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极紫外投影光刻掩模阴影效应分析 被引量：8
1
作者 曹宇婷 王向朝 +1 位作者 步扬 刘晓雷 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期42-46,共5页
极紫外(EUV)投影光刻掩模在斜入射光照明条件下,掩模成像图形位置和成像图形特征尺寸(CD)都将随入射光方向变化,即存在掩模阴影效应。基于一个EUV掩模衍射简化模型实现了掩模阴影效应的理论分析和补偿,得到了掩模(物方)最佳焦面位置和... 极紫外(EUV)投影光刻掩模在斜入射光照明条件下,掩模成像图形位置和成像图形特征尺寸(CD)都将随入射光方向变化,即存在掩模阴影效应。基于一个EUV掩模衍射简化模型实现了掩模阴影效应的理论分析和补偿,得到了掩模(物方)最佳焦面位置和掩模图形尺寸校正量的计算公式。掩模(物方)焦面位置位于多层膜等效面上减小了图形位置偏移;基于理论公式对掩模图形尺寸进行校正,以目标CD为22nm的线条图形为例,入射光方向变化时成像图形尺寸偏差小于0.3nm,但当目标CD继续减小时理论公式误差增大,需进一步考虑掩模斜入射时整个成像光瞳内的能量损失和补偿。 展开更多
关键词 光学制造 极紫外投影光刻 掩模 阴影效应 严格电磁场仿真
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建筑物影响下的无人机城区运行风险评估 被引量：4
2
作者 李亚飞 刘明欢 王莉莉 《中国安全科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第7期136-142,共7页
为降低无人机(UAV)在城市区域运行的风险,提出城市建筑物对UAV遮蔽影响效果的概念。首先,建立建筑物遮蔽模型和UAV风险评估指标;其次,确定UAV在最小飞行高度下从起点至终点的直线段所经过的建筑物,依据确定的建筑物高度划分UAV飞行高度... 为降低无人机(UAV)在城市区域运行的风险,提出城市建筑物对UAV遮蔽影响效果的概念。首先,建立建筑物遮蔽模型和UAV风险评估指标;其次,确定UAV在最小飞行高度下从起点至终点的直线段所经过的建筑物,依据确定的建筑物高度划分UAV飞行高度层;然后,基于Dubins理论的多障碍物避让路径求解方法,求解每个飞行高层UAV飞行路径;最后,基于此模型量化每个高度层路径的风险成本并进行对比,得到风险成本最小的路径以及飞行高度。结果表明:UAV在不同飞行高度下路径不同,穿越的建筑物数量、高度和位置也不同,受到建筑物遮蔽效果有明显区别。考虑建筑物遮蔽效果的UAV路径规划方法,可减小无人机城区运行风险成本。 展开更多
关键词 建筑物 无人机(UAV) 城区运行 风险成本 遮蔽效果 飞行高度层
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扩展傅里叶衍射理论在相移掩模中的应用
3
作者 刘佳 张晓萍 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期40-44,共5页
针对现代光刻中,超大数值孔径的情况下,通过简单的傅里叶衍射理论模拟掩模的传递函数的方法不够精确,必须得考虑倾斜照明带来的阴影效应。因此本文针对交替式相移掩模,提出了一种考虑阴影效应的近似模型。重新定义了阴影比率的公式。该... 针对现代光刻中,超大数值孔径的情况下,通过简单的傅里叶衍射理论模拟掩模的传递函数的方法不够精确,必须得考虑倾斜照明带来的阴影效应。因此本文针对交替式相移掩模,提出了一种考虑阴影效应的近似模型。重新定义了阴影比率的公式。该方法是傅里叶衍射理论的扩展,是一种依赖于入射角的函数。分别给出了交替式相移掩模空间域和空间频率域的传递函数的表达式。并对提出的近似模型的衍射效率以及干涉场光强分布进行了仿真。结果表明,衍射效率和干涉场的强度分布是随着入射角的改变而改变的,不同线宽的衍射效率也不同。并且衍射效率是关于零度入射角对称分布。 展开更多
