期刊文献+
共找到165篇文章
< 1 2 9 >
每页显示 20 50 100
Ti/Cu/Ti部分瞬间液相连接Si_3N_4的界面反应和连接强度 被引量:33
1
作者 周飞 李志章 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期273-278,共6页
用Ti/Cu/Ti多层中间层在 12 73K进行氮化硅陶瓷部分瞬间液相连接 ,实验考察了保温时间对连接强度的影响。用SEM ,EPMA和XRD对连接界面进行微观分析 ,并用扩散路径理论 ,研究了界面反应产物的形成过程。结果表明 :在连接过程中 ,Cu与Ti... 用Ti/Cu/Ti多层中间层在 12 73K进行氮化硅陶瓷部分瞬间液相连接 ,实验考察了保温时间对连接强度的影响。用SEM ,EPMA和XRD对连接界面进行微观分析 ,并用扩散路径理论 ,研究了界面反应产物的形成过程。结果表明 :在连接过程中 ,Cu与Ti相互扩散 ,形成Ti活度较高的液相 ,并与氮化硅发生反应 ,在界面形成Si3N4 /TiN/Ti5Si3+Ti5Si4 +TiSi2 /TiSi2 +Cu3Ti2 (Si) /Cu的梯度层。 展开更多
关键词 部分瞬间液相连接 氮化硅 扩散路径 界面反应 连接强度 陶瓷 钎焊
下载PDF
用Ti/Ni/Ti多层中间层进行Si_3N_4陶瓷的部分瞬间液相连接 被引量:26
2
作者 陈铮 赵其章 +3 位作者 楼宏青 周飞 李志章 罗启富 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第1期33-40,共8页
在1323K和0.1MPa压应力下用Ti/Ni/Ti多层中间层进行Si3N4陶瓷的部分瞬间液相连接.测定了不同连接时间的接头四点弯曲强度,对连接界面进行了SEM,EDX和XRD分析.结果表明:Ti和Ni相互扩散形成的... 在1323K和0.1MPa压应力下用Ti/Ni/Ti多层中间层进行Si3N4陶瓷的部分瞬间液相连接.测定了不同连接时间的接头四点弯曲强度,对连接界面进行了SEM,EDX和XRD分析.结果表明:Ti和Ni相互扩散形成的液态合金与Si3N4反应并浸润;液相区等温凝固后,形成Si3N4/反应层/NiTi/Ni3Ti/Ni的过渡层连接;连接时间为7.2ks时,NiTi层已基本消失.分析了陶瓷部分瞬间液相(PTLP)连接的特征,提出了陶瓷PTLP连接参数优化的模型. 展开更多
关键词 陶瓷 连接 中间层 瞬间液相 氮化硅陶瓷
下载PDF
不同添加剂对氮化硅陶瓷氧化行为的影响 被引量:9
3
作者 童一东 黄莉萍 符锡仁 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第3期205-211,共7页
对Si-Al-Y-O-N系统气压烧结的致密氮化硅陶瓷的氧化研究表明,材料在1100~1400℃温度下氧化,符合抛物线氧化规律。在此温度范围内,氧化活化能为600~730kJ/mol。AlN的引入对材料在低温段(800~1000℃)的抗氧化能力有较大影响。由于在晶... 对Si-Al-Y-O-N系统气压烧结的致密氮化硅陶瓷的氧化研究表明,材料在1100~1400℃温度下氧化,符合抛物线氧化规律。在此温度范围内,氧化活化能为600~730kJ/mol。AlN的引入对材料在低温段(800~1000℃)的抗氧化能力有较大影响。由于在晶界存在易氧化的第二相物质,含AlN作添加剂的氮化硅材料在低温段有较明显的氧化,氧化呈线性规律。 展开更多
关键词 陶瓷 氧化 氮化硅 添加剂 扩散
下载PDF
高体积分数挤压铸造铝基复合材料时效特征 被引量:8
4
作者 赵敏 武高辉 +1 位作者 姜龙涛 孙东立 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期91-95,共5页
 采用挤压铸造法制备40%SiCP/LD2复合材料,并对其在不同温度下的时效特征进行了研究。结果表明,高体积分数SiC颗粒的加入带来的弥散强化作用,可以大幅度提高基体合金的硬度和强度,但区别于基体合金和低体积分数复合材料,复合材料本身...  采用挤压铸造法制备40%SiCP/LD2复合材料,并对其在不同温度下的时效特征进行了研究。结果表明,高体积分数SiC颗粒的加入带来的弥散强化作用,可以大幅度提高基体合金的硬度和强度,但区别于基体合金和低体积分数复合材料,复合材料本身时效强化效果不明显。高体积分数复合材料峰时效时间较低体积分数缩短,且随时效温度的提高峰时效时间缩短。低温时效时峰值硬度最高且时效动力学较基体合金提前幅度较大。在时效析出过程中,高体积分数复合材料G.P.区的形成受到完全抑制,而β′相热扩散激活能降低,易于析出。 展开更多
关键词 高体积分数铝基复合材料 挤压铸造 碳化硅颗粒 时效特征 DSC 热扩散激活能
下载PDF
水泥砂浆内衬管通水初期对水质的影响及应对措施 被引量:7
5
作者 孙俊峰 康雅 《中国给水排水》 CAS CSCD 北大核心 2015年第7期46-49,共4页
某市自来水公司完成某路段球墨铸铁管管网施工通水后,该管网下游部分区域自来水烧开后呈现长时间白色浑浊现象,为此结合该时段施工情况对水泥砂浆内衬管(特别是离心方式涂覆内衬的管道)通水初期对供水水质的影响进行了研究,并应用水力... 某市自来水公司完成某路段球墨铸铁管管网施工通水后,该管网下游部分区域自来水烧开后呈现长时间白色浑浊现象,为此结合该时段施工情况对水泥砂浆内衬管(特别是离心方式涂覆内衬的管道)通水初期对供水水质的影响进行了研究,并应用水力模型对污染物扩散规律进行模拟,提出了保障水质安全的相应措施,可为新建管道的运行维护提供参考。 展开更多
关键词 水泥砂浆内衬 供水水质 PH值 污染物扩散
原文传递
位错对高体积分数SiC_P/2024Al时效行为的影响 被引量:6
