工件表面过程,采用HF截面腐蚀法测量金刚石压头压入过程中的裂纹深度,探索裂纹深度与载荷和压头压入深度之间的关系,借助有限元软件ANSYS/LS-DYNA分析不同载荷下裂... 利用Vickers压痕法模拟研磨抛光过程中单颗磨粒作用于K9(硼硅酸盐玻璃)工件表面过程,采用HF截面腐蚀法测量金刚石压头压入过程中的裂纹深度,探索裂纹深度与载荷和压头压入深度之间的关系,借助有限元软件ANSYS/LS-DYNA分析不同载荷下裂纹的产生和发展过程。结果表明:在0.098～0.490N载荷范围内,裂纹以横向裂纹为主;在0.49～2.94N载荷范围内,裂纹主要为纵向裂纹,少量压坑周围出现多条明显裂纹;在2.94～9.80N载荷范围内,亚表面裂纹主要为纵向裂纹。不同载荷下K9玻璃亚表面裂纹层的深度为1.4～87.2μm;数值模拟的裂纹层深度为3.5～107.5μm。 展开更多
关键词 单颗磨粒 硼硅酸盐玻璃 亚表面裂纹 裂纹发展 氢氟酸腐蚀
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基于SPH方法的碳化硅材料单颗磨粒磨削仿真 被引量：2
6
作者 刘瑞虎 郭磊 +4 位作者 刘永胜 陈瑱贤 靳淇超 张静 高永昌 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2022年第5期55-58,共4页
为了探究不同磨削参数对碳化硅材料去除机理的影响规律,进而指导碳化硅材料的实际磨削加工。采用光滑粒子流体动力学(SPH)方法,将金刚石磨粒简化为正十二面体,对碳化硅材料在不同磨削速度及磨削深度下进行了三维仿真,通过单一变量法对... 为了探究不同磨削参数对碳化硅材料去除机理的影响规律,进而指导碳化硅材料的实际磨削加工。采用光滑粒子流体动力学(SPH)方法,将金刚石磨粒简化为正十二面体,对碳化硅材料在不同磨削速度及磨削深度下进行了三维仿真,通过单一变量法对材料去除率和磨削力进行了分析。结果表明较高的磨削速度和低的磨削深度可以降低残余应力,提高零件的表面质量,在磨削速度小于40 m/s时,磨削深度对材料去除率的影响甚微,在磨削速度较大时,磨削深度的提升能有效提高材料去除率;而在磨削深度小于0.2μm时,磨削速度对磨削力无明显影响;在较大的磨削深度时,磨削力随着磨削速度的增大而显著提升。 展开更多
关键词 SPH方法 单颗磨粒 碳化硅 磨削仿真
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基于微切削模型的不锈钢研磨表面残余应力规律 被引量：3
7
作者 袁巨龙 韩文杰 +2 位作者 杜东兴 黄文 吕迅 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第1期422-431,共10页
目的基于单颗粒微切削模型,研究分析研磨工艺对HR-2抗氢不锈钢工件表面残余应力的演化规律与产生机制的影响。方法建立研磨磨粒单颗粒微切削残余应力数学模型,采用正交试验获得研磨工艺参数与表面残余应力大小、磨粒微切削切深和切向力... 目的基于单颗粒微切削模型,研究分析研磨工艺对HR-2抗氢不锈钢工件表面残余应力的演化规律与产生机制的影响。方法建立研磨磨粒单颗粒微切削残余应力数学模型,采用正交试验获得研磨工艺参数与表面残余应力大小、磨粒微切削切深和切向力回归方程,利用单因素试验对研磨工艺进行验证,获得研磨工艺参数对表面残余应力大小、表面磨粒切深和切向力的影响规律,并开展单因素试验结果与数学模型计算结果对比研究。结果试验中,磨粒粒径从10μm变化为50μm时,残余应力从–130 MPa变化至–345MPa;研磨压力从10 N变化至50 N时,残余应力从–135 MPa变化至–253 MPa;而转速的变化对残余应力结果的影响规律不显著。不同工艺参数试验中,模型所得计算值和试验值误差基本在10%以内。结论根据正交试验结果和单因素试验得出,研磨工艺对残余应力影响的显著度从高到低为磨粒粒径>研磨压力>研磨转速,磨粒切深和切向力与残余应力关系显著,建立的单颗粒研磨模型可以预测不同研磨工艺参数条件下的残余应力产生规律。 展开更多
关键词 残余应力 表面完整性 抗氢不锈钢 研磨工艺 微切削模型 残余应力预测模型 单磨粒
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单磨粒作用下Al_2O_3-TiC-TiN复合陶瓷的摩擦磨损特性