关键词 超大数值孔径 相移掩模 离轴照明 阴影效应 傅里叶衍射理论
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海面上电大尺寸目标电磁散射特性研究 被引量：1
4
作者 姬伟杰 刘平 +1 位作者 关晓东 王炯 《现代导航》 2013年第5期362-370,共9页
基于几何光学法(GO)、物理光学法(PO)、射线弹跳法(SBR)和等效电流法(MEC),提出了一种快速计算金属海面上电大尺寸目标电磁散射的解析算法。该算法考虑了阴影效应,运用GO/PO+SBR计算了目标与海面的镜面反射以及它们之间的多次相互作用,... 基于几何光学法(GO)、物理光学法(PO)、射线弹跳法(SBR)和等效电流法(MEC),提出了一种快速计算金属海面上电大尺寸目标电磁散射的解析算法。该算法考虑了阴影效应,运用GO/PO+SBR计算了目标与海面的镜面反射以及它们之间的多次相互作用,并运用MEC计算了目标的棱边绕射以改进计算结果。应用该算法计算了平板上方规则金属目标的双站雷达散射截面(RCS),并与传统矩量法(MoM)进行比较,验证了算法的有效性。最后,计算了PM(Pierson-Moskowitz)海浪谱的随机海洋粗糙面上舰船模型目标的散射特性,并对计算结果进行了分析,讨论了海洋面以及入射波参数对散射结果的影响。 展开更多
关键词 几何光学法 物理光学法 射线弹跳法 等效电流法 阴影效应 棱边绕射
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光伏发电系统最大功率点跟踪技术综述 被引量：37
5
作者 靳肖林 文尚胜 +2 位作者 倪浩智 杨禹轩 文玉良 《电源技术》 CAS 北大核心 2019年第3期532-535,共4页
随着光伏发电快速普及,如何提高发电效率成为急需解答的问题。针对光伏电池非线性输出特性存在最大输出功率的问题,需要快速准确地跟踪输出最大功率点。综述了自适应电导增量法、模糊控制法和神经网络技术等几种新型最大功率跟踪技术。... 随着光伏发电快速普及,如何提高发电效率成为急需解答的问题。针对光伏电池非线性输出特性存在最大输出功率的问题,需要快速准确地跟踪输出最大功率点。综述了自适应电导增量法、模糊控制法和神经网络技术等几种新型最大功率跟踪技术。针对阴影下多局部最大功率的情况,介绍了粒子群算法、遗传算法等技术。为现阶段国内光伏并网控制器的设计提供了参考。 展开更多
关键词 最大功率点跟踪 算法分析 阴影效应 光伏发电
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信息时代地图技术美的研究与实践 被引量：25
6
作者 江南 崔纪锋 +1 位作者 陈四清 夏丽华 《测绘学院学报》 北大核心 2004年第4期298-301,共4页
通过分析现代地图表现形式及存在的问题,探讨了信息时代地图制图技术美的含义和地图技术美的表现形式。并在技术美创新理念指导下,对利用计算机技术和图形图像处理技术来改进地图符号设计,提高地图表现力进行了一些理论探讨和技术尝试,... 通过分析现代地图表现形式及存在的问题,探讨了信息时代地图制图技术美的含义和地图技术美的表现形式。并在技术美创新理念指导下,对利用计算机技术和图形图像处理技术来改进地图符号设计,提高地图表现力进行了一些理论探讨和技术尝试,同时也得到了一些有益的启示。 展开更多
关键词 地图制图技术美 纹理视觉变量 光影效果 色彩重构
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基于单体光伏/单体储能电池模组的新型光伏储能发电系统 被引量：19
7
作者 邬明亮 戴朝华 +2 位作者 邓惠文 刘志祥 陈维荣 《电力系统保护与控制》 EI CSCD 北大核心 2017年第3期56-61,共6页
