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基于金属模板热压微模塑制备聚烯烃超疏水表面 被引量:5
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作者 冯杰 林飞云 +1 位作者 黄明达 钟明强 《高校化学工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期688-694,共7页
超疏水表面如薄膜由于具有重要应用前景而广受关注,但目前仍缺少能够经济、大规模制备方法。本研究先用不同配比的蚀刻液分别对不锈钢、黄铜、铝合金表面进行可控刻蚀,得到具有适当粗糙度的系列金属表面,再以此金属表面为模板,通过热压... 超疏水表面如薄膜由于具有重要应用前景而广受关注,但目前仍缺少能够经济、大规模制备方法。本研究先用不同配比的蚀刻液分别对不锈钢、黄铜、铝合金表面进行可控刻蚀,得到具有适当粗糙度的系列金属表面,再以此金属表面为模板,通过热压微模塑-拉伸工艺制得了聚烯烃超疏水表面,接触角大于150°,滚动角小于5°。扫描电镜照片显示超疏水表面具有明显拉长的微毛刺结构。该方法简单易行,可望与工业上生产塑料薄膜的流延工艺相结合,为具有超疏水表面的聚合物薄膜的规模化生产提供技术基础。 展开更多
关键词 金属模板 微模塑 聚烯烃 超疏水表面
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用于微流控芯片的PDMS微混合器工艺和数值分析 被引量:2
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作者 陈实 张卫平 +1 位作者 陈文元 牛志强 《微细加工技术》 EI 2006年第6期48-51,62,共5页
介绍了一种用软光刻技术制作微流芯片上PDMS微混合器的工艺。首先用SU-8胶制作微模具,然后用复制压模法制作出PDMS微通道,最后用紫外光表面改性实现PDMS材料和玻璃基片的键合。阐述了微混合的机理,用数值分析方法对三种形状微混合器进... 介绍了一种用软光刻技术制作微流芯片上PDMS微混合器的工艺。首先用SU-8胶制作微模具,然后用复制压模法制作出PDMS微通道,最后用紫外光表面改性实现PDMS材料和玻璃基片的键合。阐述了微混合的机理,用数值分析方法对三种形状微混合器进行了液体混合效率的分析,结果表明,弯形管道特别是Z形管道,由于惯性力在横截面上产生的二次流动能有效增大液体间的微混合面积,因而大大提高了液体混合的效率。 展开更多
关键词 软光刻 聚二甲基硅氧烷 复制-压模法 混合效率
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基于不锈钢模板热压微模塑构建聚乙烯超疏水表面 被引量:2
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作者 林飞云 冯杰 +1 位作者 黄明达 钟明强 《功能高分子学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第2期211-214,共4页
采用含FeCl3的蚀刻液对不锈钢表面进行刻蚀,再以此蚀刻面为模板热压低密度聚乙烯(LDPE),冷却剥离得到LDPE微模塑表面。研究结果表明:静、动态接触角均超过150°,滚动角约5°,LDPE表面呈"花菜状"结构,即大"包&qu... 采用含FeCl3的蚀刻液对不锈钢表面进行刻蚀,再以此蚀刻面为模板热压低密度聚乙烯(LDPE),冷却剥离得到LDPE微模塑表面。研究结果表明:静、动态接触角均超过150°,滚动角约5°,LDPE表面呈"花菜状"结构,即大"包"上密集分布着微米及亚微米级的小突起。本工艺可望结合工业上生产塑料薄膜的流延技术,实现聚合物超疏水表面的规模化生产。 展开更多
关键词 不锈钢模板 热压微模塑 聚乙烯 超疏水表面
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钢辊热压微模塑-可控剥离法构建聚乙烯超疏水表面 被引量:1
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作者 冯杰 林飞云 钟明强 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第6期835-838,906,共5页
人工超疏水表面能否简单、环保、经济地量产对其实际应用有重要影响。本研究以滚压成型的表面含微坑的钢辊为模板,采用简单的热压微模塑-可控剥离工艺制备了聚乙烯超疏水表面,接触角大于150°,滚动角约为5°。扫描电镜观察表明... 人工超疏水表面能否简单、环保、经济地量产对其实际应用有重要影响。本研究以滚压成型的表面含微坑的钢辊为模板,采用简单的热压微模塑-可控剥离工艺制备了聚乙烯超疏水表面,接触角大于150°,滚动角约为5°。扫描电镜观察表明,钢辊表面具有均匀网格状微米级浅坑,以此为模板微模塑制备的聚乙烯超疏水表面布满明显拉长的微米级"山"形结构和亚微米级毛刺结构。本文首次报道了直接应用钢辊制备聚合物超疏水表面,可望结合塑料薄膜流延生产工艺,实现聚合物超疏水薄膜或表面规模化生产。 展开更多