8
作者 郭绍义 茅东升 +1 位作者 郦剑 毛志远 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1997年第6期875-879,共5页
本文利用置于扫描电子显微镜（SEM）中的销-盘（pin－disk）式滑动摩擦磨损试验装置，研究了在单颗粒磨粒的作用下Al_2O_3－TiC－TiN复合陶瓷的摩擦磨损特性．结果显示，在真空和空气两种环境中，该材料的摩擦行为具有不同的特点．其磨... 本文利用置于扫描电子显微镜（SEM）中的销-盘（pin－disk）式滑动摩擦磨损试验装置，研究了在单颗粒磨粒的作用下Al_2O_3－TiC－TiN复合陶瓷的摩擦磨损特性．结果显示，在真空和空气两种环境中，该材料的摩擦行为具有不同的特点．其磨损机理，在磨损初期表现为明显的微切削，随着磨损的进行，其机理以脆性的微断裂为主．同时还表明，在三体磨粒磨损条件下，磨粒的相对软硬显著地影响该陶瓷的磨损率． 展开更多
关键词 复合陶瓷 单磨粒 摩擦 磨损 陶瓷
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单颗磨粒磨削AISI 1045钢的磨削力实验研究 被引量：1
9
作者 张琤 李光 +2 位作者 马志飞 梁国星 吕明 《太原理工大学学报》 CAS 北大核心 2018年第5期698-703,共6页
采用回转直径为400 mm的单颗PCBN磨粒对AISI 1045钢进行磨削实验。使用Kistler 9119AA2型三维测力仪实时测量磨削力,借助扫描电子显微镜(SEM)观察工件表面质量和磨削形态。研究了磨削工艺参数对磨削力的影响规律,并就磨削速度对表面质... 采用回转直径为400 mm的单颗PCBN磨粒对AISI 1045钢进行磨削实验。使用Kistler 9119AA2型三维测力仪实时测量磨削力,借助扫描电子显微镜(SEM)观察工件表面质量和磨削形态。研究了磨削工艺参数对磨削力的影响规律,并就磨削速度对表面质量的影响进行了分析。结果表明:磨削工艺参数对磨削力有显著的影响,磨削力随磨削线速度增大而减小,随磨削深度增大而增大,随磨粒前角增大而减小;磨削线速度越大,工件表面质量越好,毛刺越少;负前角单颗磨粒磨屑形态主要有卷曲形和螺旋形两种。 展开更多
关键词 单颗磨粒 PCBN磨粒 AISI1045 磨削力 测力仪 磨削速度 表面质量
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基于ABAQUS的磨粒对刀具刃口钝化的分析 被引量：1
10
作者 赵雪峰 杜宇超 吴志鹏 《工具技术》 2018年第8期83-86,共4页
刀具钝化技术通过改变刀具的切削刃微观形貌及轮廓来提高刀具寿命和切削过程的稳定性。根据立式旋转钝化法的特点,采用ABAQUS有限元分析软件建立仿真模型,对单磨粒和多磨粒对刀具刃口的钝化进行模拟,研究刀具钝化过程中磨粒速度、刀具... 刀具钝化技术通过改变刀具的切削刃微观形貌及轮廓来提高刀具寿命和切削过程的稳定性。根据立式旋转钝化法的特点,采用ABAQUS有限元分析软件建立仿真模型,对单磨粒和多磨粒对刀具刃口的钝化进行模拟,研究刀具钝化过程中磨粒速度、刀具刃口应力、刀具刃口位移和能量等的变化规律,对于提高刀具钝化的效率以及研究刀具刃口钝化机制具有重要的意义。 展开更多
关键词 刀具钝化 ABAQUS 单磨粒 多磨粒
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基于SPH方法的单颗粒磨削BK7光学玻璃仿真分析
11
作者 刘瑞虎 郭鹏举 +1 位作者 张辉 刘永胜 《南方农机》 2022年第7期131-132,147,共3页
为了研究不同磨削参数下单颗粒磨削对BK7光学玻璃材料去除机理的影响规律,采用SPH(光滑粒子流体动力学)方法,将金刚石磨粒理想化为圆锥形,通过改变不同磨削参数对材料去除过程和磨削力进行了分析。结果表明:1)磨削过程中BK7光学玻璃主... 为了研究不同磨削参数下单颗粒磨削对BK7光学玻璃材料去除机理的影响规律,采用SPH(光滑粒子流体动力学)方法,将金刚石磨粒理想化为圆锥形,通过改变不同磨削参数对材料去除过程和磨削力进行了分析。结果表明:1)磨削过程中BK7光学玻璃主要是通过脆性方式去除的;2)随着磨削深度的增大,磨削力不断增大;3)随着磨削速度的增大,磨削力先增大后减小,当磨削速度达到超高速时,磨削速度的变化对磨削力影响甚微。 展开更多