传统光伏储能发电系统都是由光伏阵列和储能电池组构成的,但这种结构易受光伏电池阴影效应及储能电池均衡性问题的影响。基于此,提出了一种由单体光伏电池和单体储能电池构成的新型光伏储能发电系统。该系统中,单体光伏电池和与之电压... 传统光伏储能发电系统都是由光伏阵列和储能电池组构成的,但这种结构易受光伏电池阴影效应及储能电池均衡性问题的影响。基于此,提出了一种由单体光伏电池和单体储能电池构成的新型光伏储能发电系统。该系统中,单体光伏电池和与之电压、容量匹配的单体储能电池构成光伏储能模组,一定数量的模组串联后组成串联支路,经升压型DC/DC电路汇流至直流母线,多个串联支路并联后向直流负载或经逆变器向交流负载供电。通过监测光伏电池、储能电池的电压电流,光伏储能模组能够在5种工作模式间切换以实现模组内的"自治"控制;同时,通过监测DC/DC变换器的输入电压,实现了光伏储能模组投入与切出的支路级控制。以太阳能的利用效率为衡量标准,提出了一种模组内光伏电池电压,参数的选择方法。最后,建立了新型发电系统的仿真模型,从原理上通过仿真验证了该光伏储能发电系统的可行性和有效性。 展开更多
关键词 光伏储能发电系统 单体光伏电池 单体储能电池 阴影效应 均衡性
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分形粗糙面单站散射的遮蔽效应研究 被引量：14
8
作者 郭立新 官秀国 徐英霞 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期617-622,共6页
利用粗糙面电磁散射中的基尔霍夫近似,结合粗糙面遮蔽效应和分形粗糙面特征函数的计算,导出了考虑遮蔽效应情况下导体分形粗糙面单站散射截面近似公式.比较了高斯粗糙面和分形粗糙面的散射截面分布情况,分析了粗糙面不同均方根斜率对遮... 利用粗糙面电磁散射中的基尔霍夫近似,结合粗糙面遮蔽效应和分形粗糙面特征函数的计算,导出了考虑遮蔽效应情况下导体分形粗糙面单站散射截面近似公式.比较了高斯粗糙面和分形粗糙面的散射截面分布情况,分析了粗糙面不同均方根斜率对遮蔽效应的影响.研究了不同分维和不同空间基频情况下分形粗糙面后向散射截面的角分布情况. 展开更多
关键词 分形粗糙面 电磁散射 遮蔽效应 单站散射截面
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分裂导线覆冰增长模拟计算及试验验证 被引量：18
9
作者 胡琴 于洪杰 +3 位作者 李毅 舒立春 蒋兴良 梁健 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期900-908,共9页
在分裂导线覆冰过程中,由于下风侧子导线处于上风侧子导线的尾流区,空气流场及水滴运动的轨迹受到上风侧子导线遮蔽效应的影响,两者覆冰特性之间存在差异。为此采用多相流场计算的拉格朗日法,通过跟踪水滴的运动轨迹,得到分裂子导线的... 在分裂导线覆冰过程中,由于下风侧子导线处于上风侧子导线的尾流区,空气流场及水滴运动的轨迹受到上风侧子导线遮蔽效应的影响,两者覆冰特性之间存在差异。为此采用多相流场计算的拉格朗日法,通过跟踪水滴的运动轨迹,得到分裂子导线的碰撞系数β与气流速度v、水滴中值直径(MVD)、导线直径D和子导线间距ΔL的关系。结果表明:分裂子导线流场的耦合影响可归结为水平布置的上风侧子导线对下风侧子导线的遮蔽效应;v或MVD越大,上、下风侧子导线的β越大。且上风侧子导线的β值较大,但两者的差异随v或MVD的增大而逐渐减小。在一定直径范围内,D与上、下风侧子导线的β呈负相关,即β随D的增大而减小。ΔL不影响上风侧子导线的β,而下风侧子导线的β随ΔL的增大而增大。基于控制体思想,结合热力学平衡方程,分析了v和MVD对导线表面覆冰形状的影响。并在人工气候室进行二分裂导线的覆冰试验,验证了计算方法的有效性。 展开更多
关键词 分裂导线 遮蔽效应 碰撞系数 覆冰特性 冰形预测
