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聚甲基丙烯酸对STI CMP中SiO_(2)和Si_(3)N_(4)去除速率选择比的影响
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作者 李相辉 张祥龙 +3 位作者 孟妮 聂申奥 邱宇轩 何彦刚 《半导体技术》 北大核心 2024年第2期131-137,共7页
在浅沟槽隔离(STI)化学机械抛光(CMP)中,需要保证极低的Si_(3)N_(4)去除速率,以及相对较高的SiO_(2)去除速率,并且要达到SiO_(2)与Si_(3)N_(4)的去除速率选择比大于30的要求。在CeO_(2)磨料质量分数为0.25%,抛光液pH=4的前提下,研究了... 在浅沟槽隔离(STI)化学机械抛光(CMP)中,需要保证极低的Si_(3)N_(4)去除速率,以及相对较高的SiO_(2)去除速率,并且要达到SiO_(2)与Si_(3)N_(4)的去除速率选择比大于30的要求。在CeO_(2)磨料质量分数为0.25%,抛光液pH=4的前提下,研究了聚甲基丙烯酸(PMAA)对SiO_(2)与Si_(3)N_(4)去除速率以及二者去除速率选择比的影响,分析了PMAA在影响SiO_(2)与Si_(3)N_(4)去除速率过程中的作用机理。结果表明,PMAA的加入可以降低SiO_(2)与Si_(3)N_(4)的去除速率,当PMAA的质量分数为120×10^(-6)时,SiO_(2)和Si_(3)N_(4)的去除速率分别为185.4 nm/min和3.0 nm/min,去除速率选择比为61。抛光后SiO_(2)与Si_(3)N_(4)晶圆表面有较好的表面粗糙度,分别为0.290 nm和0.233 nm。 展开更多
关键词 浅沟槽隔离(STI) 化学机械抛光(CMP) 二氧化硅(sio_(2)) 氮化硅(Si_(3)N_(4)) 聚甲基丙烯酸(PMAA) 去除速率选择比
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中医药治疗矽肺进展 被引量:4
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作者 梅凤 凌瑞杰 +1 位作者 尹琴 李娟 《中国工业医学杂志》 CAS 2022年第3期233-237,共5页
矽肺是劳动者长期暴露于二氧化硅(SiO_(2))环境,SiO_(2)粉尘经呼吸道进入并沉积于肺内,最终在肺部形成矽结节与纤维化的职业性疾病,是我国法定职业病中最常见也是最严重的一种疾病。矽肺发病机制复杂,西医治疗存在较多不良反应,疗效难... 矽肺是劳动者长期暴露于二氧化硅(SiO_(2))环境,SiO_(2)粉尘经呼吸道进入并沉积于肺内,最终在肺部形成矽结节与纤维化的职业性疾病,是我国法定职业病中最常见也是最严重的一种疾病。矽肺发病机制复杂,西医治疗存在较多不良反应,疗效难以达到理想预期。近几年,中医药在矽肺治疗方面取得一定进展,特就此作一综述。 展开更多
关键词 二氧化硅(sio_(2)) 矽肺 中医药
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均匀SiO_(2)纳米颗粒的制备及其结构生色 被引量:5
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作者 彭晶晶 陈佳颖 +3 位作者 高伟洪 孙光武 葛若晴 胡文锋 《北京服装学院学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2021年第1期7-13,共7页
基于Stober法,以正硅酸乙酯为前驱体,氨水为催化剂,蒸馏水作为水解剂,乙醇为溶剂,制备出粒径范围在亚微米级的均匀二氧化硅(SiO_(2))纳米颗粒;研究了粒径与反应温度、反应时间及溶剂体积的关系。制备过程中发现,固定其它反应条件不变,... 基于Stober法,以正硅酸乙酯为前驱体,氨水为催化剂,蒸馏水作为水解剂,乙醇为溶剂,制备出粒径范围在亚微米级的均匀二氧化硅(SiO_(2))纳米颗粒;研究了粒径与反应温度、反应时间及溶剂体积的关系。制备过程中发现,固定其它反应条件不变,仅通过调控溶剂乙醇的用量,即可精准调控SiO_(2)颗粒的粒径及其均匀度;溶剂调控法制备的颗粒为均匀球形,粒径范围在150~450 nm之间,分散系数PDI小于0.1。研究结果表明:反应温度升高,SiO_(2)粒径减小;反应时间增加,粒径变大,但在2 h后保持不变;溶剂乙醇体积增加,粒径减小,粒径与乙醇体积存在线性关系;同时,通过颗粒自组装形成的光子晶体薄膜具有明显的结构色,进一步验证了溶剂调控法制备均匀颗粒的有效性。 展开更多
关键词 sio_(2) 纳米颗粒 溶剂调控法 光子晶体 结构生色
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抑制Wnt/β-catenin信号和NOX4表达阻碍二氧化硅诱导肺上皮细胞损伤的修复 被引量:3
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作者 马佳 杨丹丹 +2 位作者 杨佳丽 刘晓明 蔡倩 《细胞与分子免疫学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2021年第2期132-139,共8页