6
作者 王秀芳 武高辉 +1 位作者 姜龙涛 孙东立 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期61-67,共7页
 采用粒径为1μm的SiC颗粒,用挤压铸造法制备出体积分数为45%的SiCP/2024Al复合材料,研究了位错对高体积分数SiCP/2024Al时效行为的影响。结果表明,复合材料中的高密度位错可以湮灭大量的淬火空位,这在一定程度上抑制了GP区的析出。但...  采用粒径为1μm的SiC颗粒,用挤压铸造法制备出体积分数为45%的SiCP/2024Al复合材料,研究了位错对高体积分数SiCP/2024Al时效行为的影响。结果表明,复合材料中的高密度位错可以湮灭大量的淬火空位,这在一定程度上抑制了GP区的析出。但是,高密度位错的存在降低了其它析出相的热扩散激活能,促进了析出相形核;还能为原子的管道扩散提供通道,促进了溶质原子的扩散,加速析出相的长大,在宏观上表现为对时效行为的促进,使峰时效提前。高密度的位错为强烈依赖于位错等缺陷形核的θ′和S′相提供许多优先形核的场所,使复合材料中的形核密度增加,同时使析出相的尺寸减小,所以复合材料中的析出相呈现细小弥散的分布特点。 展开更多
关键词 挤压铸造 复合材料 位错 时效行为 热扩散激活能
下载PDF
PCVD硅涂层对DW型电工钢磁性能的影响 被引量:7
7
作者 吴润 陈大凯 +1 位作者 吴新杰 夏先平 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 1996年第9期15-17,共3页
研究了PCVD法在电工钢上沉积Si的规律及其电磁性能,探讨了处理温度对表层中si含量的影响。DW620-50电工钢经PCVD处理后磁性能得以改善,高温扩散后其铁损降低了45.2%.磁饱和强度提高了4.5%。
关键词 气相沉积 电工钢 铁损 扩散 PCVD法
下载PDF
用于MEMS的选择性形成多孔硅技术的研究 被引量:4
8
作者 谢克文 王晓红 +1 位作者 陈兢 刘理天 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期668-672,共5页
提出了一套采用扩散工艺在低掺杂的硅衬底上选择性形成多孔硅牺牲层 ,并制作了 MEMS器件结构的工艺流程 ,进行了工艺流水 .对得到的结果进行了详细的讨论 .对于
关键词 MEMS 多孔硅 扩散 牺牲层 掺杂 硅衬底
下载PDF
掺杂SnO_2薄膜作为电热材料的研究——成膜工艺条件探讨 被引量:2
9
作者 沈岳年 刘文生 +2 位作者 刘淑萍 胡瑞生 秦继卫 《内蒙古大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2003年第1期29-32,共4页
以石英管作为衬底材料,以SnCl4、SbCl3的混合乙醇溶液作为喷涂液,在600~620℃高温下用化学热喷涂法在石英管表面制作SnO2电热膜.工艺实践表明:30min是最佳喷涂时间,可获最高功率密度25W/cm2;喷涂时间过短,SnO2膜过薄而功率小;喷涂时间... 以石英管作为衬底材料,以SnCl4、SbCl3的混合乙醇溶液作为喷涂液,在600~620℃高温下用化学热喷涂法在石英管表面制作SnO2电热膜.工艺实践表明:30min是最佳喷涂时间,可获最高功率密度25W/cm2;喷涂时间过短,SnO2膜过薄而功率小;喷涂时间大于30min,由于"硅扩散"破坏SnO2的能级简并结构,不仅导电性劣化,而且电阻率温度系数逐渐由正变负,导致不能用作电热材料. 展开更多
关键词 电热材料 成膜工艺条件 SnO2电热膜 化学热喷涂 硅扩散 石英管 半导体薄膜
下载PDF
硅对45钢热浸镀铝层真空扩散处理显微组织的影响 被引量:5
10
作者 赵琦 尹付成 +1 位作者 赵满秀 李智 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第10期50-55,共6页
利用扫描电镜和能谱分析手段研究了铝池中的硅对热浸镀铝层在真空高温扩散处理过程中的显微组织演变的影响。确定了扩散层的组成相,研究了镀层的生长动力学,讨论了扩散层空洞带的形成机理。研究表明,铝池中的硅能减少热浸镀铝层的厚度... 利用扫描电镜和能谱分析手段研究了铝池中的硅对热浸镀铝层在真空高温扩散处理过程中的显微组织演变的影响。确定了扩散层的组成相,研究了镀层的生长动力学,讨论了扩散层空洞带的形成机理。研究表明,铝池中的硅能减少热浸镀铝层的厚度。在同样的扩散条件下硅的添加抑制了Fe2Al5的生长,促进了FeAl和富铝α-Fe层的生长。扩散处理时从含硅的Fe2Al5中容易析出τ1-(Al,Si)5Fe3相或FeAl相。硅的加入使得FeAl层和富铝α-Fe层间的空洞或晶间裂纹易于早期出现,但随着扩散时间的延长,又逐渐减小或消失。空洞的形成与消失与硅在FeAl层中的富聚有关。由于Fe2Al5相与其中析出的τ1-(Al,Si)5Fe3相发生包共晶反应,即:τ1+Fe2Al5L+FeAl,形成了不连续的外侧FeAl层。 展开更多
关键词 热浸镀铝 扩散处理 铁铝化合物 空洞
原文传递
Influence of Carbon Content on Element Diffusion in Silicon Carbide-Based TRISO Composite Fuel
11
作者 Xiaojiao Wang Libing Zhu +1 位作者 Yan You Zhaoquan Zhang 《Journal of Electronic Research and Application》 2024年第5期80-88,共9页