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动态分形粗糙海面散射的遮蔽效应和多普勒谱研究 被引量：9
10
作者 郭立新 任玉超 吴振森 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2005年第10期1666-1670,共5页
利用粗糙面电磁散射中的基尔霍夫近似,结合粗糙面遮蔽函数和分形粗糙海面特征函数的计算,导出了考虑遮蔽效应情况下导体分形粗糙海面散射截面的近似公式。研究了海面不同均方根斜率对遮蔽效应的影响。比较了毫米波入射时高斯粗糙面和分... 利用粗糙面电磁散射中的基尔霍夫近似,结合粗糙面遮蔽函数和分形粗糙海面特征函数的计算,导出了考虑遮蔽效应情况下导体分形粗糙海面散射截面的近似公式。研究了海面不同均方根斜率对遮蔽效应的影响。比较了毫米波入射时高斯粗糙面和分形粗糙海面的散射截面分布情况。分析了不同分维下分形海面双站散射截面的角分布情况。详细讨论了不同入射角和不同分维及遮蔽效应对分形海面散射回波多普勒谱的影响。 展开更多
关键词 分形粗糙海面 电磁散射 遮蔽效应 多普勒谱
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三维频率域可控源电磁反演研究 被引量：16
11
作者 赵宁 王绪本 +1 位作者 秦策 阮帅 《地球物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期330-341,共12页
对于三维可控源电磁,反演计算效率、张量测量、旁侧效应以及阴影效应是目前研究的热点.本文正演采用基于库仑规范条件的耦合势有限体积算法,反演采用有限内存BFGS(L-BFGS)算法.合成数据反演结果表明:(1)有限内存BFGS法比非线性共轭梯度... 对于三维可控源电磁,反演计算效率、张量测量、旁侧效应以及阴影效应是目前研究的热点.本文正演采用基于库仑规范条件的耦合势有限体积算法,反演采用有限内存BFGS(L-BFGS)算法.合成数据反演结果表明:(1)有限内存BFGS法比非线性共轭梯度法,在反演计算效率上具有一定的优势,更适合求解大规模三维可控源电磁反演问题.(2)张量可控源电磁法相对于标量可控源电磁法,前者在模型分辨率上优于后者.(3)在某个区域无法布置测网的情况下,我们可利用旁侧效应在异常体周围布置测网进行三维反演,从而获得真实异常体的信息.同时,为避免阴影效应,我们应在测网外增加可控源电磁控制点,使得三维反演的数据更加完备. 展开更多
关键词 张量可控源电磁法 三维反演 有限内存BFGS 旁侧效应 阴影效应
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无人机测控与通信系统信道传输特性研究 被引量：10
12
作者 陈远友 《无线电工程》 2014年第3期15-17,23,共4页
无人机测控与通信地空视距链路一般工作在低仰角移动通信模式,信号传输受地面复杂环境影响造成多径效应、多普勒效应和阴影效应等导致接收信号的衰落,其衰落特性不能用单一的概率分布函数来描述。针对该链路的具体特性,采用状态数为3的... 无人机测控与通信地空视距链路一般工作在低仰角移动通信模式,信号传输受地面复杂环境影响造成多径效应、多普勒效应和阴影效应等导致接收信号的衰落,其衰落特性不能用单一的概率分布函数来描述。针对该链路的具体特性,采用状态数为3的高动态Markov信道模型描述其传播特性并进行了仿真分析,仿真结果表明,信道传输特性必须考虑多径、阴影和多普勒的综合影响,简化的信道模型可能对那些在复杂环境获得的试验数据的分析带来不利影响。 展开更多
关键词 无人机 信道特性 多径效应 阴影效应 MARKOV
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UWB生物雷达多静止人体目标呼吸检测中“遮蔽效应”的实验研究 被引量：10