目的探究Wnt/β联蛋白(β-catenin)信号和还原型烟酰胺腺嘌呤二核苷酸磷酸氧化酶4(NOX4)相互作用对二氧化硅(SiO_(2))诱导的肺脏上皮细胞增殖的影响。方法采用二氧化硅气道滴灌C57BL/6小鼠制备小鼠矽肺模型,免疫组织化学染色法检测矽肺... 目的探究Wnt/β联蛋白(β-catenin)信号和还原型烟酰胺腺嘌呤二核苷酸磷酸氧化酶4(NOX4)相互作用对二氧化硅(SiO_(2))诱导的肺脏上皮细胞增殖的影响。方法采用二氧化硅气道滴灌C57BL/6小鼠制备小鼠矽肺模型,免疫组织化学染色法检测矽肺模型小鼠肺组织NOX4的表达;二氧化硅刺激BEAS-2B人肺上皮细胞制备上皮细胞氧化损伤细胞模型,Wnt信号活化的条件培养基(Wnt3a-CM)及Wnt信号抑制剂XAV939改变Wnt信号活性,表达NOX4短发夹RNA(NOX4 shRNA)的腺病毒感染人肺上皮细胞敲低细胞NOX4水平。Western blot法检测肺组织和人肺上皮细胞Wnt3a、活化β联蛋白(ABC)、转录因子4(TCF4)、NOX4和细胞周期蛋白D1(cyclin D1)的蛋白表达;CCK-8法检测不同剂量二氧化硅刺激人肺上皮细胞24 h和48 h对细胞存活率及敲低NOX4的表达对细胞增殖的影响;CellROX?荧光探针负载法检测二氧化硅作用下人肺上皮细胞活性氧(ROS)的水平。结果成功制备小鼠矽肺模型和氧化损伤细胞模型。二氧化硅刺激肺脏上皮细胞可显著激活Wnt/β-catenin信号和诱导NOX4表达,使ROS大量释放,而ROS清除剂N-乙酰-L-半胱氨酸(NAC)与二氧化硅共同作用可抑制ROS的释放,进而抑制Wnt/β-catenin信号ABC蛋白表达;Wnt3a-CM诱导的Wnt信号激活可上调NOX4的表达;反之,Wnt信号抑制剂XAV939则抑制NOX4的表达;而敲低NOX4表达后,可显著抑制Wnt/β-catenin信号ABC蛋白和cyclin D1的表达,抑制细胞增殖。结论阻断Wnt/β-catenin信号、下调NOX4表达抑制肺上皮细胞增殖,抑制二氧化硅诱导的肺脏上皮细胞损伤修复。 展开更多
关键词 二氧化硅(sio_(2)) WNT β联蛋白(β-catenin) 还原型烟酰胺腺嘌呤二核苷酸磷酸氧化酶4(NOX4) 活性氧(ROS) 矽肺 细胞增殖
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表面阳离子化纳米SiO_(2)的制备及其在拒水中的应用 被引量:2
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作者 周攀飞 姚安康 +3 位作者 王少飞 李瀚宇 许长海 杜金梅 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2021年第11期160-165,共6页
通过溶胶-凝胶法合成SiO_(2)纳米颗粒,经硅烷偶联剂γ-(甲基丙烯酰氧)丙基三甲氧基硅烷表面修饰双键,以甲基丙烯酸二甲氨乙酯为阳离子单体,自由基聚合接枝聚合物刷,获得表面阳离子化的纳米SiO_(2)。颗粒表面性质通过红外光谱、接触角、Z... 通过溶胶-凝胶法合成SiO_(2)纳米颗粒,经硅烷偶联剂γ-(甲基丙烯酰氧)丙基三甲氧基硅烷表面修饰双键,以甲基丙烯酸二甲氨乙酯为阳离子单体,自由基聚合接枝聚合物刷,获得表面阳离子化的纳米SiO_(2)。颗粒表面性质通过红外光谱、接触角、Zeta电位及粒径分析、热重等表征。结果表明:叔胺聚合物接枝纳米SiO_(2)颗粒表面带正电,具有良好的水分散性,可以和阳离子拒水剂CWR-8GT复配,能在不影响原有拒水剂稳定性及不改变操作条件的情况下在织物表面构筑粗糙结构,提高整理后织物的疏水性能。 展开更多
关键词 二氧化硅 纳米颗粒 拒水 阳离子改性 粗糙结构
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Low-temperature and flexible strategy to in-situ fabricate ZrSiO_(4)-based ceramic composites via doping and tuning solid-state reaction
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作者 Bohan Wang Le Fu +5 位作者 Junjie Song Wenjun Yu Ying Deng Guofu Xu Jiwu Huang Wei Xia 《Journal of Advanced Ceramics》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第6期1238-1257,共20页
Synthetic zircon(ZrSiO_(4))ceramics are typically fabricated at elevated temperatures(over 1500℃),which would lead to high manufacturing cost.Meanwhile,reports about preparing ZrSiO_(4)-based ceramic composites via c... Synthetic zircon(ZrSiO_(4))ceramics are typically fabricated at elevated temperatures(over 1500℃),which would lead to high manufacturing cost.Meanwhile,reports about preparing ZrSiO_(4)-based ceramic composites via