关键词 聚乙烯 超疏水表面 钢辊 热压微模塑 可控剥离
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复制模塑法制备超疏水表面及其应用 被引量:14
5
作者 周明 郑傲然 杨加宏 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1296-1300,共5页
设计并利用复制模塑法制备了两种具有不同几何结构的聚二甲基硅氧烷(PDMS)粗糙表面,即方形柱结构表面与平行光栅结构表面.扫描电镜观察结果表明,制备的样品表面精细度较高.利用接触角测量仪测得,水滴在方形柱和平行光栅这两种PDMS微结... 设计并利用复制模塑法制备了两种具有不同几何结构的聚二甲基硅氧烷(PDMS)粗糙表面,即方形柱结构表面与平行光栅结构表面.扫描电镜观察结果表明,制备的样品表面精细度较高.利用接触角测量仪测得,水滴在方形柱和平行光栅这两种PDMS微结构表面上的接触角分别为(154.6±0.7)°和(160.2±1.9)°,滚动角分别≤6°和≤3°,达到超疏水的标准.研究血小板在这两种PDMS微结构表面与PDMS光滑表面上的粘附行为,实验结果表明超疏水表面可以显著减少血小板的粘附,而且不容易引起血小板变形,具有良好的血液相容性.同时分析并解决了样品制备过程中容易出现的表面微结构图案脱落、开裂的问题.上述实验结果表明,这种超疏水材料有望应用于工农业生产与生物工程领域. 展开更多
关键词 复制模塑法 超疏水 接触角 细胞粘附
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CaCO_3颗粒模板法制备聚合物超亲水/超疏水表面 被引量:17
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作者 郑建勇 冯杰 钟明强 《高分子学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2010年第10期1186-1192,共7页
以碳酸钙(CaCO3)颗粒层为模板,运用简单的热压和酸蚀刻相结合的方法制备聚合物超亲水/超疏水表面.首先在玻璃基底上均匀铺撒一层CaCO3颗粒,以此作为模板,通过热压线性低密度聚乙烯(LLDPE)使CaCO3颗粒均匀镶嵌在聚合物表面,获得了超亲水... 以碳酸钙(CaCO3)颗粒层为模板,运用简单的热压和酸蚀刻相结合的方法制备聚合物超亲水/超疏水表面.首先在玻璃基底上均匀铺撒一层CaCO3颗粒,以此作为模板,通过热压线性低密度聚乙烯(LLDPE)使CaCO3颗粒均匀镶嵌在聚合物表面,获得了超亲水性质;进一步经酸蚀得到了具有微米和亚微米多孔结构的表面,其水滴静态接触角(WCA)可达(152.7±0.8)°,滚动角小于3°,具备超疏水性质.表面浸润性能和耐水压冲击性能研究表明该超疏水表面具有良好的稳定性和持久性.用同样工艺微模塑/酸蚀刻其它疏水性聚合物,得到类似结果. 展开更多
关键词 CaCO3颗粒 模板法 聚合物 超疏水 超亲水
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用软光刻技术实现微细结构 被引量:5
7
作者 刘伟庭 蔡强 +2 位作者 郭希山 陈裕泉 王立人 《传感技术学报》 CAS CSCD 2002年第2期136-139,共4页
本文介绍了一种新的微结构制造技术———软光刻技术 ,它提供了一种方便、有效的和低成本的微米、纳米尺寸微结构的制造方法 .本文着重涉及了软光刻的几项关键技术 :弹性印模、再铸模等 ,阐述了模板的制备方法和原理 。
关键词 软光刻 再铸模 微毛细管 微阀 PDMS
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以多孔CaCO_3微球为模板制备聚乙烯超疏水表面 被引量:8
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作者 钟明强 郑建勇 冯杰 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期2511-2517,共7页
以聚苯乙烯磺酸钠(PSS)掺杂的多孔碳酸钙(CaCO3)微球层为模板,通过热压低密度聚乙烯(LDPE)并结合酸蚀刻的方法制得了具有多层黏连微球结构、而非常见蜂窝状多孔结构的LDPE稳定超疏水表面(接触角为152.8°±2.5°,滚动角约为... 以聚苯乙烯磺酸钠(PSS)掺杂的多孔碳酸钙(CaCO3)微球层为模板,通过热压低密度聚乙烯(LDPE)并结合酸蚀刻的方法制得了具有多层黏连微球结构、而非常见蜂窝状多孔结构的LDPE稳定超疏水表面(接触角为152.8°±2.5°,滚动角约为6°).元素分析表明,表面黏连微球为纯LDPE而非LDPE包覆的CaCO3.将CaCO3微球稀疏地撒在LDPE表面并加热熔融,微球会自发沉降到熔体内部,酸蚀刻后形成了类似莲蓬的表面微结构,即坑内包含小球.结合CaCO3微球生成原理和多孔结构,可认为黏连微球结构和莲蓬结构均是由于LDPE熔融大分子自发沉积到多孔CaCO3微球内部,"反模"形成了LDPE微球所致. 展开更多
