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SOI微型电场传感器的设计与测试 被引量:20
1
作者 杨鹏飞 彭春荣 +2 位作者 张海岩 刘世国 夏善红 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2011年第11期2771-2774,共4页
该文研制了一种新型的基于SOI(Silicon-On-Insulator)微机械加工技术的高性能电场传感器敏感结构。为提高传感器的灵敏度和信噪比,该器件采用侧面屏蔽感应电极的独特设计方案,降低了传感器屏蔽电极的边缘效应;并基于有限元仿真,进一步... 该文研制了一种新型的基于SOI(Silicon-On-Insulator)微机械加工技术的高性能电场传感器敏感结构。为提高传感器的灵敏度和信噪比,该器件采用侧面屏蔽感应电极的独特设计方案,降低了传感器屏蔽电极的边缘效应;并基于有限元仿真,进一步优化了传感器敏感结构参数。在室温和室内大气压条件下,测试表明,测试量程0~50kV/m,传感器总不确定度优于2%,分辨率为50 V/m。 展开更多
关键词 电场微传感器 微机电系统(MEMS) 绝缘体上硅(soi) 分辨率
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基于PML边界的有限差分法及其在光波导泄漏损耗计算中的应用 被引量:13
2
作者 徐静 戴道锌 何赛灵 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第12期1426-1429,共4页
利用结合完美匹配层 (PML)边界的有限差分法计算了光波导的泄漏损耗 通过采用非均匀格点差分格式和反正切坐标变换的方法 ,有效地减小了计算量并提高了计算精度 分析了PI(polyimide)掩埋型波导和SOI(silicon on insulator)脊型波导两... 利用结合完美匹配层 (PML)边界的有限差分法计算了光波导的泄漏损耗 通过采用非均匀格点差分格式和反正切坐标变换的方法 ,有效地减小了计算量并提高了计算精度 分析了PI(polyimide)掩埋型波导和SOI(silicon on insulator)脊型波导两种典型结构的泄漏损耗 ,给出了波导结构尺寸对泄漏损耗的影响 。 展开更多
关键词 有限差分法 完美匹配层边界 泄漏损耗 反正切变换 非均匀格点 聚酰亚胺 soi
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SoI基微环谐振可调谐滤波器 被引量:11
3
作者 姜宏伟 吴远大 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期813-815,共3页
采用电子束光刻和ICP刻蚀等工艺制作出绝缘体上Si(SoI)基纳米线波导微环谐振(MRR)滤波器,波导截面尺寸为300 nm×320 nm,微环半径为5μm。测试结果表明,器件的自由频谱宽度(FSR)为16.8 nm,1.55μm波长附近的消光比(ER)为18.... 采用电子束光刻和ICP刻蚀等工艺制作出绝缘体上Si(SoI)基纳米线波导微环谐振(MRR)滤波器,波导截面尺寸为300 nm×320 nm,微环半径为5μm。测试结果表明,器件的自由频谱宽度(FSR)为16.8 nm,1.55μm波长附近的消光比(ER)为18.1 dB。通过对MRR滤波器进行热光调制,在21.4-60.0℃温度范围内实现了4.8 nm波长范围的可调谐滤波特性,热光调谐效率达到0.12 nm/℃。 展开更多
关键词 绝缘体上Si(soi) 纳米线波导 微环谐振(MRR) 滤波器 热光效应
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SOI材料和器件及其应用的新进展 被引量:8
4
作者 林成鲁 张正选 刘卫丽 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第9期658-663,共6页
综述了绝缘层上的硅(SOI)材料的新结构包括不同绝缘埋层和不同半导体材料结构的最新进展,介绍了SOI器的新结构和SOI器件在抗辐射电子学方面的应用,报道了国内在SOI技术的研发和产业化的最新动态。
关键词 绝缘层上的硅(soi) 辐射 soi产业化
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基于SOI岛膜结构的高温压力传感器 被引量:9
5
作者 杨娇燕 梁庭 +6 位作者 李鑫 李旺旺 林立娜 李奇思 赵丹 雷程 熊继军 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第9期635-641,共7页
针对绝缘体上硅(SOI)压力传感器平模结构下压敏电阻所在区域应力跨度过大而导致的线性度降低问题,采用了岛膜结构改善敏感膜片表面的应力分布,使压敏电阻能够完全布置在应力集中区,从而提高传感器的灵敏度和线性度。使用有限元分析软... 针对绝缘体上硅(SOI)压力传感器平模结构下压敏电阻所在区域应力跨度过大而导致的线性度降低问题,采用了岛膜结构改善敏感膜片表面的应力分布,使压敏电阻能够完全布置在应力集中区,从而提高传感器的灵敏度和线性度。使用有限元分析软件对岛膜结构进行力学性能分析,根据敏感膜片表面应力分布情况确定压敏电阻最优的位置分布,并完成敏感芯片的制备。对完成的敏感芯片进行封装并进行温度-压力的复合测试,测试结果表明在19~200℃、量程2 MPa范围内,该传感器有较高的灵敏度(0.055 mV/kPa)和线性度(0.995)。 展开更多
关键词 绝缘体上硅(soi) 压敏电阻 岛膜结构 压力传感器 有限元分析
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Gate-tunable high-performance broadband phototransistor array of two-dimensional PtSe_(2) on SOI 被引量:4
