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基于FPGA的硅谐振压力微传感器数字闭环系统设计
被引量：
5
1
作者
何孟珂
周浩敏
郝欣
《现代电子技术》
2008年第13期150-153,共4页
在微小型特别是硅谐振微传感器中,低信噪比的微弱信号检测,电路的小型化和抗干扰等问题十分突出。介绍了硅谐振压力微传感器闭环系统的基本工作原理,在成功研制出模拟闭环系统的基础上,为了克服模拟系统的不足,依据相关检测原理和频率...
在微小型特别是硅谐振微传感器中,低信噪比的微弱信号检测,电路的小型化和抗干扰等问题十分突出。介绍了硅谐振压力微传感器闭环系统的基本工作原理,在成功研制出模拟闭环系统的基础上,为了克服模拟系统的不足,依据相关检测原理和频率扫描技术提出了基于FPGA的闭环系统设计框架,详细分析了该系统中的微弱信号检测技术和数字电路部分数字信号处理及接口技术,最后结合实际数据和开环测试曲线,指出可用的扫频方法。
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关键词
硅谐振微传感器
频率扫描
数字信号处理
FPGA
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职称材料
硅谐振压力微传感器开环测试中的信号处理技术
被引量：
4
2
作者
周浩敏
邢维巍
刘广玉
《航空学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第4期374-376,共3页
介绍了自行设计的专用开环测试系统。该系统为一个自动测试系统，可测出谐振梁的幅频和相频特性，而且能成功地测出从拾振电阻获得的若干微伏的微弱信号。开环测试中最重要的问题是所谓的同频干扰。发现通过激励电阻与拾振电阻间的分布...
介绍了自行设计的专用开环测试系统。该系统为一个自动测试系统，可测出谐振梁的幅频和相频特性，而且能成功地测出从拾振电阻获得的若干微伏的微弱信号。开环测试中最重要的问题是所谓的同频干扰。发现通过激励电阻与拾振电阻间的分布电容耦合的激励信号是同频干扰的最终来源。用对称激励技术成功地解决了这一问题。
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关键词
硅谐振
微传感器
开环测试
信号处理
同频干扰
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职称材料
硅微谐振式压力传感器中的单端口静电激励-电容检测方法研究
被引量：
1
3
作者
邢维巍
彭振江
樊尚春
《计测技术》
2012年第S1期35-38,共4页
采用静电激励-电容检测方式的硅微谐振式压力传感器具有温度稳定性好、灵敏度高、功耗低等优点,但同频耦合干扰是限制电容检测精度的主要因素。采用频域分离法可有效地克服同频耦合干扰带来的影响。在研究基于频域分离法的单端口静电激...
采用静电激励-电容检测方式的硅微谐振式压力传感器具有温度稳定性好、灵敏度高、功耗低等优点,但同频耦合干扰是限制电容检测精度的主要因素。采用频域分离法可有效地克服同频耦合干扰带来的影响。在研究基于频域分离法的单端口静电激励/电容检测的基础上,提出了单端口静电激励/电容检测方案。
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关键词
静电激励/电容检测
硅微谐振式压力传感器
同频耦合干扰
频域分离法
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职称材料
题名
基于FPGA的硅谐振压力微传感器数字闭环系统设计
被引量：
5
1
作者
何孟珂
周浩敏
郝欣
机构
北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
出处
《现代电子技术》
2008年第13期150-153,共4页
基金
航空基金资助(04I51065)
文摘
在微小型特别是硅谐振微传感器中,低信噪比的微弱信号检测,电路的小型化和抗干扰等问题十分突出。介绍了硅谐振压力微传感器闭环系统的基本工作原理,在成功研制出模拟闭环系统的基础上,为了克服模拟系统的不足,依据相关检测原理和频率扫描技术提出了基于FPGA的闭环系统设计框架,详细分析了该系统中的微弱信号检测技术和数字电路部分数字信号处理及接口技术,最后结合实际数据和开环测试曲线,指出可用的扫频方法。
关键词
硅谐振微传感器
频率扫描
数字信号处理
FPGA
Keywords
silicon
resonant
micro
-
sensor
frequency
scanning
digital
signal
processing
FPGA
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
硅谐振压力微传感器开环测试中的信号处理技术
被引量：
4
2
作者
周浩敏
邢维巍
刘广玉
机构
北京航空航天大学
出处
《航空学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第4期374-376,共3页
基金
航空科学基金
航空预研项目
文摘
介绍了自行设计的专用开环测试系统。该系统为一个自动测试系统，可测出谐振梁的幅频和相频特性，而且能成功地测出从拾振电阻获得的若干微伏的微弱信号。开环测试中最重要的问题是所谓的同频干扰。发现通过激励电阻与拾振电阻间的分布电容耦合的激励信号是同频干扰的最终来源。用对称激励技术成功地解决了这一问题。
关键词
硅谐振
微传感器
开环测试
信号处理
同频干扰
Keywords
silicon
resonant
micro
sensor
open
loop
testing
signal
processing
common
frequency
disturbance
分类号
V241.7 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
硅微谐振式压力传感器中的单端口静电激励-电容检测方法研究
被引量：
1
3
作者
邢维巍
彭振江
樊尚春
机构
北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
出处
《计测技术》
2012年第S1期35-38,共4页
基金
国家自然科学基金资肋项目(60804062)
国家自然科学基金资助项目(60927005)
文摘
采用静电激励-电容检测方式的硅微谐振式压力传感器具有温度稳定性好、灵敏度高、功耗低等优点,但同频耦合干扰是限制电容检测精度的主要因素。采用频域分离法可有效地克服同频耦合干扰带来的影响。在研究基于频域分离法的单端口静电激励/电容检测的基础上,提出了单端口静电激励/电容检测方案。
关键词
静电激励/电容检测
硅微谐振式压力传感器
同频耦合干扰
频域分离法
Keywords
electrostatic
excitation
/capacitive
detection
silicon
resonant
micro
-
sensor
the
same
frequency
coupling
interference
frequency
separation
method
分类号
TB9 [一般工业技术—计量学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于FPGA的硅谐振压力微传感器数字闭环系统设计
何孟珂
周浩敏
郝欣
《现代电子技术》
2008
5
下载PDF
职称材料
2
硅谐振压力微传感器开环测试中的信号处理技术
周浩敏
邢维巍
刘广玉
《航空学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999
4
下载PDF
职称材料
3
硅微谐振式压力传感器中的单端口静电激励-电容检测方法研究
邢维巍
彭振江
樊尚春
《计测技术》
2012
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
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参考文献
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