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半导体工艺线CAM及SPC的应用 被引量：2
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作者 李保第 刘福庆 +4 位作者 李彦伟 杨中月 胡玲 崔玉兴 付兴昌 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第10期647-651,共5页
探讨了在多品种小批量半导体工艺生产线上开发应用CAM技术及实现SPC控制的方法。作者及同事开发了适用于所在工艺线特点的CAM软件系统程序——WI系统,用于工艺的指导和记录、生产的安排和监控以及数据的记录和提取。利用SPC方法对由WI... 探讨了在多品种小批量半导体工艺生产线上开发应用CAM技术及实现SPC控制的方法。作者及同事开发了适用于所在工艺线特点的CAM软件系统程序——WI系统,用于工艺的指导和记录、生产的安排和监控以及数据的记录和提取。利用SPC方法对由WI提取的数据进行统计分析处理,做出控制图,对各种工艺异常进行分析判断进而做出工艺调整,以实现有效的工艺监控,逐步提高工艺加工能力和稳定性。该生产控制方法的应用为工艺线产品的研制和生产提供了有力保证。 展开更多
关键词 半导体工艺线 计算机辅助制造(CAM) 统计过程控制(SPC) 工艺监控 工艺调整 控制图
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