The coating layers of Tri-structural Isotropic Particles(TRISO)serve to protect the kernel and act as barriers to fission products.Sintering aids in the silicon carbide matrix variably react with TRISO coating layers,... The coating layers of Tri-structural Isotropic Particles(TRISO)serve to protect the kernel and act as barriers to fission products.Sintering aids in the silicon carbide matrix variably react with TRISO coating layers,leading to the destruction of the coating layers.Investigating how carbon content affects element diffusion in silicon carbide-based TRISO composite fuel is of great significance for predicting reactor safety.In this study,silicon carbide-based TRISO composite fuels with different carbon contents were prepared by adding varying amounts of phenolic resin to the silicon carbide matrix.X-ray Diffraction(XRD)and Scanning Electron Microscopy(SEM)were employed to characterize the phase composition,morphology,and microstructure of the composite fuels.The elemental content in each coating layer of TRISO was quantified using Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy(EDS).The results demonstrated that the addition of phenolic resin promoted the uniform distribution of sintering aids in the silicon carbide matrix.The atomic percentage(at.%)of aluminum(Al)in the pyrolytic carbon layer of the TRISO particles reached its lowest value of 0.55%when the phenolic resin addition was 1%.This is because the addition of phenolic resin caused the Al and silicon(Si)in the matrix to preferentially react with the carbon in the phenolic resin to form a metastable liquid phase,rather than preferentially consuming the pyrolytic carbon in the outer coating layer of the TRISO particles.The findings suggest that carbon addition through phenolic resin incorporation can effectively mitigate the deleterious reactions between the TRISO coating layers and sintering aids,thereby enhancing the durability and safety of silicon carbide-based TRISO composite fuels. 展开更多
关键词 silicon carbide TRISO Composite fuel diffusion behavior Carbon content
下载PDF
3C-SiC中嬗变原子(Mg、Be、Al)对He间隙原子迁移行为影响的第一性原理研究
12
作者 张洋 汤贤 +2 位作者 成国栋 吴飞宏 周楠 《核科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期1-8,共8页
辐照条件下固体嬗变原子对立方碳化硅(3C-SiC)基体内氦泡形成过程中的作用尚不明确。本文基于密度泛函理论研究了Mg、Be、Al这三种固体嬗变原子对He间隙原子在3C-SiC基体内的形成能以及迁移行为的影响。计算发现,He原子在3C-SiC基体中... 辐照条件下固体嬗变原子对立方碳化硅(3C-SiC)基体内氦泡形成过程中的作用尚不明确。本文基于密度泛函理论研究了Mg、Be、Al这三种固体嬗变原子对He间隙原子在3C-SiC基体内的形成能以及迁移行为的影响。计算发现,He原子在3C-SiC基体中主要稳定于由Si或C原子组成的四面体间隙中,且易于在相邻间隙间迁移。当嬗变原子浓度从0增至5%(物质的量分数)时,碳四面体间隙位点的He原子形成能先是骤降、然后随着固体原子浓度的增大而线性改变,而硅四面体间隙位点的He原子形成能则是和固体原子浓度呈多次函数关系。同时,三种固体原子也使He原子的迁移势垒和扩散系数发生明显改变,He原子从C原子间隙迁移到Si原子间隙的迁移势垒随着固体原子浓度的升高而线性降低、扩散系数逐渐增大;从Si原子间隙迁移到C原子间隙的迁移势垒与浓度呈多次函数关系,扩散系数与势垒曲线反相关。无论哪种路径和掺杂浓度,固体原子的加入都促进了He原子的迁移,这为气泡的成核生长提供了有利条件。 展开更多