13
作者 张自启 吕昊 +3 位作者 陈扶明 安强 祁富贵 王健琪 《医疗卫生装备》 CAS 2017年第4期1-5,共5页
目的:研究使用超宽带(ultra wide band,UWB)生物雷达进行多个静止人体目标探测时的"遮蔽效应",为最终解决多目标探测难题打下基础。方法:以模拟呼吸装置为探测目标,设计UWB生物雷达多静止目标呼吸检测实验,研究目标的呼吸频... 目的:研究使用超宽带(ultra wide band,UWB)生物雷达进行多个静止人体目标探测时的"遮蔽效应",为最终解决多目标探测难题打下基础。方法:以模拟呼吸装置为探测目标,设计UWB生物雷达多静止目标呼吸检测实验,研究目标的呼吸频率、幅度以及目标之间的角度、距离等因素对"遮蔽效应"的影响。结果:"遮蔽效应"主要受多个目标之间的相对位置影响,目标的呼吸频率或呼吸幅度对其影响不明显。结论:在对多个静止人体目标进行呼吸检测时存在"遮蔽效应",产生该效应的主要原因是前一个目标本身对电磁波传播的阻挡,而其呼吸参数改变时对"遮蔽效应"没有明显影响。 展开更多
关键词 生物雷达 超宽带 多目标 遮蔽效应 呼吸频率 呼吸幅度
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基于Matlab的无人机通信信道模型的设计 被引量：9
14
作者 夏进 姜子木 +1 位作者 王成华 朱秋明 《航空兵器》 CSCD 北大核心 2019年第5期69-76,共8页
电磁波传播的信道环境是复杂多样的,在传输过程中总伴随有路径损耗、阴影效应、多径效应和多普勒效应等,影响电磁波的传输效果。基于无人机通信性能的测试需求和现有SoS信道模型,对信道的功率谱形状与频率、增益间的关系进行分析,得到... 电磁波传播的信道环境是复杂多样的,在传输过程中总伴随有路径损耗、阴影效应、多径效应和多普勒效应等,影响电磁波的传输效果。基于无人机通信性能的测试需求和现有SoS信道模型,对信道的功率谱形状与频率、增益间的关系进行分析,得到一种可实现时变衰落特性改进的SoS信道模型,并通过Matlab进行了仿真验证。最后,给出了FPGA实现该改进模型的系统结构。该改进信道模型具有一定的实用价值。 展开更多
关键词 SoS模型 路径损耗 阴影效应 多径效应 多普勒效应
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粗糙表面散射特性对基于PSD的激光位移传感器测量精度的影响 被引量：9
15
作者 陈浩 邾继贵 薛彬 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期165-171,共7页
激光位移传感器的测量是基于目标表面的散射效应,表面的粗糙度特性直接影响散射测量光斑的光强。为研究粗糙表面对成像光斑光强的影响,通过构建粗糙表面的散射几何模型,利用基尔霍夫标量散射的解析理论,结合遮蔽函数统计模型,获得被测... 激光位移传感器的测量是基于目标表面的散射效应,表面的粗糙度特性直接影响散射测量光斑的光强。为研究粗糙表面对成像光斑光强的影响,通过构建粗糙表面的散射几何模型,利用基尔霍夫标量散射的解析理论,结合遮蔽函数统计模型,获得被测表面的粗糙特性与成像光斑光强的函数关系。根据传感器中位置敏感探测器(PSD)的检测原理,感光面上成像光斑光强大小将直接影响传感器的测量精度。实验分析了基于PSD的位移传感器对标准粗糙度样块的测量数据,结果表明不同的表面粗糙度将产生不同的测量误差,表面粗糙度Rq值越大散射光斑光强越大,但伴随遮蔽系数的显著增强,光斑光强将逐渐被削弱,而测量误差大小与光强的变化趋势相同,其中对Rq=0.8mm左右的粗糙表面的测量误差最小。 展开更多
关键词 测量 激光位移传感器 标量散射 表面粗糙度 遮蔽效应 位置敏感探测器
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室内VLC系统光源布局设计 被引量：9
