期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
高纯液氯的纯化技术
1
作者 赵菁 《广州化工》 CAS 2022年第8期37-39,共3页
随着微电子、新型半导体材料和大规模集成电路技术的快速发展,对高纯液氯的质量要求不断提高,要求其具有更低的杂质含量,因此高纯液氯的纯化技术受到广泛关注。本文介绍了高纯液氯的基本性质和应用领域,概述了国内外高纯液氯的研制、纯... 随着微电子、新型半导体材料和大规模集成电路技术的快速发展,对高纯液氯的质量要求不断提高,要求其具有更低的杂质含量,因此高纯液氯的纯化技术受到广泛关注。本文介绍了高纯液氯的基本性质和应用领域,概述了国内外高纯液氯的研制、纯化以及去除其中特定杂质的方法。展望了高纯液氯纯化技术的发展,高纯氯气作为重要的电子气体将发挥重要的作用,对该产品进行产业化生产十分必要。 展开更多
关键词 高纯液氯 纯化技术 吸附 精馏 大规模集成电路
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部