6
作者 Yexin Chen Qinghai Zhu +4 位作者 Xiaodong Zhu Yijun Sun Zhiyuan Cheng Jing Xu Mingsheng Xu 《Nano Research》 SCIE EI CSCD 2023年第5期7559-7567,共9页
Two-dimensional(2D)layered materials have attracted extensive research interest in the field of high-performance photodetection due to their high carrier mobility,tunable bandgap,stability,other excellent properties.H... Two-dimensional(2D)layered materials have attracted extensive research interest in the field of high-performance photodetection due to their high carrier mobility,tunable bandgap,stability,other excellent properties.Herein,we propose a gate-tunable,high-performance,self-driving,wide detection range phototransistor based on a 2D PtSe_(2)on silicon-oninsulator(SOI).Benefiting from the strong built-in electric field of the PtSe_(2)/Si heterostructure,the phototransistor has a fast response time(rise/fall time)of 36.7/32.6μs.The PtSe_(2)/Si phototransistor exhibits excellent photodetection performance over a broad spectral range from ultraviolet to near-infrared,including a responsivity of 1.07 A/W and a specific detectivity of 6.60×10^(9)Jones under 808 nm illumination at zero gate voltage.The responsivity and specific detectivity of PtSe_(2)/Si phototransistor at 5 V gate voltage are increased to 13.85 A/W and 1.90×10^(10) Jones under 808 nm illumination.Furthermore,the fabricated PtSe_(2)/Si phototransistor array shows excellent uniformity,reproducibility,long-term stability in terms of photoresponse performance with negligible variation between pixel cells.The architecture of present PtSe_(2)/Si on SOI platform paves a new way of a general strategy to realize high-performance photodetectors by combining the advantages of both 2D materials and conventional semiconductors which is compatible with current Si-complementary metal oxide semiconductor(CMOS)process. 展开更多
关键词 two-dimensional PtSe_(2) silicon-on-insulator(soi) HETEROJUNCTION PHOTOTRANSISTOR gate voltage modulation
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SOI高温压阻式压力传感器的设计与制备 被引量:7
7
作者 李鑫 梁庭 +5 位作者 赵丹 雷程 杨娇燕 李志强 王文涛 熊继军 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第6期408-414,共7页
设计并制备了一种基于绝缘体上硅(SOI)材料、量程为5Pa~1.8MPa的压阻式压力传感器。在设计方面,通过有限元分析软件和经典理论相结合分析敏感膜片的力学性能和电学性能,得到敏感膜片的尺寸和表面电势的分布;在工艺方面,设计了... 设计并制备了一种基于绝缘体上硅(SOI)材料、量程为5Pa~1.8MPa的压阻式压力传感器。在设计方面,通过有限元分析软件和经典理论相结合分析敏感膜片的力学性能和电学性能,得到敏感膜片的尺寸和表面电势的分布;在工艺方面,设计了基于标准微电子机械系统(MEMS)工艺的制作流程;在芯片的封装方面,为保证敏感芯片与外界的电气互连,采用了引线键合工艺,同时装配温度补偿电路和信号调理电路降低了传感器的温漂,保证传感器的输出。制备后的压力传感器在温度压力复合平台进行标定和温度测试,结果显示传感器在设计量程范围内具有较好的精度并且可在-50-205℃内稳定工作。 展开更多
关键词 绝缘体上硅(soi) 压力传感器 压敏电阻 引线键合 有限元分析
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弯曲波导研究进展及其应用 被引量:7