关键词 多孔碳酸钙微球 聚乙烯 模板法 超疏水表面 自发沉积
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Characterization of the Topography and Wettability of English Weed Leaves and Biomimetic Replicas 被引量:5
9
作者 Pedro Miguel Matos Pereira Ana Sofia Moita +1 位作者 Gabriel Amaro Monteiro Duarte Miguel Franca Prazeres 《Journal of Bionic Engineering》 SCIE EI CSCD 2014年第3期346-359,共14页
The topography and wettability of the underside of English weed (Oxalis pes-caprae) leaves and of their biomimetic replicas are investigated. Polyvinyl siloxane molds were cast from the leaves and then filled with a... The topography and wettability of the underside of English weed (Oxalis pes-caprae) leaves and of their biomimetic replicas are investigated. Polyvinyl siloxane molds were cast from the leaves and then filled with an epoxy pre-polymer to produce replicas. The particular topographical structures of leaves and replicas were evaluated by optical microscopy and Scanning Electron Microscopy (SEM) analysis. The static wettability of leaves and replicas was assessed by contact angle measurements, while the dynamic wettability was characterized by estimating contact angle hysteresis and studying the dynamic behavior of impacting water droplets. A smooth glass slip and its replica were used as control surfaces. The replica moulding method used was able to transfer the characteristic pattern of irregular 100 μm - 200 μm × 60 μm convex papillae interspersed with stomata of the original leaf to the epoxy replicas. The static contact angle of 143°± 3° and the contact angle hysteresis of 2~ indicate that the underside of the English weed leaf is close to superhydrophobic. The lower contact angles (130° ± 4°) and higher hysteresis (31°) observed for the replica when compared with the original leaves were associated to an inaccurate replication of the chemistry and structures of the three-dimensional wax projections covering the plant surface. Also, trichomes in the original leaves could not be accurately reproduced due to their flexibility