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题名半连续Ag膜的多重分形研究
被引量：2
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作者
孙兆奇
吕建国
高清维
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机构
安徽大学物理与材料科学学院
安徽大学电子科学与技术学院
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出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2006年第1期30-34,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(No.59972001)
安徽省自然科学基金资助项目(No.01044901)
+1 种基金
安徽省人才专项基金(No.2004Z029)
安徽大学人才队伍建设基金资助课题~~
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文摘
用透射电镜(TEM)观察了用直流磁控溅射法制备的厚度为1.5nm^67nm的半连续Ag膜的形貌,并用多重分形理论定量表征不同厚度半连续Ag膜中Ag小岛的面分布均匀性及其尺寸分布。结果显示:随着薄膜厚度的增加,多重分形谱的谱宽Δα先增大后减小,在6nm^12nm之间出现最大值,表明薄膜中小岛的面分布均匀性是由均匀到不均匀再到均匀的变化过程;当薄膜厚度达到某一临界值(在12nm^67nm之间)时,Δf从<0向>0发生转变,此时薄膜中小岛的尺寸分布由较大程度上取决于体积最小的小岛向较大程度上取决于体积最大的小岛过渡。
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关键词
半连续ag膜
多重分形谱
TEM
薄膜厚度
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Keywords
semicontinuous ag films
multifractal spectra
TEM
film thickness
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分类号
O484
[理学—固体物理]
O414.2
[理学—物理]
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题名分形理论及其在薄膜微结构研究中的应用
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作者
吕建国
蔡琪
宋学萍
孙兆奇
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机构
安徽教育学院物理与电子工程系
安徽大学物理与材料科学学院
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出处
《安徽教育学院学报》
2007年第3期24-27,共4页
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基金
国家自然科学基金(No.50642038)
教育部博士点专项基金(No.20060357003)
+3 种基金
安徽省人才专项基金(No.2004Z029)
安徽省教育厅自然科学研究项目(No.KJ2007B135)
安徽省高等学校青年教师科研资助计划项目(No.2006jql192)
安徽大学人才队伍建设基金资助课题
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文摘
介绍分形的基本概念以及几种常用的计算简单分形维数的方法,用分形研究Au-MgF2纳米金属介质复合薄膜中Au颗粒和半连续Ag膜中Ag小岛的分布规律。结果表明:复合薄膜中Au颗粒的分形维数随Au含量的增加由1.5516逐渐增大到1.7671,表明金属介质复合薄膜中Au颗粒的平均尺寸随着Au含量的增加而增大;半连续Ag膜中Ag小岛的分形维数随厚度的增加从1.4051增大到1.7428,说明半连续Ag膜的覆盖率随着其厚度的增加而增大。这一结果与实验结果一致,因此分形可以用来定量表征薄膜显微结构的演化规律。
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关键词
Au-MgF2纳米金属介质复合薄膜
半连续ag膜
分形
分形维数
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Keywords
Au-MgF2 nano-metal dielectric composite films
semicontinuous ag films
Fractal
Fractal di- mension
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分类号
O766
[理学—晶体学]
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