8
作者 高峰 秦莉 +6 位作者 陈泳屹 贾鹏 陈超 梁磊 陈红 张星 宁永强 《中国光学》 EI CAS CSCD 2017年第2期176-193,共18页
本文主要分析了弯曲波导损耗机理,包括传输损耗、辐射损耗、模式转换损耗。重点综述了设计低损耗弯曲波导的方法,包括波导材料、弯曲波导的曲线形状、波导种类、脊型波导的宽度、脊高、弯曲半径、模场分布、弯曲波导曲线形状和其他新型... 本文主要分析了弯曲波导损耗机理,包括传输损耗、辐射损耗、模式转换损耗。重点综述了设计低损耗弯曲波导的方法,包括波导材料、弯曲波导的曲线形状、波导种类、脊型波导的宽度、脊高、弯曲半径、模场分布、弯曲波导曲线形状和其他新型波导结构等。简要概括了近年来设计和制备低损耗弯曲波导的代表性工作。介绍了弯曲波导在集成光学中的应用。通过对弯曲波导的损耗及耦合机制理论的不断完善,实现光在较小弯曲半径的低损耗传输,从而提高集成光学的集成度是弯曲波导今后的发展趋势。 展开更多
关键词 弯曲波导 集成光学 soi 低损耗波导
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一种振动测量用电容式硅基MEMS加速度计 被引量:3
9
作者 王宁 杨拥军 +1 位作者 任臣 温彦志 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第1期108-115,共8页
为了解决目前微电子机械系统(MEMS)加速度计在振动测量领域量程小和振动测量精度低等问题,基于绝缘体上硅(SOI)加工工艺,设计并制作了一款梳齿电容式MEMS加速度计。通过提高工作模态频率和干扰模态频差,提升了加速度计振动环境适应性;... 为了解决目前微电子机械系统(MEMS)加速度计在振动测量领域量程小和振动测量精度低等问题,基于绝缘体上硅(SOI)加工工艺,设计并制作了一款梳齿电容式MEMS加速度计。通过提高工作模态频率和干扰模态频差,提升了加速度计振动环境适应性;加速度计量程达到±50g,非线性度0.2%,横向灵敏度0.17%,分辨率优于0.5mg,体积9 mm×9 mm×2.7 mm,功率损耗30 mW。针对随机振动环境对加速度计的输出精度进行了实验验证,结果表明,MEMS加速度计与标准传感器的输出误差为2.69%,能够满足大部分工程应用需求。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 加速度计 绝缘体上硅(soi) 振动测量 高精度
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MEMS高温压力传感器耐高温引线结构优化
10
作者 刘润鹏 雷程 +1 位作者 梁庭 杜康乐 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期386-391,共6页
绝缘体上硅(SOI)高温压力传感器可在高温(高于125℃)下工作。通常情况下构成惠斯通电桥的电阻单独处于压力敏感区,以提高其灵敏度,但在其工作期间压力传感器器件区电阻重掺区与金属引线连接处存在一定高度差,在加压加电高温环境下此处... 绝缘体上硅(SOI)高温压力传感器可在高温(高于125℃)下工作。通常情况下构成惠斯通电桥的电阻单独处于压力敏感区,以提高其灵敏度,但在其工作期间压力传感器器件区电阻重掺区与金属引线连接处存在一定高度差,在加压加电高温环境下此处热应力变大,金属引线因过热而出现金属引线断裂或失效,无法满足高温需求。在此基础上研究了一种硅引线技术,使其与压敏电阻处于同一高度层,金属引线平铺在硅引线上端,经退火后形成良好的欧姆接触。实验测试表明,该方案能使压力传感器在300℃高温环境下正常工作,金属引线与电阻区连接完好,传感器敏感区应力降低接近50%,且优化后传感器灵敏度符合设计要求。 展开更多
关键词 绝缘体上硅(soi) 高温压力传感器 器件区电阻 高度差 硅引线
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基于CMOS SOI工艺的射频开关设计 被引量:7
11
作者 蒋东铭 陈新宇 +1 位作者 许正荣 张有涛 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期142-145,162,共5页
采用0.18μm CMOS SOI工艺技术研制加工的单刀双掷射频开关,集成了开关电路、驱动器和静电保护电路。在DC^6GHz频带内,测得插入损耗0.7dB@2GHz、1dB@4GHz、1.5dB@6GHz,隔离度37dB@2GHz、31dB@4GHz、27dB@6GHz,在5GHz以内端口输入输出驻... 采用0.18μm CMOS SOI工艺技术研制加工的单刀双掷射频开关,集成了开关电路、驱动器和静电保护电路。在DC^6GHz频带内,测得插入损耗0.7dB@2GHz、1dB@4GHz、1.5dB@6GHz,隔离度37dB@2GHz、31dB@4GHz、27dB@6GHz,在5GHz以内端口输入输出驻波比≤1.5:1,输入功率1dB压缩点达到33dBm,IP3达到42dBm。可应用于移动通信系统。 展开更多
关键词 互补金属氧化物半导体 绝缘衬底上硅 射频开关 驱动器 集成
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硅基热光、电光、全光开关及其阵列的研究进展 被引量:6
12
作者 李显尧 俞育德 余金中 《物理》 CAS 北大核心 2013年第4期272-279,共8页
光开关在实现高速信息互连中扮演着重要的角色,受到人们的广泛关注。随着器件结构的不断创新以及半导体加工技术的不断改进,光开关的发展趋向于低功耗、高速和易集成等特点。文章介绍了功耗仅为540mW的热光开关,响应时间为4ns的电光开... 光开关在实现高速信息互连中扮演着重要的角色,受到人们的广泛关注。随着器件结构的不断创新以及半导体加工技术的不断改进,光开关的发展趋向于低功耗、高速和易集成等特点。文章介绍了功耗仅为540mW的热光开关,响应时间为4ns的电光开关和响应时间为25ps的全光开关,重点分析了这三种开关中存在的问题,并提出了解决方法,同时还探讨了开关在阵列化时应考虑的主要问题。 展开更多
