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硅晶圆分层划片工艺试验研究 被引量:5
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作者 尹韶辉 杨宏亮 +2 位作者 陈逢军 耿军晓 张俊杰 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第7期1-7,共7页
目的优化硅晶圆划片工艺参数,提高划片质量。方法提出一种硅晶圆分层划片工艺方法,利用自主研发的精密全自动划片机,通过全因素试验,研究了主轴转速、进给速度和切削深度等工艺参数对分层划片与传统单次划片的工艺性能的影响,检测了崩... 目的优化硅晶圆划片工艺参数,提高划片质量。方法提出一种硅晶圆分层划片工艺方法,利用自主研发的精密全自动划片机,通过全因素试验,研究了主轴转速、进给速度和切削深度等工艺参数对分层划片与传统单次划片的工艺性能的影响,检测了崩边宽度、相对缝宽、切缝表面粗糙度,通过检测划片过程中主轴电流大小来间接反映切削力的大小。最后对分层划片工艺进行优化试验,得出最佳工艺参数组合。结果随着划片深度的增加,主轴电流增大,进给速度对主轴电流的影响较小,分层划片可以有效减少划片过程产生的切削力,提高划切效果。分层划片试验发现,随主轴转速的增加,相对缝宽增大;随进给速度增大,相对缝宽先减小后增大。进给速度为15 mm/s,转速为10 000 r/min时,相对缝宽最小,为1.048。随着主轴转速的增加,崩边宽度减小;随着进给速度的增大,崩边宽度增大。进给速度为1 mm/s,转速为25 000 r/min时,崩边宽度最小,为5.31μm。结论与传统单次划片方式相比,分层划片工艺能够得到更好的划片效果,可一定程度上降低崩边宽度,减小相对缝宽值,减少微裂纹,提高划切质量。 展开更多
关键词 硅晶圆 单次划片 分层划片 崩边 相对缝宽 切削力 划切质量
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常用金属材料相对切削力试验分析 被引量:2
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作者 刘苹 张宏 +2 位作者 何永利 韩健 白雪清 《煤矿机械》 北大核心 2010年第6期116-118,共3页
提出了相对切削力的概念,用以比较在相同加工条件下,不同工件材料切削力的大小。通过试验测量出一组切削力数据,计算出加工几种常用金属材料时的相对切削力,并就其切削加工性进行了分析讨论。对于更多的金属材料,则是利用资料所给出的... 提出了相对切削力的概念,用以比较在相同加工条件下,不同工件材料切削力的大小。通过试验测量出一组切削力数据,计算出加工几种常用金属材料时的相对切削力,并就其切削加工性进行了分析讨论。对于更多的金属材料,则是利用资料所给出的单位切削力求出相对单位切削力,用以比较其切削力的大小。 展开更多
关键词 相对切削力 相对单位切削力 切削加工性 车削
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手摇套料钻的理论分析及改进意见
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作者 王忠魁 《陕西理工学院学报(自然科学版)》 1992年第2期50-56,共7页
本文揭示了从日本引进的手摇套料钴的工作进给原理为一差动螺旋传动,阐明了它的使用方法,详细分析了它的齿轮传动、螺纹传动、刀具结构及几何角度,并提出了相应的改进意见。
关键词 相对转速 啮合角 无侧隙啮合 单位切削力
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基于相对误差的最小二乘法在切削力预测中的应用
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作者 刘朝晖 肖忠跃 +1 位作者 肖寿仁 谢世坤 《井冈山大学学报(自然科学版)》 2017年第1期78-82,共5页
对比分析高斯最小二乘法和基于相对误差的最小二乘法,后者的相对误差均值更小,适合保证实际值更小时的精度,更适合应用实际工程分析。在机械加工研究中,切削力通过应力、应变或测力仪传感器测量获得,使用成本较高,因此,提出了一种基于... 对比分析高斯最小二乘法和基于相对误差的最小二乘法,后者的相对误差均值更小,适合保证实际值更小时的精度,更适合应用实际工程分析。在机械加工研究中,切削力通过应力、应变或测力仪传感器测量获得,使用成本较高,因此,提出了一种基于数控机床伺服参数的测量方法。测量得到电流环伺服参数TCMD和切削力,采用基于相对误差的最小二乘法,两者之间的关系模型,并将此关系模型应用于切削力的预测中。试验结果表明切削力可通过伺服参数进行预测,基于相对误差的最小二乘法的预测模型具有较高的精度。 展开更多
关键词 相对误差 伺服参数 最小二乘法 切削力 预测
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工件材料切削加工相对性指标初探
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作者 刘苹 贾海利 +1 位作者 赵巍 何永利 《机械管理开发》 2010年第3期25-25,27,共2页