controlling the solid-state reaction between zirconia(ZrO_(2))and silica(SiO_(2))are limited.In this work,we proposed a low-temperature strategy to flexibly design and fabricate ZrSiO_(4)-based ceramic composites via doping and tuning the solid-state reaction.Two ceramic composites and ZrSiO_(4) ceramics were in-situ prepared by reactive fast hot pressing(FHP)at approximately 1250℃ based on the proposed strategy,i.e.,a ZrSiO_(4)-SiO_(2) dual-phase composite with bicontinuous interpenetrating and hierarchical microstructures,a ZrSiO_(4)-ZrO_(2) dual-phase composite with a microstructure of ZrO_(2) submicron-and nano-particles embedded in a micron ZrSiO_(4) matrix,and ZrSiO_(4) ceramics with a small amount of residual ZrO_(2) nanoparticles.The results showed that the phase compositions,microstructure configurations,mechanical properties,and wear resistance of the materials can be flexibly regulated by the proposed strategy.Hence,ZrSiO_(4)-based ceramic composites with different properties can be easily fabricated based on different application scenarios.These findings would offer useful guidance for researchers to flexibly fabricate ZrSiO_(4)-based ceramic composites at low temperatures and tailor their microstructures and properties through doping and tuning the solid-state reaction. 展开更多
关键词 zirconia(ZrO_(2))-silica(sio_(2)) zircon(Zrsio_(4)) solid-state reaction ceramic composite mechanical properties wear resistance
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Simultaneously improved actuated performance and mechanical strength of silicone elastomer by reduced graphene oxide encapsulated silicon dioxide 被引量:2
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作者 Nanying Ning Minglu Wang +2 位作者 Jing Zhang Liqun Zhang Ming Tian 《International Journal of Smart and Nano Materials》 SCIE EI 2015年第4期251-267,共17页
Herein,graphene oxide(GO)-encapsulated silica(SiO 2)hybrids(GO@SiO 2)were prepared via electrostatic self-assembly of the 3-aminopropyltriethoxysilane(APS)-modified SiO_(2) and GO.The as-prepared GO@SiO 2 was introduc... Herein,graphene oxide(GO)-encapsulated silica(SiO 2)hybrids(GO@SiO 2)were prepared via electrostatic self-assembly of the 3-aminopropyltriethoxysilane(APS)-modified SiO_(2) and GO.The as-prepared GO@SiO 2 was introduced into polydimethyl-siloxane(PDMS)elastomer to simultaneously increase the dielectric constant(k)and mechanical properties of PDMS.Then,the in situ thermal reduction of GO@SiO_(2)/PDMS composites was conducted at 180℃ for 2 h to increase the interfacial polariz-ability of GO@SiO_(2).As a result,the values of k at 1000 Hz are largely improved from 3.2 for PDMS to 13.3 for the reduced GO@SiO_(2)(RGO@SiO_(2))/PDMS elastomer.Meanwhile,the dielectric loss of the composites remains low(<0.2 at 1000 Hz).More importantly,the actuated strain at low electric field(5 kV/mm)obviously increases from 0.3%for pure PDMS to 2.59%for the composites with 60 phr of RGO@SiO_(2),an eightfold increase in the actuated strain.In addition,both the tensile strength and elastic modulus are obviously improved by adding 60 phr of RGO@SiO_(2),indicating a good reinforcing effect of RGO@SiO_(2) on PDMS.Our goal is to develop a simple and effective way to improve the actuated performance and mechanical strength of the PDMS dielectric elastomer for its wider application. 展开更多
关键词 graphene oxide(GO)-encapsulated silica(sio_(2))hybrids electrostatic self-assembly polydimethylsiloxane(PDMS)elastomer dielectric constant(k)and mechanical properties actuated strain at low electric field
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基于pH响应的防腐蚀智能涂层的构建
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作者 周洋 李守婷 +3 位作者 陈伟 阿斯古丽·塔西 应叶 杨海峰 《上海师范大学学报(自然科学版)》 2022年第4期428-435,共8页
研究了一种新型pH响应纳米容器,采用“一锅法”合成了氨基化介孔二氧化硅(SiO_(2))棒状纳米粒子,并将苯并三唑(BTA)嵌入其中.通过装有纳米粒子的环氧树脂涂覆Q235碳钢基板来评估涂层的防腐蚀效果.电化学阻抗谱显示:与对照组相比,负载BT... 研究了一种新型pH响应纳米容器,采用“一锅法”合成了氨基化介孔二氧化硅(SiO_(2))棒状纳米粒子,并将苯并三唑(BTA)嵌入其中.通过装有纳米粒子的环氧树脂涂覆Q235碳钢基板来评估涂层的防腐蚀效果.电化学阻抗谱显示:与对照组相比,负载BTA的氨基化介孔SiO_(2)的涂层具有明显的长效防腐蚀行为. 展开更多
关键词 智能涂层 Q235碳钢 苯并三唑(BTA) 介孔二氧化硅(sio_(2))
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二氧化硅复合纤维毡真空绝热板的制备技术研究
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作者 李壮贤 刘婷 翟传伟 《江西建材》 2022年第9期21-22,25,共3页
文中采用纳米二氧化硅(SiO_(2))与玻璃纤维毡复合材料作为芯材,制备了一种可用于建筑墙体保温的SiO_(2)复合纤维毡真空绝热板(VIP),重点研究了SiO_(2)含量、纤维毡密度、芯材复合方式及芯材成型工艺对VIP结构稳定性、导热系数等性能的... 文中采用纳米二氧化硅(SiO_(2))与玻璃纤维毡复合材料作为芯材,制备了一种可用于建筑墙体保温的SiO_(2)复合纤维毡真空绝热板(VIP),重点研究了SiO_(2)含量、纤维毡密度、芯材复合方式及芯材成型工艺对VIP结构稳定性、导热系数等性能的影响。最终制得导热系数在0.0046~0.0059W/(m·K),膨胀率在4%~6%,结构稳定性强的真空绝热板。 展开更多
关键词 建筑保温 真空绝热板(VIP) 纳米二氧化硅(sio2) 玻璃纤维毡
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一种高效的树木总DNA提取方法 被引量:68
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作者 张博 张露 +2 位作者 诸葛强 王明庥 黄敏仁 《南京林业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期13-16,共4页