关键词 光开关 硅光子学 绝缘层上的硅 光子集成
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基于SOI的低横向灵敏度压阻式加速度计的设计 被引量:5
13
作者 林立娜 梁庭 +3 位作者 李鑫 杨娇燕 李奇思 雷程 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第6期466-472,共7页
提出了一种非同一平面的双弯曲梁的压阻式加速度计,在加速度作用下该结构梁的质心与质量块的质心对齐,从而实现低横向效应。利用SOLIDWORKS软件建立了结构模型,并用Comsol仿真软件和有限元ANSYS仿真软件对其进行静态分析、模态分析和电... 提出了一种非同一平面的双弯曲梁的压阻式加速度计,在加速度作用下该结构梁的质心与质量块的质心对齐,从而实现低横向效应。利用SOLIDWORKS软件建立了结构模型,并用Comsol仿真软件和有限元ANSYS仿真软件对其进行静态分析、模态分析和电学性能分析。分析了影响频率和灵敏度的相关参数,对加速度计的结构参数进行了优化。设计了一套版图以及工艺加工方案,采用微电子机械系统(MEMS)标准工艺完成了加速度计的制备。最后进行精密离心机测试,结果表明该结构的加速度计具有较低的横轴灵敏度,其中X轴的横向灵敏度为0.078%,Y轴的横向灵敏度为0.002%,比较高的主轴灵敏度,Z轴灵敏度为0.64 mV/g。 展开更多
关键词 压阻式加速度计 微电子机械系统(MEMS) 绝缘体上硅(soi) 低横向灵敏度 有限元仿真
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一种基于微熔技术的MEMS大量程压力传感器 被引量:5
14
作者 卞玉民 鲁磊 杨拥军 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第6期422-427,共6页
基于半导体硅的压阻效应,研制了一种MEMS大量程压力传感器。为了实现大量程压力测量,采用了不锈钢材质制作了压力敏感膜片。利用有限元分析软件对传感器敏感芯体进行了结构建模仿真分析和优化设计。采用玻璃微熔技术将敏感电阻粘结固... 基于半导体硅的压阻效应,研制了一种MEMS大量程压力传感器。为了实现大量程压力测量,采用了不锈钢材质制作了压力敏感膜片。利用有限元分析软件对传感器敏感芯体进行了结构建模仿真分析和优化设计。采用玻璃微熔技术将敏感电阻粘结固定在不锈钢敏感膜片上。利用成熟的微电子机械系统(MEMS)加工工艺,完成了可以在高温下工作的绝缘体上硅(SOI)敏感电阻的制作。采用激光焊接方法将敏感芯体焊接到传感器基座上,提高了结构的机械强度。信号调理采用了压力信号专用集成电路(ASIC),具有高精度的放大和温度补偿功能。完成了整体封装和调试后,对压力传感器的主要性能指标进行了测试,结果表明压力传感器的工作温度为-55~150℃,压力量程0~42MPa,精度〈0.5%。 展开更多
关键词 微熔 微电子机械系统(MEMS) 大量程 压力传感器 绝缘体上硅(soi)
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High linearity U-band power amplifier design:a novel intermodulation point analysis method 被引量:1
15
作者 Jie CUI Peipei LI Weixing SHENG 《Frontiers of Information Technology & Electronic Engineering》 SCIE EI CSCD 2023年第1期176-186,共11页
A power amplifier’s linearity determines the emission signal’s quality and the efficiency of the system.Nonlinear distortion can result in system bit error,out-of-band radiation,and interference with other channels,... A power amplifier’s linearity determines the emission signal’s quality and the efficiency of the system.Nonlinear distortion can result in system bit error,out-of-band radiation,and interference with other channels,which severely influence communication system’s quality and reliability.Starting from the third-order intermodulation point of the milimeter wave(mm-Wave)power amplifiers,the circuit’s nonlinearity is compensated for.The analysis,design,and implementation of linear class AB mm-Wave power amplifiers based on GlobalFoundries 45 nm CMOS silicon-on-insulator(SOI)technology are presented.Three single-ended and differential stacked power amplifiers have been implemented based on cascode cells and triple