关键词 SPH方法 单颗粒磨粒 BK7光学玻璃 磨削力
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单颗磨粒干涉划擦过程的材料回弹分析
12
作者 翁石光 《齐齐哈尔大学学报（自然科学版）》 2022年第4期31-36,53,共7页
在实际的磨削加工中,由于被加工材料在加工过程中会发生弹塑性变形,材料在被磨削后会有一定程度的回弹,这一现象会影响磨粒在划擦过程中切削厚度的分布,这便是磨削加工中的材料回弹现象。旨在通过划擦实验研究手段来探究回弹的规律及本... 在实际的磨削加工中,由于被加工材料在加工过程中会发生弹塑性变形,材料在被磨削后会有一定程度的回弹,这一现象会影响磨粒在划擦过程中切削厚度的分布,这便是磨削加工中的材料回弹现象。旨在通过划擦实验研究手段来探究回弹的规律及本质。通过划擦实验分析了划擦过程中的划擦力和力比随划擦深度和压头大小的变化规律,以及材料弹塑性回弹所产生的回弹比随划擦深度和压头大小的变化规律。 展开更多
关键词 单颗磨粒 划擦 钛合金(Ti-6Al-4V) 材料回弹
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基于光学玻璃磨削的磨粒冲击裂纹系统研究
13
作者 陈江 张飞虎 《哈尔滨商业大学学报（自然科学版）》 CAS 2017年第1期52-55,共4页
光学玻璃磨削过程中磨粒对光学玻璃的冲击作用直接关系到亚表面裂纹的形态和深度.因此光学玻璃磨削磨粒动态冲击作用的研究是光学制造领域重要基础性课题.根据应力张量理论和最大拉应力准则研究了柱面应力波最大拉应力的主方向,得到了... 光学玻璃磨削过程中磨粒对光学玻璃的冲击作用直接关系到亚表面裂纹的形态和深度.因此光学玻璃磨削磨粒动态冲击作用的研究是光学制造领域重要基础性课题.根据应力张量理论和最大拉应力准则研究了柱面应力波最大拉应力的主方向,得到了磨粒冲击硬脆光学材料亚表面裂纹开裂的方向和裂纹系统的形态.通过光学玻璃单颗粒磨削实验,试件截面抛光、扫描电镜(SEM)检测亚表面裂纹系统的形态,实验结果显示,亚表面裂纹开裂的方向和裂纹系统的形态与理论研究的结果一致.光学玻璃单颗粒磨削磨粒动态冲击实验结果表明,光学玻璃磨削亚表面裂纹是磨粒动态冲击裂纹,磨粒动态冲击裂纹系统由径向裂纹和环向裂纹构成,光学玻璃材料磨削过程中磨粒的冲击作用是亚表面裂纹生成的重要影响因素. 展开更多
关键词 磨削 光学玻璃 动态冲击作用 亚表面裂纹形态 单颗粒磨削
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单颗磨粒磨削仿真研究进展 被引量：14
14
作者 刘伟 刘仁通 +1 位作者 邓朝晖 商圆圆 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期1-8,共8页
概述了传统磨削仿真的基本方法及发展过程,总结了磨粒模型和工件模型的研究现状,具体分析了有限元法、光滑流体粒子动力学法、分子动力学法以及综合仿真方法等应用于单颗磨粒磨削材料的去除机理、成屑机理、工件表面质量以及磨粒磨损等... 概述了传统磨削仿真的基本方法及发展过程,总结了磨粒模型和工件模型的研究现状,具体分析了有限元法、光滑流体粒子动力学法、分子动力学法以及综合仿真方法等应用于单颗磨粒磨削材料的去除机理、成屑机理、工件表面质量以及磨粒磨损等仿真中的研究现状,最后阐述了各类仿真方法的局限性,并提出了单颗磨粒磨削仿真进一步的发展前景。 展开更多
关键词 单颗磨粒 磨削仿真 有限元 光滑流体粒子动力学 分子动力学
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超临界二氧化碳射流中的颗粒跟随及影响因素 被引量：11
15
作者 贺振国 李根生 +4 位作者 王海柱 田守嶒 沈忠厚 邵尚奇 刘新云 《石油学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期475-484,共10页