针对工件材料切削加工性问题,提出了相对切削力的概念,在相同加工条件下,用以比较不同工件材料切削力的大小。通过试验测量出一组切削力数据,计算出加工几种常用材料时的相对切削力,并对其切削加工性进行了分析讨论。
关键词 相对切削力 切削加工性 车削
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Multi objective prediction and optimization of control parameters in the milling of aluminium hybrid metal matrix composites using ANN and Taguchi-grey relational analysis 被引量:3
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作者 S.Ajith Arul Daniel R.Pugazhenthi +1 位作者 R.Kumar S.Vijayananth 《Defence Technology(防务技术)》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第4期545-556,共12页
This study aims to optimize the input parameters such as mass fraction and particle size of SiC along with depth of cut,feed and cutting speed in the milling of Al5059/SiC/MoS2.The hybrid metal matrix composites are g... This study aims to optimize the input parameters such as mass fraction and particle size of SiC along with depth of cut,feed and cutting speed in the milling of Al5059/SiC/MoS2.The hybrid metal matrix composites are generally fabricated by reinforcing of different sizes(10,20,40 μm)of SiC with aluminium at a different levels(5%,10%& 15%)whereas the MoS2 addition is fixed as 2%.The effect of each control factor on response variables are analyzed through Taguchi S/N ratio method.Also,the most significant method for prediction of response parameters is satisfied by ANN model than the regression model.Analysis of variance(ANOVA)results envisage that mass fraction of SiC,feed rate is the most domineering factor on response variable. 展开更多
关键词 Silicon CARBIDE Temperature Surface roughness cutting forceS Artificial neural network GREY relatIONAL analysis
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刀尖圆弧半径对主偏角影响的分析与实验研究 被引量:3
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作者 王进峰 商正 +1 位作者 吕鹏瑞 范孝良 《图学学报》 CSCD 北大核心 2019年第2期256-260,共5页
刀尖圆弧半径对加工精度、切削力等切削参数有重要影响,而主偏角直接影响切削变形和切削力的变化。为了研究车刀刀尖圆弧半径对主偏角的影响,建立了刀具要素间的几何关系。根据切削深度和刀尖圆弧半径大小,将切削条件划分为4种:①刀尖... 刀尖圆弧半径对加工精度、切削力等切削参数有重要影响,而主偏角直接影响切削变形和切削力的变化。为了研究车刀刀尖圆弧半径对主偏角的影响,建立了刀具要素间的几何关系。根据切削深度和刀尖圆弧半径大小,将切削条件划分为4种:①刀尖圆弧半径小于切削深度,且主偏角为90°;②刀尖圆弧半径小于切削深度,且主偏角小于90°;③刀尖圆弧半径小于切削深度,且主偏角大于90°;④刀尖圆弧半径大于切削深度。根据刀尖圆弧半径和切削深度之间的几何关系,分别计算了4种切削条件下刀尖圆弧半径导致的实际主偏角的变化。为了验证分析结果,进行了切削实验,通过分析背向力和进给力的夹角计算实验主偏角。实验结果证明,刀尖圆弧半径导致主偏角变小。 展开更多
关键词 刀尖圆弧半径 主偏角 切削深度 几何关系 切削力
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