关键词 碳化硅 氦泡 扩散 密度泛函理论 虚晶体近似
下载PDF
二次硼离子热扩散制作微电阻 被引量:2
13
作者 黄腾超 沈亦兵 侯西云 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期471-474,共4页
为了在微机电系统(microelectromechanical systems,MEMS)器件中进行热驱动,提出了设计微电阻作为热源的方法.电阻是通过微晶硼硅玻璃在硅基底上进行二次热扩散的方法制备的,利用硼离子扩散制作的电阻可以提高热源加热效率.通过数值计算... 为了在微机电系统(microelectromechanical systems,MEMS)器件中进行热驱动,提出了设计微电阻作为热源的方法.电阻是通过微晶硼硅玻璃在硅基底上进行二次热扩散的方法制备的,利用硼离子扩散制作的电阻可以提高热源加热效率.通过数值计算,建立了制备过程中硅基底中的硼离子的空间浓度分布的理论模型,优化了二次硼扩散工艺条件.盘旋形的电阻形状设计提供了良好的温度控制和热量利用率,加热温度可以从室温一直加热至200℃.测量得到了电阻的有效结深及方块电阻,实验结果表明,电阻内部扩散区域的结深非常浅,硼离子掺杂浓度非常高,与理论模拟基本吻合. 展开更多
关键词 硼扩散 硅微晶玻璃 微电阻 结深 方块电阻
下载PDF
ZrC--SiC复合陶瓷扩散焊接头界面组织及力学性能 被引量:4
14
作者 宋昌宝 林铁松 +1 位作者 何鹏 贾德昌 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期275-279,共5页
采用Ti活性中间层对ZrC--20%SiC复合陶瓷进行扩散焊连接,研究了活性元素Ti与复合陶瓷的界面反应机理,分析了焊接温度对接头微观组织以及力学性能的影响。结果表明:Ti与复合陶瓷发生界面反应,首先形成TiC化合物层,部分反应中间产物Zr原... 采用Ti活性中间层对ZrC--20%SiC复合陶瓷进行扩散焊连接,研究了活性元素Ti与复合陶瓷的界面反应机理,分析了焊接温度对接头微观组织以及力学性能的影响。结果表明:Ti与复合陶瓷发生界面反应,首先形成TiC化合物层,部分反应中间产物Zr原子固溶于TiC化合物中,其余部分扩散进入Ti中间层,形成固溶体;延长反应时间或提高焊接温度,Ti进一步与反应中间产物Zr、Si原子在靠近陶瓷一侧生成Ti--Zr--Si三元相,同时增加界面反应层的厚度。焊接接头的剪切强度随温度由900℃升高到1 200℃先提高后降低,在压力为20MPa及1 000℃保温30min条件下,达到最大值(149MPa)。 展开更多
关键词 碳化锆 碳化硅 复合陶瓷 扩散焊 界面组织 中间层
原文传递
硅扩散应力的理论分析 被引量:3
15
作者 王玉中 赵寿南 梁海生 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1995年第12期38-45,共8页
参考热弹性力学中的薄板热应力理论,推导出了硅薄片中扩散应力的表达式;讨论了单面扩散和双面扩散硅片中的应力分布规律,并将理论结果踉光弹实验结果作了比较,发现它们之间有比较好的一致性。
关键词 应力 扩散 光弹性
下载PDF
Effect of Boundary Layers on Polycrystalline Silicon Chemical Vapor Deposition in a Trichlorosilane and Hydrogen System 被引量:4
16
作者 张攀 王伟文 +1 位作者 陈光辉 李建隆 《Chinese Journal of Chemical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第1期1-9,共9页
This paper presents the numerical investigation of the effects of momentum, thermal and species boundary layers on the characteristics of polycrystalline silicon deposition by comparing the deposition rates in three c... This paper presents the numerical investigation of the effects of momentum, thermal and species boundary layers on the characteristics of polycrystalline silicon deposition by comparing the deposition rates in three chemical vapor deposition (CVD) reactors. A two-dimensional model for the gas flow, heat transfer, and mass transfer was coupled to the gas-phase reaction and surface reaction mechanism for