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题名刻划光栅刻线弯曲误差在线修正技术研究
被引量：2
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作者
杨超
周鹏
周润森
高旭
薛常喜
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机构
长春理工大学光电工程学院
光电测控与光信息传输技术教育部重点实验室
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第4期658-662,共5页
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基金
国家自然科学基金(51505078,61505204)
长春理工大学青年科学基金(XQNJJ-2017-06)
2018年“十三五”科学技术项目(JJKH20181111KJ)
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文摘
刻划光栅存在刻线弯曲误差,将直接影响光栅的衍射波前质量。通过构建光栅刻线弯曲误差与衍射波前的映射关系,搭建了光栅刻线弯曲误差的实时测量光路,论述了光栅刻划机主动控制技术原理,将光栅刻划机主动控制技术用于光栅刻线弯曲误差的在线补偿。通过对比光栅刻划实验验证该方法的可行性。上述方法能够准确提取并有效补偿光栅刻线弯曲误差,将光栅衍射波前由0.074 λ提高到0.038 λ,提高了48.6%,同时有效地解决了光栅表面弯曲问题。其研究结果可用于提高机械刻划光栅质量,具有重要的理论及应用价值。
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关键词
刻划光栅
测量光路
刻线弯曲
刻划误差
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Keywords
ruled grating
measurement optical path
groove curve error
ruling errors
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分类号
TN206
[电子电信—物理电子学]
O433.4
[机械工程—光学工程]
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