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针孔缺陷对集成电路功能成品率影响分析与仿真
被引量:
4
1
作者
马佩军
郝跃
刘红侠
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第1期102-106,共5页
对集成电路针孔缺陷引起功能成品率下降的模型进行了研究 ,给出了分析和仿真针孔功能成品率的两种计算方法—— Monte- Carlo方法和关键面积提取方法 。
关键词
集成电路
仿真
针孔缺陷
功能成品率
下载PDF
职称材料
矩形封闭腔内非饱和多孔介质的传热传质特性研究
被引量:
2
2
作者
黄晓明
刘伟
+3 位作者
危日光
朱光明
杨昆
黄素逸
《工程热物理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第4期461-464,共4页
本文建立了矩形封闭腔内非饱和多孔介质的二维传热传质数理模型,并对R113的蒸发相交进行了数值模拟。根据计算结果着重讨论了流体瑞利数Ra,介质达西数Da以及腔体冷热端温差△T的变化对其传热传质特性的影响,得出一些有用的...
本文建立了矩形封闭腔内非饱和多孔介质的二维传热传质数理模型,并对R113的蒸发相交进行了数值模拟。根据计算结果着重讨论了流体瑞利数Ra,介质达西数Da以及腔体冷热端温差△T的变化对其传热传质特性的影响,得出一些有用的可指导工程实践的结论。
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关键词
矩形封闭腔
非饱和多孔介质
传热系统
数值模拟
下载PDF
职称材料
题名
针孔缺陷对集成电路功能成品率影响分析与仿真
被引量:
4
1
作者
马佩军
郝跃
刘红侠
机构
西安电子科技大学微电子所
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第1期102-106,共5页
基金
国家科技攻关 96 -738资助项目&&
文摘
对集成电路针孔缺陷引起功能成品率下降的模型进行了研究 ,给出了分析和仿真针孔功能成品率的两种计算方法—— Monte- Carlo方法和关键面积提取方法 。
关键词
集成电路
仿真
针孔缺陷
功能成品率
Keywords
IC
Monte-
Carlo
method
sim
ulatio
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
矩形封闭腔内非饱和多孔介质的传热传质特性研究
被引量:
2
2
作者
黄晓明
刘伟
危日光
朱光明
杨昆
黄素逸
机构
华中理工大学动力工程系
出处
《工程热物理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第4期461-464,共4页
基金
国家重点基础研究发展规划资助项目(No.G2000 0263 03)
国家自然科学基金资助项目(No.59976010)
湖北
文摘
本文建立了矩形封闭腔内非饱和多孔介质的二维传热传质数理模型,并对R113的蒸发相交进行了数值模拟。根据计算结果着重讨论了流体瑞利数Ra,介质达西数Da以及腔体冷热端温差△T的变化对其传热传质特性的影响,得出一些有用的可指导工程实践的结论。
关键词
矩形封闭腔
非饱和多孔介质
传热系统
数值模拟
Keywords
enclosure
rectangle
unsaturated
porous
media
heat
and
mass
transfer
numerical
sim
-
ulatio
分类号
TK124 [动力工程及工程热物理—工程热物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
针孔缺陷对集成电路功能成品率影响分析与仿真
马佩军
郝跃
刘红侠
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
4
下载PDF
职称材料
2
矩形封闭腔内非饱和多孔介质的传热传质特性研究
黄晓明
刘伟
危日光
朱光明
杨昆
黄素逸
《工程热物理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
2
下载PDF
职称材料
已选择
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