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Enhanced radiation-induced narrow channel effects in 0.13-μm PDSOI nMOSFETs with shallow trench isolation
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作者 张梦映 胡志远 +2 位作者 毕大炜 戴丽华 张正选 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第2期619-624,共6页
Total ionizing dose responses of different transistor geometries after being irradiated by ^(60)Co γ-rays, in 0.13-μm partially-depleted silicon-on-insulator(PD SOI) technology are investigated. The negative thr... Total ionizing dose responses of different transistor geometries after being irradiated by ^(60)Co γ-rays, in 0.13-μm partially-depleted silicon-on-insulator(PD SOI) technology are investigated. The negative threshold voltage shift in an n-type metal-oxide semiconductor field effect transistor(nMOSFET) is inversely proportional to the channel width due to radiation-induced charges trapped in trench oxide, which is called the radiation-induced narrow channel effect(RINCE).The analysis based on a charge sharing model and three-dimensional technology computer aided design(TCAD) simulations demonstrate that phenomenon. The radiation-induced leakage currents under different drain biases are also discussed in detail. 展开更多
关键词 partiallydepleted silicon-on-insulatorpd SOI) totalionizingdose(TID) radiationinduced narrow channel effect(RINCE) drain induced barrier lowering(DIBL) effect
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0.13μm部分耗尽SOI工艺反相器链SET脉宽传播 被引量:1
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作者 上官士鹏 朱翔 +3 位作者 陈睿 马英起 李赛 韩建伟 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期2193-2198,共6页
基于0.13μm部分耗尽绝缘体上硅(PD-SOI)工艺,设计了一款片上反相器链(DFF)单粒子瞬态(SET)脉宽测试电路并流片实现,SET脉宽测试范围为105~3150 ps,精度为±52.5 ps。利用重离子加速器和脉冲激光模拟单粒子效应试验装置对器件进行了... 基于0.13μm部分耗尽绝缘体上硅(PD-SOI)工艺,设计了一款片上反相器链(DFF)单粒子瞬态(SET)脉宽测试电路并流片实现,SET脉宽测试范围为105~3150 ps,精度为±52.5 ps。利用重离子加速器和脉冲激光模拟单粒子效应试验装置对器件进行了SET脉宽试验。采用线性能量传输(LET值)为37.6 MeV·cm^2/mg的86Kr离子触发了反相器链的三级脉宽传播,利用脉冲激光正面测试器件触发了相同级数的脉宽,同时,激光能量值为5500pJ时触发了反相器链的双极放大效应,脉宽展宽32.4%。通过对比激光与重离子的试验结果,以及明确激光到达有源区的有效能量的影响因子,建立了激光有效能量与重离子LET值的对应关系,分析了两者对应关系偏差的原因。研究结果可为其他种类芯片单粒子效应试验建立激光有效能量与重离子LET值的对应关系提供参考。 展开更多
关键词 部分耗尽绝缘体上硅(pd-SOI) 重离子加速器 脉冲激光 有效能量 脉冲宽度 双极放大
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