the deposition of polycrystalline silicon from trichlorosilane (TCS)-hydrogen system. The model was verified by comparing the simulated growth rate with the experimental and numerical data in the open literature. Computed results in the reactors indicate that the deposition characteristics are closely related to the momentum, thermal and mass boundary layer thickness. To yield higher deposition rate, there should be higher concentration of TCS gas on the substrate, and there should also be thinner boundary layer of HCl gas so that HCl gas could be pushed away from the surface of the substrate immediately. 展开更多
关键词 boundary layer polycrystalline silicon numerical simulation mass diffusion
下载PDF
机械合金化法制备锂离子电池Si基负极材料及其电化学性能研究 被引量:4
17
作者 张磊 姜训勇 张瑞 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第19期2638-2641,2646,共5页
Si具有高的储锂容量,但是其循环性能很差。采用机械合金化方法,对纯Si进行处理。同时以石墨、炭黑对纯Si进行掺杂以改善Si的循环特性。对于纯Si,随着球磨时间的延长,材料的非晶化程度增加;经过球磨后材料的平均粒径由原来的29μm变成0.2... Si具有高的储锂容量,但是其循环性能很差。采用机械合金化方法,对纯Si进行处理。同时以石墨、炭黑对纯Si进行掺杂以改善Si的循环特性。对于纯Si,随着球磨时间的延长,材料的非晶化程度增加;经过球磨后材料的平均粒径由原来的29μm变成0.2μm;由大的块状变为小的圆形颗粒。充放电结果表明未经球磨处理的纯Si的首次放电比容量较高,但放电比容量损失较大,循环性能差,而经过球磨的纯Si能增加首次放电比容量,循环性能变化不大;对纯Si采用石墨、炭黑掺杂后材料的首次放电比容量下降,循环性能有所提高;球磨和掺杂没有改变Si储锂的电位。经过阻抗分析发现,球磨后纯Si材料中Li的扩散系数增大。 展开更多
关键词 纯Si 碳掺杂 充放电性能 扩散系数
下载PDF
铸造包覆板对汽车热交换器用铝合金复合箔抗下垂性能的影响 被引量:4
18
作者 朱玉涛 刘莹 莫肇月 《轻合金加工技术》 CAS 北大核心 2016年第5期19-23,共5页
试验研究了不同状态的包覆层对汽车热交换器用铝合金复合箔抗下垂性能的影响。结果表明,铸造状态的包覆层制备的复合材料与热轧状态的包覆层制备的复合材料相比,前者包覆层中的Si元素只具备浓度梯度,在轧制复合过程中Si原子从包覆层向... 试验研究了不同状态的包覆层对汽车热交换器用铝合金复合箔抗下垂性能的影响。结果表明,铸造状态的包覆层制备的复合材料与热轧状态的包覆层制备的复合材料相比,前者包覆层中的Si元素只具备浓度梯度,在轧制复合过程中Si原子从包覆层向芯层的扩散程度要小于后者的,并且前者的抗下垂性能要优于后者。 展开更多
关键词 铝合金复合箔 抗下垂性能 Si扩散 包覆层 铸造组织
下载PDF
A reaction-diffusion model for atomic oxygen interacting with spacecraft surface protective materials in low earth orbit environment 被引量:2
19
作者 LEE Chun-Hian 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2009年第4期1125-1134,共10页
When hyperthermal atomic oxygen collides with a silicon surface, an ultrathin oxidation regime characterized by fractional atomic-oxygen anions having low diffusive and reactive barriers, along with their enhanced dif... When hyperthermal atomic oxygen collides with a silicon surface, an ultrathin oxidation regime characterized by fractional atomic-oxygen anions having low diffusive and reactive barriers, along with their enhanced diffusion due to both the electric field and image potential, will form on the surface. In ac- cordance with these properties, an attempt was made in the present