and fragility. Differences in wetting behavior were also evident from droplet impact experiments, with rebound regimes prevailing in the original leaves and regimes characterized by higher adhesion and larger dissipation predominating in the replicas. Nevertheless, the morphological features of the leaf transferred to the replica were sufficient to promote a clear hydrophobic behavior of the replica when compared with the smooth epoxy reference surface. 展开更多
关键词 biomimetic surfaces oxalis pes-caprae English weed replica molding WETTABILITY MICRO-TOPOGRAPHY
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准分子激光微加工技术结合模塑技术加工微流控芯片 被引量:6
10
作者 申雪飞 陈涛 吴靖轩 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第9期61-66,共6页
利用准分子激光微加工技术与模塑技术相结合的方法制造微流控芯片。用准分子激光在玻璃基胶层上刻蚀出加工质量较高的微流控生物芯片形貌,通过电铸技术对微流控芯片进行复制,得到反向金属模具。用金属模具通过注塑成型技术用聚碳酸酯注... 利用准分子激光微加工技术与模塑技术相结合的方法制造微流控芯片。用准分子激光在玻璃基胶层上刻蚀出加工质量较高的微流控生物芯片形貌,通过电铸技术对微流控芯片进行复制,得到反向金属模具。用金属模具通过注塑成型技术用聚碳酸酯注塑出微流控芯片。系统研究了准分子激光的能量密度和工作台移动速度对胶层微通道加工质量的影响;测量并分析了激光刻蚀加工出的微流控芯片原型、电铸的反向金属模板和注塑成型后的微流控芯片的轮廓精度和表面粗糙度,上表面尺度偏差不大于2μm,底面粗糙度小于20 nm。对注塑出的微流控芯片和激光直写刻蚀的几何结构相同的微流控芯片的流动性能进行比较测试。在流速较小时,用激光微加工技术与模塑技术相结合的方法加工的微通道比准分子激光直写法所加工的微通道流动性能更好。 展开更多
关键词 激光技术 准分子激光 微加工 模塑技术 微流控生物芯片
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一种材料超疏水表面的制备方法及其应用 被引量:3
11
作者 宣仲义 杨志强 翁孟超 《材料导报(纳米与新材料专辑)》 EI CAS 2008年第1期379-381,396,共4页
首先介绍了超疏水表面的重要应用,对超疏水表面结构进行了定义,并列举了几种制备超疏水表面的方法。详细介绍了利用复制模塑法制备超疏水表面的工艺过程,通过样品的扫描电镜照片分析了该工艺的优点以及工艺参数对样品表面微造型的影响... 首先介绍了超疏水表面的重要应用,对超疏水表面结构进行了定义,并列举了几种制备超疏水表面的方法。详细介绍了利用复制模塑法制备超疏水表面的工艺过程,通过样品的扫描电镜照片分析了该工艺的优点以及工艺参数对样品表面微造型的影响。水滴在方形柱和平行光栅这两种PDMS微结构表面上的接触角分别为(154.6±0.7)°和(160.2±1.9)°,滚动角分别为6°和3°,达到超疏水标准。最后介绍了复制模塑法在制备超疏水表面、生物抗粘附研究及细胞分选过程中的应用,展望了其广阔的发展前景。 展开更多
关键词 超疏水表面 复制模塑法 PDMS 细胞粘附 细胞分选
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复制模塑技术制备仿生超疏水表面的研究进展 被引量:2
12
作者 刘建平 杨小敏 +2 位作者 钟铧均 王龙祥 黄玉 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第19期84-86,93,共4页
超疏水表面在生产生活中具有重要的应用价值,其制备的关键在于构建合适的表面微结构。复制模塑技术在制备超疏水表面研究中具有操作简单、成本低廉的优势。在介绍了超疏水研究中描述浸润现象的Young′s、Wenzel和Cassie-Baxter方程的理... 超疏水表面在生产生活中具有重要的应用价值,其制备的关键在于构建合适的表面微结构。复制模塑技术在制备超疏水表面研究中具有操作简单、成本低廉的优势。在介绍了超疏水研究中描述浸润现象的Young′s、Wenzel和Cassie-Baxter方程的理论要点的基础上,按第二次转移时所使用材料为预聚物、聚合物溶液或热塑性聚合物的不同,将复制模塑技术划分成直接复制模塑、溶液复制模塑和热模塑3种操作方法,并从这3方面综述了复制模塑技术在仿生超疏水表面制备中的研究进展。最后探讨了复制模塑技术研究中存在的一些问题及解决方案。 展开更多