高质量的DNA是林木分子生物学研究的关键因素之一。在高浓度离液剂异硫氰酸胍(GuSCN)存在的条件下,核酸具有与硅珠(SiO2)颗粒结合、并能在较高温度下被低盐浓度溶液洗脱的特性。基于这一原理建立了一种新的树木叶片总DNA提取方法。此方... 高质量的DNA是林木分子生物学研究的关键因素之一。在高浓度离液剂异硫氰酸胍(GuSCN)存在的条件下,核酸具有与硅珠(SiO2)颗粒结合、并能在较高温度下被低盐浓度溶液洗脱的特性。基于这一原理建立了一种新的树木叶片总DNA提取方法。此方法操作简单、快速,经过浓度、纯度测定,以及PCR扩增和限制性内切酶消化证明,从不同树木叶片中均得到了高质量的DNA样品。 展开更多
关键词 树木 DNA提取方法 分子生物学 异硫氰酸胍
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Preparation of glucose oxidase electrode containing hydrophobic silica nanoparticles by the sol-gel method
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作者 张琳 唐芳琼 +1 位作者 袁金锁 江龙 《Science China Chemistry》 SCIE EI CAS 1995年第12期1434-1438,共5页
The influences of hydrophobic SiO_2 nanoparticles and the contents of glucose oxidase(GOD) upon the response current of enzyme electrode have been investigated by using the sol-gel method,in which polyvinylbutyryl(PVB... The influences of hydrophobic SiO_2 nanoparticles and the contents of glucose oxidase(GOD) upon the response current of enzyme electrode have been investigated by using the sol-gel method,in which polyvinylbutyryl(PVB)was used as a matrix.The influenoe of enzymatic activity was measured by electrochemical method.Experimental data demonstrated that hydrophobic SiO_2 particles can immobilize enzyme well,providing a good and simple method for preparing high quality GOD biosensor.The mechanism has been discussed. 展开更多
关键词 glucose oxidase biosensor response current hydrophobic silica(sio_2)particle.
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多孔二氧化硅中Gd^(3+)→Eu^(3+)的能量传递 被引量:10
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作者 阳福 刘应亮 +3 位作者 容建华 张静娴 袁定胜 黄浪欢 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第5期643-646,共4页
通过水热反应法,获得了单掺和双掺Eu3+,Gd3+的多孔二氧化硅组装体,研究了掺杂体系的光谱特性,观察到Gd3+→Eu3+的能量传递。分析了能量传递过程,探讨了在多孔二氧化硅中Gd3+→Eu3+的能量传递的机理,其机理主要为电偶极鄄电偶极相互作用。
关键词 多孔二氧化硅 EU^3+ GD^3+ 能量传递过程 偶极相互作用 水热反应法 光谱特性 掺杂体系 组装体 电偶极 机理
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气相二氧化硅分散粒径的测试方法 被引量:1
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作者 孙小祥 赵剑曦 《电池》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期340-342,共3页
通过讨论粒度分析仪依据的光散射原理,强调排除浓度效应的必要性,提出可用简单的外推图解法准确获得商品气相二氧化硅(F-SiO_2)的分散粒径d。对F-SiO_2而言,外推线性区通常在0.1%~1.0%浓度范围内。举例说明分散粒径对F-SiO_2在硫酸溶... 通过讨论粒度分析仪依据的光散射原理,强调排除浓度效应的必要性,提出可用简单的外推图解法准确获得商品气相二氧化硅(F-SiO_2)的分散粒径d。对F-SiO_2而言,外推线性区通常在0.1%~1.0%浓度范围内。举例说明分散粒径对F-SiO_2在硫酸溶液中胶凝行为的强烈影响,发现随着分散粒径的增大,电解液的触变性增加。 展开更多
关键词 分散粒径测试 粒子浓度影响 图解法 气相二氧化硅(F-sio_2)
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