16
作者 赵黎 彭恺 焦晓露 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第11期240-245,共6页
在可见光通信系统中,光源具有照明和通信的双重作用,由于房间的大小以及室内环境各不相同,难免会存在光照射不到或者光线比较微弱的地方,这些地方很有可能成为通信的盲区,这将会大大影响通信的质量,为了解决阴影效应,需合理对光源进行... 在可见光通信系统中,光源具有照明和通信的双重作用,由于房间的大小以及室内环境各不相同,难免会存在光照射不到或者光线比较微弱的地方,这些地方很有可能成为通信的盲区,这将会大大影响通信的质量,为了解决阴影效应,需合理对光源进行布局设计,以4 m×4 m×3 m房间为模型,采用四个LED列阵作为室内光源,将单个的LED光源看做朗伯光源,服从朗伯辐射模型,通过公式计算结合软件仿真分析对比得出了采用9×9大小的LED列阵,列阵距离屋顶边缘0.4 m,LED光源间的间距为0.03 m时,在满足国际室内照明标准的前提下,在距离屋顶2.25 m的4 m×4 m接收平面上光照度分布最均匀,其均匀度达到90.4%。该光源列阵布局模型可推广到任意尺寸房间,为室内办公照明中光源的布局提供了一种可行的方案。 展开更多
关键词 可见光通信 光源布局 LED 阴影效应 光照度
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冰桨接触过程中的遮蔽效应分析 被引量：7
17
作者 王超 熊伟鹏 +1 位作者 叶礼裕 李兴 《华中科技大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期105-110,132,共7页
考虑冰桨接触过程中前桨叶对冰结构的破坏,对后桨叶受的冰载荷产生较大影响,分析是由遮蔽效应导致,为了研究冰桨接触过程中遮蔽效应的影响,基于近场动力学和面元法耦合建立冰桨接触预报数值模型,实现冰桨切削动态变化过程的数值仿真.对... 考虑冰桨接触过程中前桨叶对冰结构的破坏,对后桨叶受的冰载荷产生较大影响,分析是由遮蔽效应导致,为了研究冰桨接触过程中遮蔽效应的影响,基于近场动力学和面元法耦合建立冰桨接触预报数值模型,实现冰桨切削动态变化过程的数值仿真.对比不同进速系数下螺旋桨叶面叶背载荷,探究冰桨接触工况下遮蔽效应产生的原因.分析了冰桨接触过程中遮蔽效应的影响因素,提出了遮蔽系数的计算公式,分别计算不同工况下的遮蔽系数,计算结果表明遮蔽系数计算公式的结果很好地预报了遮蔽效应对冰桨接触的影响程度. 展开更多
关键词 遮蔽效应 遮蔽系数 冰桨接触 冰载荷 近场动力学
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多光谱影像NDVI阴影影响去除模型 被引量：8
18
作者 焦俊男 石静 +2 位作者 田庆久 高林 徐念旭 《遥感学报》 EI CSCD 北大核心 2020年第1期53-66,共14页
归一化植被指数(NDVI)在植被多光谱遥感反演中占据尤为重要的地位,而遥感影像中普遍存在的阴影对NDVI的精度产生很大的影响,因此去除阴影对植被NDVI的影响对更精确的定量化研究具有应用价值。本文基于光照区和阴影区的太阳辐射能量差异... 归一化植被指数(NDVI)在植被多光谱遥感反演中占据尤为重要的地位,而遥感影像中普遍存在的阴影对NDVI的精度产生很大的影响,因此去除阴影对植被NDVI的影响对更精确的定量化研究具有应用价值。本文基于光照区和阴影区的太阳辐射能量差异,模拟出同一植被在光照区和阴影区的辐亮度,分析阴影对NDVI的影响机理;利用植被固有反射率谱间关系,引入对阴影极敏感的且与植被信息相关性小的归一化暗像元指数NDPI(Normalized Dark Pixel Index),分析同一植被处于光照区与阴影区的NDVI关系,构建以光照区植被NDVI为基准的NDVI阴影影响去除模型NSEE(NDVI Shadow-Effect-Eliminating),并应用于Landsat 8 OLI影像进行验证。