关键词 复制模塑 超疏水表面 仿生 制备技术
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聚乳酸微柱阵列型拓扑结构基底上SH-SY5Y细胞VEGF和IL-8的分泌及表达 被引量:1
13
作者 范志刚 林雨 +5 位作者 黄岂平 罗美蓉 田青华 钟冬火 冯全义 吴泽志 《生物工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第11期1629-1643,共15页
以紫外光光刻、硅蚀刻及复制模塑技术制备了聚乳酸(PLLA)微柱阵列型拓扑结构基底,考察了SH-SY5Y人神经母细胞瘤细胞在拓扑结构基底上的生长及血管内皮生长因子(VEGF)和白细胞介素-8(IL-8)的分泌及表达。细胞的形态及铺展采用扫描电子显... 以紫外光光刻、硅蚀刻及复制模塑技术制备了聚乳酸(PLLA)微柱阵列型拓扑结构基底,考察了SH-SY5Y人神经母细胞瘤细胞在拓扑结构基底上的生长及血管内皮生长因子(VEGF)和白细胞介素-8(IL-8)的分泌及表达。细胞的形态及铺展采用扫描电子显微图像进行分析,细胞在拓扑结构基底上生长24 h后的VEGF及IL-8分泌量采用ELISA进行检测,VEGF及IL-8在mRNA水平的表达量以实时定量PCR进行评价。实验中成功制备了微柱名义直径为2μm和4μm、微柱名义间距为2μm和7μm的4种拓扑结构基底。研究发现,SH-SY5Y细胞在2-2μm(微柱名义直径-名义间距)、4-2μm、4-7μm拓扑结构基底上的VEGF和/或IL-8分泌量和表达较之PLLA平面基底上相应值出现上调,而在2-7μm拓扑结构基底上VEGF及IL-8二者均表现出表达和分泌量大幅度和明显的上调。与在PLLA平面基底上相比,SH-SY5Y细胞在拓扑结构基底上表现出细胞形态(铺展面积及圆度)的明显变化,细胞VEGF及IL-8分泌量和表达的上调伴随细胞铺展面积的明显降低。结果表明微柱阵列型拓扑结构是影响SH-SY5Y细胞VEGF、IL-8分泌及表达的重要微环境因素,VEGF和IL-8可能构成SH-SY5Y细胞在拓扑结构基底上生长的重要分泌物标志。 展开更多
关键词 复制模塑 ELISA 实时定量PCR 人神经母细胞瘤细胞 分泌物标志
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一种制作凹形聚二甲基硅氧烷微透镜阵列的方法 被引量:4
14
作者 钟可君 高益庆 +1 位作者 李凤 张志敏 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期205-209,共5页
提出一种制作凹形聚二甲基硅氧烷(PDMS)微透镜阵列的方法。用数字微镜器件(DMD)代替物理掩模,建立数字灰阶无掩模光刻系统,在光刻胶上制作正方形基底凸形微透镜阵列,以此阵列为母板,采用复制方法,制作了高填充因子的正方形基底凹形PDMS... 提出一种制作凹形聚二甲基硅氧烷(PDMS)微透镜阵列的方法。用数字微镜器件(DMD)代替物理掩模,建立数字灰阶无掩模光刻系统,在光刻胶上制作正方形基底凸形微透镜阵列,以此阵列为母板,采用复制方法,制作了高填充因子的正方形基底凹形PDMS微透镜阵列。实验和测试结果表明:数字灰阶无掩模光刻系统制作的微透镜阵列表面光滑,形貌良好;复制的PDMS微透镜阵列边缘清晰,表面光滑,焦面光斑光强均匀。为制作凹形微透镜阵列提供了一条制作简单、效率高、成本低、可大规模制作的新途径。 展开更多
关键词 光学器件 微光学元件 凹形微透镜阵列 数字灰阶无掩模光刻 模型复制技术 聚二甲基硅氧烷
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以丝网为模板量产聚烯烃超疏水/超亲水表面 被引量:3
15
作者 冯杰 林飞云 钟明强 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期172-174,178,共4页
以不锈钢丝网为模板,用热压微模塑方法制备了聚烯烃超疏水/超亲水表面。研究了热压温度对所制表面微观结构和超疏水性能的影响。考察了所得表面超疏水性的耐水冲击能力。结果表明,所制表面形成了均匀分布的微尖刺结构,并呈超疏水性能(... 以不锈钢丝网为模板,用热压微模塑方法制备了聚烯烃超疏水/超亲水表面。研究了热压温度对所制表面微观结构和超疏水性能的影响。考察了所得表面超疏水性的耐水冲击能力。结果表明,所制表面形成了均匀分布的微尖刺结构,并呈超疏水性能(接触角〉150°,滚动角5°),但抗水压能力较弱,当水流动能稍大时(流速2 m/s、流量0.4 m3/h、压力4 kPa),该类表面很快即从超疏水转变成超亲水。研究结果若与流延或压延工艺技术相结合,可为规模制备水压敏感型超疏水/超亲水聚合物表面提供有利条件。 展开更多