cascode cells operating in U-band frequencies.According to nonlinear analysis and on-wafer measurements,designs based on triple cascode cells outperform those based on cascode cells.Using single-ended measurements,the differential power amplifier achieves a measured peak power-added efficiency(PAE)of 47.2%and a saturated output power(P_(sat))of 25.2 dBm at 44 GHz.The amplifier achieves a P_(sat)higher than 23 dBm and a maximum PAE higher than 25%in the measured bandwidth from 44 GHz to 50 GHz. 展开更多
关键词 CMOS silicon-on-insulator(soi) Linearity analysis Milimeter wave(mm-Wave) Power amplifier
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Linear all-optical signal processing using silicon micro-ring resonators 被引量:3
16
作者 Yunhong DING Haiyan OU +11 位作者 Jing XU Meng XIONG Yi AN Hao HU Michael GALILI Abel Lorences RIESGO Jorge SEOANE Kresten YVIND Leif Katsuo OXENLOWE Xinliang ZHANG Dexiu HUANG Christophe PEUCHERET 《Frontiers of Optoelectronics》 EI CSCD 2016年第3期362-376,共15页
Silicon micro-ring resonators (MRRs) are compact and versatile devices whose periodic frequency response can be exploited for a wide range of applications. In this paper, we review our recent work on linear all-opti... Silicon micro-ring resonators (MRRs) are compact and versatile devices whose periodic frequency response can be exploited for a wide range of applications. In this paper, we review our recent work on linear all-optical signal processing applications using silicon MRRs as passive filters. We focus on applications such as modulation format conversion, differential phase-shift keying (DPSK) demodulation, modulation speed enhancement of directly modulated lasers (DMLs), and monocycle pulse generation. The possibility to implement polarization diversity circuits, which reduce the polarization dependence of standard silicon MRRs, is illustrated on the particular example of DPSK demodulation. 展开更多
关键词 linear all-optical signal processing micro-ring resonator (MRR) polarization diversity silicon-on-insulator soi
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基于0.13μm SOI COMS工艺的VCSEL驱动器设计 被引量:4
17
作者 潘彦君 孙向明 +5 位作者 黄光明 叶竞波 龚达涛 董业民 杨文伟 杨苹 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2017年第6期920-923,共4页
介绍了一种低功耗高速垂直腔表面发射激光器(VCSEL)驱动器的设计。该芯片设计使用国产0.13μm SOI CMOS工艺,能提供6~8mA可调调制电流及4~7mA可调偏置电流。驱动电路采用多级级联放大并结合无源电感并联峰化技术,用以拓展带宽。测试结... 介绍了一种低功耗高速垂直腔表面发射激光器(VCSEL)驱动器的设计。该芯片设计使用国产0.13μm SOI CMOS工艺,能提供6~8mA可调调制电流及4~7mA可调偏置电流。驱动电路采用多级级联放大并结合无源电感并联峰化技术,用以拓展带宽。测试结果表明,该电路在1.2V单电源工作电压下,最高工作速率可达5Gbit/s,总功耗仅为48mW。 展开更多
关键词 绝缘衬底上的硅(soi) 激光驱动器 并联峰化 高速 低功耗