结果表明:NDVI阴影影响基本去除,阴影区NDVI接近正常值,且光照区NDVI保持稳定;有效解决了阴影导致NDVI统计直方图的偏态问题,使其更接近正态分布;与验证影像NDVI沿剖面线逐像元比对发现,植被NDVI阴影影响基本去除;均方根误差RMSE为0.067。本模型能够将本身NDVI值很低的像元与阴影导致NDVI降低的植被像元区分开,符合实际地物情况;模型基于影像自身信息,去除NDVI阴影影响的同时,有效保持了NDVI的相对空间关系;本文基于物理机理构建模型,模型表达简洁、易于应用,且仅依赖于影像自身信息,无需异源数据,计算方便且高效。 展开更多
关键词 遥感 植被阴影冠层 NDVI NDPI 阴影 LANDSAT 8 OLI 多光谱遥感
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极紫外光刻离轴照明技术研究 被引量：8
19
作者 王君 金春水 +1 位作者 王丽萍 卢增雄 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期140-145,共6页
离轴照明技术(OAI)是极紫外光刻技术中提高光刻分辨率的关键技术之一。为了实现考虑掩模阴影效应情况下离轴照明的优化选择,构造了一种新型实现OAI曝光的成像模型。将照射到掩模上的非相干光等效为一系列具有连续入射方向的等强度平行光... 离轴照明技术(OAI)是极紫外光刻技术中提高光刻分辨率的关键技术之一。为了实现考虑掩模阴影效应情况下离轴照明的优化选择,构造了一种新型实现OAI曝光的成像模型。将照射到掩模上的非相干光等效为一系列具有连续入射方向的等强度平行光,基于阿贝成像原理分别对掩模进行成像,最终在像面进行强度叠加实现OAI方式下空间成像的计算;并通过向投影系统函数添加离焦像差项实现不同离焦面上空间成像计算。该模型极大地简化了OAI条件下对掩模阴影效应的计算,提高了成像质量计算效率。结合光刻胶特性及投影曝光系统焦深设计要求,以显影后光刻胶轮廓的侧壁倾角为判据,获得了采用数值孔径为0.32的投影系统实现16nm线宽黑白线条曝光的最优OAI参数。 展开更多
关键词 X射线光学 极紫外光刻 分辨率增强 离轴照明阴影效应 光刻胶
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一种兼顾照明与通信的环形光源布局模型 被引量：8
20
作者 赵黎 朱彤 +1 位作者 刘智港 刘雪莹 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2018年第7期1-6,共6页
传统基于阵列的光源布局方式在室内难免存在光照度及系统误码率不均匀现象,为提高系统照度均匀性及通信可靠性,需合理对光源进行优化布局。本文以4 m×4 m×3 m的房间为模型,设计了单LED阵列+灯带的环形光源布局模型。模型中间... 传统基于阵列的光源布局方式在室内难免存在光照度及系统误码率不均匀现象,为提高系统照度均匀性及通信可靠性,需合理对光源进行优化布局。本文以4 m×4 m×3 m的房间为模型,设计了单LED阵列+灯带的环形光源布局模型。模型中间采用6×6 LED阵列,阵列内部灯珠之间的距离为0.3 m;四周采用环形灯带形式,灯珠个数为316个,灯珠之间的距离为0.05 m。仿真结果表明,该模式下系统光照度均值为437.08 lx,光照度均匀性为93.9%,同时,系统误码率均值为2.8716×10^(-7)。因此,本文所设计的环形光源布局模型兼顾了室内光照度分布的均匀性和通信的可靠性,可同时满足室内照明和通信,为室内可见光通信光源布局提供了一种优化方法。 展开更多
关键词 可见光通信系统 光照度 误码率 阴影效应
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