超临界二氧化碳射流具有破岩速度高、门限压力低等优势,加入磨料颗粒形成超临界二氧化碳磨料射流,将取得更高的冲蚀切割效率。为研究超临界二氧化碳磨料射流可行性,采用数值模拟方法,对比分析了单个颗粒在超临界二氧化碳等流体射流中的... 超临界二氧化碳射流具有破岩速度高、门限压力低等优势,加入磨料颗粒形成超临界二氧化碳磨料射流,将取得更高的冲蚀切割效率。为研究超临界二氧化碳磨料射流可行性,采用数值模拟方法,对比分析了单个颗粒在超临界二氧化碳等流体射流中的运动特征,揭示了流体温度、磨料粒径对颗粒跟随运动的影响规律。结果表明,与相同条件下在水与压裂液射流中相比,磨料颗粒在超临界二氧化碳射流中运动规律相似,但初始滑脱速度较大、跟随能力较弱,获得的喷射速度与撞击靶件壁面速度较高,表明超临界二氧化碳具有良好的颗粒携带能力;流体温度升高、磨料粒径增大均会使颗粒滑脱速度增大、削弱跟随运动效率,但同时也降低了喷嘴外流场中颗粒所受运动阻力,显著提高了喷射速度与撞击壁面速度。由此可知,对于石英、陶粒等常用磨料材质,在常规储层温度(60~140℃)与粒径范围(20~70目)内,超临界二氧化碳磨料射流可有效形成并进行高效冲蚀切割作业。 展开更多
关键词 超临界二氧化碳 射流 单个颗粒 跟随 影响因素
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单颗立方氮化硼磨粒切削特性及工件材料变形行为的微观力学分析 被引量：9
16
作者 宿崇 丁江民 +1 位作者 许立 李明高 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期425-431,共7页
为了解决有限元法模拟切屑分离时的网格束缚问题,采用有限元法和光滑粒子流体动力学(SPH)法的耦合方法进行了单颗立方氮化硼(CBN)磨粒切削过程的微观力学仿真。通过CBN磨粒与工件材料的应力变化与分布情况以及切削层SPH粒子的运动情况,... 为了解决有限元法模拟切屑分离时的网格束缚问题,采用有限元法和光滑粒子流体动力学(SPH)法的耦合方法进行了单颗立方氮化硼(CBN)磨粒切削过程的微观力学仿真。通过CBN磨粒与工件材料的应力变化与分布情况以及切削层SPH粒子的运动情况,从微观角度分析了单颗CBN磨粒的切削成屑机理,并分析了CBN磨粒的几何特征对工件材料切削变形的影响;采用陶瓷CBN砂轮贴片样块进行了磨粒划擦实验,结果表明:磨粒的推挤使工件材料发生塑性变形,沿磨粒的前方及两侧隆起,并最终于磨粒的前方流出而形成磨屑;磨刃前角增大,剪切角随之增大,导致磨粒的耕犁作用减弱而切削作用增强。磨粒刃边强度低、接触应力大,磨损速率较快,易于发生磨耗及微破碎磨损而使磨粒钝化。 展开更多
关键词 机械制造工艺与设备 磨削 单颗磨粒 仿真 有限元法 光滑粒子流体动力学法
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基于不同单颗磨粒模型的微细磨削力研究 被引量：10
17
作者 杨军 李志鹏 +2 位作者 李伟 任莹晖 周志雄 《湖南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第8期54-62,共9页
微细磨削技术能够实现硬脆材料复杂结构微小零件的高精高效低成本加工.通过深入分析微细磨削机理,考虑刃角圆弧半径的影响,建立了圆锥、球形、三棱锥、四棱锥等4种单颗磨粒切削力模型;采用VHX-1000超景深光学显微镜对Φ0.5mm、#600微磨... 微细磨削技术能够实现硬脆材料复杂结构微小零件的高精高效低成本加工.通过深入分析微细磨削机理,考虑刃角圆弧半径的影响,建立了圆锥、球形、三棱锥、四棱锥等4种单颗磨粒切削力模型;采用VHX-1000超景深光学显微镜对Φ0.5mm、#600微磨棒表面磨粒形状进行观测分析并统计,建立了基于单一磨粒模型和基于综合磨粒模型的微细磨削力模型;在ZCuZn38上进行微细磨削试验,对比研究了微细磨削力理论计算结果与试验结果,并基于理论模型讨论了微细磨削力随工艺参数的变化规律.结果表明,单一磨粒模型微细磨削力与综合磨粒模型微细磨削力均能预测不同工艺条件下的微细磨削力,但综合模型微细磨削力的误差最小;不同磨粒模型计算得出的法向磨削力较为一致,但切向磨削力差异较大. 展开更多
关键词 微细磨削 单颗磨粒 磨削力 微磨棒 模型
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基于单颗磨粒磨削的超声振动参数与磨削参数匹配性研究 被引量：9
18
