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GaAs/Ge太阳能电池电极银镀层结合力的研究 被引量:3
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作者 李晓婷 汪韬 +1 位作者 赛小锋 王警卫 《激光与光电子学进展》 CSCD 2004年第12期31-33,共3页
采用自制的LP-MOCVD设备,在Ge衬底外延生长出GaAs电池结构,并对电池结构片进行了后工艺制作,同时对电极制作中银镀层结合力的影响因素进行了研究。研究结果表明选择带电入池,无冲击电流方式时,可增强银镀层的结合力。同时采用扫描电子... 采用自制的LP-MOCVD设备,在Ge衬底外延生长出GaAs电池结构,并对电池结构片进行了后工艺制作,同时对电极制作中银镀层结合力的影响因素进行了研究。研究结果表明选择带电入池,无冲击电流方式时,可增强银镀层的结合力。同时采用扫描电子显微镜(SEM)和电子微探针对n型Ge衬底上AuGeNi背电极不同层面的成分进行了分析测试.测试数据表明钨污染将会使银镀层结合力变差。 展开更多
关键词 镀层 结合力 增强 电极 研究 成分 SEM 电池结构 太阳能电池 带电
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