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FABRICATION AND TEST OF AN ELECTROMAGNETIC VIBRATING RING GYROSCOPE BASED ON SOI WAFER 被引量:2
18
作者 Liu Jili Chen Deyong Wang Junbo 《Journal of Electronics(China)》 2014年第2期168-173,共6页
Mode matching is the key to improve the performance of micro-machined vibrating ring gyroscopes.Mass and stiffness asymmetries can lend to normal modes badly mismatch for gyroscopes fabricated by single-crystal silico... Mode matching is the key to improve the performance of micro-machined vibrating ring gyroscopes.Mass and stiffness asymmetries can lend to normal modes badly mismatch for gyroscopes fabricated by single-crystal silicon.The mismatch of the normal nodes results in large normal mode frequency split and degraded sensitivity.To address this issue,a Silicon-On-Insulator(SOI) wafer is used to fabricate the sensor chips.Meanwhile,a compensate disk and the backside coated negative photo resist(AZ303) is employed to weaken the Lag and Footing effect during the Deep Reactive Ion Etching(DRIE) process.Test results reveal that frequency split between the normal modes is of less than 10 Hz before the following electronic tuning.Thus,the mode matching of the electromagnetic vibrating ring gyroscope is probable to be realized. 展开更多
关键词 Vibrating ring gyroscope Mode matching silicon-On-insulator(soi)
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高k介质电导增强SOI LDMOS机理与优化设计 被引量:3
19
作者 王骁玮 罗小蓉 +7 位作者 尹超 范远航 周坤 范叶 蔡金勇 罗尹春 张波 李肇基 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第23期313-319,共7页
本文提出一种高k介质电导增强SOI LDMOS新结构(HK CE SOI LDMOS),并研究其机理.HK CE SOI LDMOS的特征是在漂移区两侧引入高k介质,反向阻断时,高k介质对漂移区进行自适应辅助耗尽,实现漂移区三维RESURF效应并调制电场,因而提高器件耐压... 本文提出一种高k介质电导增强SOI LDMOS新结构(HK CE SOI LDMOS),并研究其机理.HK CE SOI LDMOS的特征是在漂移区两侧引入高k介质,反向阻断时,高k介质对漂移区进行自适应辅助耗尽,实现漂移区三维RESURF效应并调制电场,因而提高器件耐压和漂移区浓度并降低导通电阻.借助三维仿真研究耐压、比导通电阻与器件结构参数之间的关系.结果表明,HK CE SOI LDMOS与常规超结SOI LDMOS相比,耐压提高16%—18%,同时比导通电阻降低13%—20%,且缓解了由衬底辅助耗尽效应带来的电荷非平衡问题. 展开更多
关键词 高k介质 绝缘体上硅 (soi) 击穿电压 比导通电阻
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4×4热光SOI波导开关阵列 被引量:3
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作者 陈媛媛 李艳萍 余金中 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期283-285,289,共4页
设计并制作了阻塞型和完全无阻塞型4×4热光SOI(silicon-on-insulator)波导开关阵列。开关单元采用了多模干涉耦合器(MMI)-MZI(Mach-Zehnder interferometer)结构的2×2光开关。阻塞型光开关附加损耗为4.8~5.4dB,串扰为-21.8dB... 设计并制作了阻塞型和完全无阻塞型4×4热光SOI(silicon-on-insulator)波导开关阵列。开关单元采用了多模干涉耦合器(MMI)-MZI(Mach-Zehnder interferometer)结构的2×2光开关。阻塞型光开关附加损耗为4.8~5.4dB,串扰为-21.8dB~-14.5dB。完全无阻塞型光开关阵列附加损耗为6.6~9.6dB,串扰为-25.8~-16.8dB。两者的消光比都在17~25dB内变化,开关单元功耗小于230mW。器件的开关时间小于3μs。功耗和开关速度都明显优于SiO2基和聚合物基的开关阵列。 展开更多
关键词 开关阵列 热光 soi
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