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利用MEMS研制微型气流传感器的特性研究 被引量：3
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作者 温殿忠 方华军 《传感技术学报》 CAS CSCD 1998年第4期51-55,共5页
本文在介绍采用硅微电子机械加工系统制造硅微型气流传感器的结构和工作原理的基础上。
关键词 硅微机械加工 气流传感器 多晶硅电阻 特性分析
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