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(1-x)PbZrO_(3)-xBaTiO_(3)薄膜的制备及储能性能
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作者 王朝霞 王超 +1 位作者 焦晓飞 李彦岗 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第4期633-639,共7页
电介质电容器在脉冲功率领域具有广阔的应用前景,其储能密度和储能效率的提高是目前研究的热点。通过PbZrO_(3)(PZO)和BaTiO_(3)(BTO)两相固溶的方式,制备(1-x)PZO-xBTO(x为0、0.1、0.2、0.3和0.4)固溶体薄膜,旨在提高介电强度,从而改... 电介质电容器在脉冲功率领域具有广阔的应用前景,其储能密度和储能效率的提高是目前研究的热点。通过PbZrO_(3)(PZO)和BaTiO_(3)(BTO)两相固溶的方式,制备(1-x)PZO-xBTO(x为0、0.1、0.2、0.3和0.4)固溶体薄膜,旨在提高介电强度,从而改善其储能密度和储能效率。结果表明:随着BTO含量增加,薄膜的晶粒尺寸逐渐减小,且薄膜由反铁电体逐渐转变为弛豫铁电体,导致其介电强度提高。当x=0.3时,(1-x)PZO-xBTO薄膜具有最大的可恢复储能密度,为11.62 J/cm^(3),较纯PZO薄膜提高了31.6%。当x=0.4时,薄膜储能效率达到62.3%,较纯PZO薄膜提高了62.7%。 展开更多
关键词 弛豫铁电薄膜 电介质电容器 电滞回线 储能性能 介电强度
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