关键词 不锈钢丝网 微模塑 聚烯烃 超疏水 超亲水
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基于连续弯液面构筑的有序阵列模板复制模塑制备图案化聚合物薄膜 被引量:2
16
作者 贾若琨 杨晓航 +4 位作者 龙智云 何蕾茵 王盼新 张凌云 赵明 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期388-395,共8页
基于咖啡环理论,利用微米尺度限制下的弯液面溶剂散逸过程获得表面微结构可控的有序阵列,以此为母模板制备聚二甲基硅氧烷(PDMS)弹性印章,通过复制模塑过程实现阵列结构转移.利用广义YoungLaplace方程建立的理论模型分析弯液面聚合物沉... 基于咖啡环理论,利用微米尺度限制下的弯液面溶剂散逸过程获得表面微结构可控的有序阵列,以此为母模板制备聚二甲基硅氧烷(PDMS)弹性印章,通过复制模塑过程实现阵列结构转移.利用广义YoungLaplace方程建立的理论模型分析弯液面聚合物沉积黏连过程,推导出条纹沉积频率与聚合物分子量、基底滑动速率和溶液浓度的关系,理论计算结果与实验现象一致. 展开更多
关键词 弯液面 有序阵列 母模板 复制模塑技术 图案化聚合物薄膜
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PDMS微柱阵列型拓扑结构基底对肝癌细胞HepG2形态及功能基因表达的影响 被引量:2
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作者 田青华 林雨 +4 位作者 黄岂平 冯全义 张晃猷 张义国 吴泽志 《中国生物工程杂志》 CAS CSCD 北大核心 2013年第10期4-13,共10页
基于硅蚀刻及软光刻复制模塑技术,制备了4种聚二甲基硅氧烷(PDMS)微柱阵列型拓扑结构基底,其微柱名义直径为4μm或10μm,名义间距为4μm或7μm,名义高度为4μm。考察了人肝癌细胞株HepG2在拓扑结构基底与PDMS平面基底上的形态、生物... 基于硅蚀刻及软光刻复制模塑技术,制备了4种聚二甲基硅氧烷(PDMS)微柱阵列型拓扑结构基底,其微柱名义直径为4μm或10μm,名义间距为4μm或7μm,名义高度为4μm。考察了人肝癌细胞株HepG2在拓扑结构基底与PDMS平面基底上的形态、生物合成和解毒相关分子标志物的分泌/表达。采用扫描电镜和相差显微图像分析发现,HepG2细胞接种于拓扑结构基底较之于平面基底上出现明显的形态铺展和极化程度变化。以ELISA检测显示,HepG2细胞在拓扑结构基底上的白蛋白分泌水平高于平面基底上的相应分泌量。用实时荧光定量PCR评价相关基因表达,发现HepG2细胞于拓扑结构基底上培养1-3天后,白蛋白、细胞色素P450第一家族A亚族蛋白多肽1和2(CYP1A1和CYP1A2)的mRNA表达量,高于平面基底上的相应表达值。在所研究结构尺寸范围的拓扑结构基底上,HepG2细胞较大的铺展面积和细胞圆度值以及较小的细胞长/短径比值伴随着较高的白蛋白分泌/表达量;较小的铺展面积和细胞圆度值以及较大的细胞长/短径比值却伴随着较高的CYP1A1和CYP1A2表达量。这些结果表明,基底拓扑结构是影响HepG2细胞形态及功能的重要微环境因素,并可成为基于肝细胞的反应器与微系统培养环境设计和细胞功能表型优化的有效工程化手段。 展开更多
关键词 基底拓扑结构 复制模塑 极化程度 细胞铺展 ELISA 实时荧光定量PCR
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PDMS用加窗方式快速复制微结构
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作者 刘畅 郑小林 +2 位作者 廖彦剑 杨军 杨国清 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第12期58-59,63,共3页
提出了一种微流控芯片中的制作方法,此方法可以复制现有芯片的任意结构,可用于实验室原有芯片的修复和整合。用窗口的方法提取结构,可排除芯片上相邻结构的干扰,得到表面光滑整齐的新芯片。特别适用于复制目前软光刻工艺尚未达到的特微... 提出了一种微流控芯片中的制作方法,此方法可以复制现有芯片的任意结构,可用于实验室原有芯片的修复和整合。用窗口的方法提取结构,可排除芯片上相邻结构的干扰,得到表面光滑整齐的新芯片。特别适用于复制目前软光刻工艺尚未达到的特微结构和三维结构芯片。实验制作出的聚二甲基硅氧烷(PDMS)芯片沟道长30μm,宽5μm,深5μm,显微镜下观察芯片表面光滑,窗口内沟道性质复制良好,窗口边缘与表面之间具有明显的陡变。 展开更多
关键词 聚二甲基硅氧烷 模塑法 微流控芯片 软光刻窗口提取
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