作者 丁凯 傅玉灿 +2 位作者 苏宏华 李奇林 雷卫宁 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第19期59-65,共7页
超声辅助磨削是一种适于加工陶瓷等硬脆材料的先进复合加工技术。超声辅助磨削过程中,超声振动参数与磨削用量的匹配性决定了超声振动作用对磨削过程的影响程度,目前尚缺乏深入的研究。针对这一问题,采用单颗磨粒工具对Si C陶瓷工件抛... 超声辅助磨削是一种适于加工陶瓷等硬脆材料的先进复合加工技术。超声辅助磨削过程中,超声振动参数与磨削用量的匹配性决定了超声振动作用对磨削过程的影响程度,目前尚缺乏深入的研究。针对这一问题,采用单颗磨粒工具对Si C陶瓷工件抛光表面进行超声辅助磨削及普通磨削试验,通过单颗磨粒磨削力、力比、磨削划痕形貌的对比,分析超声振动作用对磨削过程的影响随磨削用量变化的规律。结果表明,相同条件下单颗磨粒超声辅助磨削的磨削力与力比均小于普通磨削时;磨削用量较小时,单颗磨粒超声辅助磨削划痕形貌呈明显的锤击作用及断续磨削特征。随磨削用量的增大,超声辅助磨削过程中的锤击作用显著弱化,断续磨削特征趋于消失,两种方法之间的磨削力差异减小,即超声振动参数与磨削用量的匹配性变差。 展开更多
关键词 超声辅助磨削 单颗磨粒磨削 磨削力 磨削划痕形貌 匹配性
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单颗磨粒划擦SiCf/SiC陶瓷基复合材料的试验研究 被引量：7
19
作者 周雯雯 王建青 +1 位作者 赵晶 刘瑶 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2021年第1期51-57,共7页
为研究SiC纤维(SiCf)增强SiC陶瓷基复合材料(SiCf/SiC)的磨削损伤机理,搭建试验平台开展单颗磨粒划擦试验,测量划擦力并观察其表面损伤形式,研究磨粒形状、划痕深度和SiCf取向对复合材料磨削机理的影响。试验结果表明:SiCf/SiC陶瓷基复... 为研究SiC纤维(SiCf)增强SiC陶瓷基复合材料(SiCf/SiC)的磨削损伤机理,搭建试验平台开展单颗磨粒划擦试验,测量划擦力并观察其表面损伤形式,研究磨粒形状、划痕深度和SiCf取向对复合材料磨削机理的影响。试验结果表明:SiCf/SiC陶瓷基复合材料的划擦损伤形式主要有基体崩碎、纤维裂纹、断裂和拔出等。在SiCf/SiC陶瓷基复合材料划擦过程中,尖锐状磨粒的划擦力更小,且整条划痕的表面损伤范围较扁平状磨粒的小。用扁平状磨粒划擦但纤维取向γ=0°时,划痕形貌中纤维断裂、纤维拔出等损伤形式出现较少。 展开更多
关键词 单颗磨粒划擦 SiCf/SiC陶瓷基复合材料 纤维取向 划擦力 表面形貌
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不同磨料对蓝宝石CMP的影响 被引量：6
20
作者 赵云鹤 檀柏梅 +2 位作者 牛新环 甄加丽 郭倩 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第2期120-125,共6页
在化学机械抛光(CMP)系统中,磨料是决定去除速率和表面状态的重要因素。在单一磨料下进行了单因素实验,在不同的压力、转速、流量和温度下对比了SiO2磨料和Al2O3磨料对蓝宝石去除速率及表面状态的影响;同时也探究了混合磨料对蓝宝石去... 在化学机械抛光(CMP)系统中,磨料是决定去除速率和表面状态的重要因素。在单一磨料下进行了单因素实验,在不同的压力、转速、流量和温度下对比了SiO2磨料和Al2O3磨料对蓝宝石去除速率及表面状态的影响;同时也探究了混合磨料对蓝宝石去除速率的影响。研究表明,在单一磨料的CMP实验中,当压力为4 psi(1 psi=6 894.76 Pa)、转速为80 r/min、流量为70 mL/min和温度为35℃时,SiO2磨料对蓝宝石的去除速率高,表面状态好;在混合磨料的CMP实验中,和单一的SiO2磨料相比,Al2O3/SiO2混合磨料对蓝宝石的去除速率要低很多,而SiO2/CeO2混合磨料的去除速率要比单一SiO2磨料的略高一些。 展开更多
关键词 蓝宝石 化学机械抛光(CMP) 单一磨料 混合磨料 去除速率
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