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非晶硅Pin二极管的1MeV电子幅照效应
被引量:
2
1
作者
李柳青
廖显伯
游志朴
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第8期1076-1078,共3页
本文报道a Si∶H本征膜及Pin二极管的 1MeV1 4× 10 15,4 2× 10 15,8 4× 10 15/cm2 电子幅照实验结果和退火行为 .测量了电子辐照对a Si∶H光暗电导率和光致发光谱的影响 ,以及a Si∶HPin二极管光伏特性和光谱响应随电子...
本文报道a Si∶H本征膜及Pin二极管的 1MeV1 4× 10 15,4 2× 10 15,8 4× 10 15/cm2 电子幅照实验结果和退火行为 .测量了电子辐照对a Si∶H光暗电导率和光致发光谱的影响 ,以及a Si∶HPin二极管光伏特性和光谱响应随电子辐照剂量的变化 .发现电子辐照在a Si∶H本征膜和二极管中引起严重的损伤 ,和二极管光谱响应的峰值“红移” .但未见饱和现象 ,还观测到明显的室温恢复现象 ;但高温退火处理后未能完全恢复 .本文对以上实验结果给出了合理的解释 .
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关键词
PIN二极管
电子辐照效应
非晶硅
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职称材料
题名
非晶硅Pin二极管的1MeV电子幅照效应
被引量:
2
1
作者
李柳青
廖显伯
游志朴
机构
北京印刷学院基础部
中科院半导体所
四川联合大学物理系
出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第8期1076-1078,共3页
文摘
本文报道a Si∶H本征膜及Pin二极管的 1MeV1 4× 10 15,4 2× 10 15,8 4× 10 15/cm2 电子幅照实验结果和退火行为 .测量了电子辐照对a Si∶H光暗电导率和光致发光谱的影响 ,以及a Si∶HPin二极管光伏特性和光谱响应随电子辐照剂量的变化 .发现电子辐照在a Si∶H本征膜和二极管中引起严重的损伤 ,和二极管光谱响应的峰值“红移” .但未见饱和现象 ,还观测到明显的室温恢复现象 ;但高温退火处理后未能完全恢复 .本文对以上实验结果给出了合理的解释 .
关键词
PIN二极管
电子辐照效应
非晶硅
Keywords
intrinsic
a-Si~{!C~}H
films
pin
diodes
electron
irradiation
roon
temperature
recove
ring
high
temperature
annealling
redshifts
of
the
peak
value
of
the
optical
spec
tral
response
irradiation
induced-defects
分类号
TN31 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
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被引量
操作
1
非晶硅Pin二极管的1MeV电子幅照效应
李柳青
廖显伯
游志朴
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
2
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职称材料
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