study to modify the Almeida- Goncalves-Baumvol (AGB) model by setting the diffusivity and reaction rate constant to be diffu- sion-length dependence. According to the modified model, numerical parametric studies for oxidation thin growth were performed. The dependencies of the diffusion coefficient, the reaction rate constant, the attenuation length, and the adjustable parameter upon the translational kinetic energy, flux, tem- perature, and tangential flux of atomic oxygen were analyzed briefly via the fitting of the experimental data given by Tagawa et al. The numerical results confirmed the rationality of the modified diffu- sion-reaction model. The model together with the computer code developed in this study would be a useful tool for thickness evaluation of the protective film against the oxidation of atomic oxygen toward spacecraft surface materials in LEO environment. 展开更多
关键词 hyperthermal ATOMIC oxygen silicon REACTION-diffusion EQUATIONS OXIDATION thickness numerical simulation
原文传递
The effect of initial discharge conditions on the properties of microcrystalline silicon thin films and solar cells 被引量:1
20
作者 陈永生 杨仕娥 +3 位作者 汪建华 卢景霄 郜小勇 谷锦华 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第5期505-510,共6页
This paper studies the effects of silane back diffusion in the initial plasma ignition stage on the properties of microcrystalline silicon (μc-Si:H) films by Raman spectroscopy and spectroscopic ellipsometry, thro... This paper studies the effects of silane back diffusion in the initial plasma ignition stage on the properties of microcrystalline silicon (μc-Si:H) films by Raman spectroscopy and spectroscopic ellipsometry, through delaying the injection of SiH4 gas to the reactor before plasma ignition. Compared with standard discharge condition, delayed SiH4 gas condition could prevent the back diffusion of Sill4 from the reactor to the deposition region effectively, which induced the formation of a thick amorphous incubation layer in the interface between bulk film and glass substrate. Applying this method, it obtains the improvement of spectral response in the middle and long wavelength region by combining this method with solar cell fabrication. Finally, results are explained by modifying zero-order analytical model, and a good agreement is found between the model and experiments concerning the optimum delayed injection time. 展开更多
关键词 back diffusion microcrystalline silicon thin film Raman crystallinity
下载PDF
上一页 1 2 9 下一页 到第
使用帮助 返回顶部