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AT切石英谐振器频率温度系数的研究 被引量:10
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作者 田文杰 路峻岭 +1 位作者 张福学 张伟 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2002年第9期1-3,共3页
分析了AT切石英谐振器的频率温度系数与晶体弹性模量、密度、尺寸及环境因素间的关系.引进了1~3阶频率温度系数的修正系数,解释了频率温度系数的变化问题.结果表明,对切角及环境因素进行控制,可使石英晶体谐振器的频率–温度特性满足工... 分析了AT切石英谐振器的频率温度系数与晶体弹性模量、密度、尺寸及环境因素间的关系.引进了1~3阶频率温度系数的修正系数,解释了频率温度系数的变化问题.结果表明,对切角及环境因素进行控制,可使石英晶体谐振器的频率–温度特性满足工程的需要. 展开更多
关键词 石英谐振器 频率温度系数 环境因素控制 修正系数 AT切石英晶体
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The Multi-field Coupled Vibration Analysis of AT-Cut Quartz Crystal Resonators with Parallelism Error 被引量:1
2
作者 Mengjie Li Nian Li +4 位作者 Peng Li Dianzi Liu Iren EKuznetsova Zhenghua Qian Tingfeng Ma 《Acta Mechanica Solida Sinica》 SCIE EI CSCD 2023年第2期349-360,共12页
During the fabrication of quartz crystal resonators(QCRs),parallelism error is inevitably generated,which is rarely investigated.In order to reveal the influence of parallelism error on the working performance of QCRs... During the fabrication of quartz crystal resonators(QCRs),parallelism error is inevitably generated,which is rarely investigated.In order to reveal the influence of parallelism error on the working performance of QCRs,the coupled vibration of a non-parallel AT-cut quartz crystal plate with electrodes is systematically studied from the views of theoretical analysis and numerical simulations.The two-dimensional thermal incremental field equations are solved for the free vibration analysis via the coefficient-formed partial differential equation module of the COMSOL Multiphysics software,from which the frequency spectra,frequency–temperature curves,and mode shapes are discussed in detail.Additionally,the piezoelectric module is utilized to obtain the admittance response under different conditions.It is demonstrated that the parallelism error reduces the resonant frequency.Additionally,symmetry broken by the non-parallelism increases the probability of activity dip and is harmful to QCR’s thermal stability.However,if the top and bottom surfaces incline synchronously in the same direction,the influence of parallelism error is tiny.The conclusions achieved are helpful for the QCR design,and the methodology presented can also be applied to other wave devices. 展开更多
关键词 quartz crystal resonators Parallelism error Resonant frequency Mode coupling ADMITTANCE
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考虑压电效应的石英晶体谐振器设计程序 被引量:1
3
作者 陈玉梅 王骥 +1 位作者 阳丽君 杜建科 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2011年第11期51-57,共7页
介绍了一种新颖的基于Mindlin板理论的AT切石英晶体谐振器设计程序及其计算过程。该程序根据已知的石英晶体谐振器频率、电极厚度等参数来推算出最佳石英晶体板尺寸、电极长度、电容比等参数;可以计算出石英晶体板的色散、频谱、温频、... 介绍了一种新颖的基于Mindlin板理论的AT切石英晶体谐振器设计程序及其计算过程。该程序根据已知的石英晶体谐振器频率、电极厚度等参数来推算出最佳石英晶体板尺寸、电极长度、电容比等参数;可以计算出石英晶体板的色散、频谱、温频、电容比与频率关系,为石英晶体谐振器的设计提供重要参考。所有计算都考虑了石英晶体的压电效应,并给出了电容比这一重要的电路参数,进一步提高了结果的精确性。该设计程序可减少产品设计过程中的盲目性和试验时间。 展开更多
关键词 石英晶体 谐振器 MINDLIN板理论 压电效应 设计 程序
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应用于气体传感器的具有铝/金电极的单模式两端对声表面波谐振器
4
作者 王文 谢晓 +2 位作者 邵秀婷 刘明华 何世堂 《声学学报》 EI CSCD 北大核心 2013年第6期694-698,共5页
为改善气体传感器性能,通过器件优化设计获得了一种应用于气体传感器的具有低损耗、高品质因子(Q)的单模式两端对声表面波(SAW)谐振器。该谐振器由两个换能器、分置于换能器两边的短路栅反射器以及在换能器之间分布的用于敏感膜镀... 为改善气体传感器性能,通过器件优化设计获得了一种应用于气体传感器的具有低损耗、高品质因子(Q)的单模式两端对声表面波(SAW)谐振器。该谐振器由两个换能器、分置于换能器两边的短路栅反射器以及在换能器之间分布的用于敏感膜镀膜的约2.5mm金属薄层构成。谐振器采用铝/金双层电极以降低测试气体环境的腐蚀影响。利用经典耦合模(COM)理论对器件性能进行了仿真以提取优化的结构设计参数。基于仿真结果,实验研制了基于300MHz频率的新型铝/金电极SAW两端对谐振器,测试结果显示所研制器件具有较低损耗(〈7dB),较高Q值(-3000)以及单一谐振模式的特点,并且,以所研制的新型谐振器为频率控制单元的谐振器型振荡器表现出良好的频率稳定度(t15Hz/h),这对于改善气体传感器的检测下限及稳定性等性能指标具有重要意义。 展开更多
关键词 声表面波谐振器 气体传感器 金电极 单模式 应用 频率稳定度 器件性能
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能陷理论在研究和设计低噪声石英谐振器中的应用
5
作者 陈志远 徐仲梅 《电讯技术》 北大核心 1991年第1期11-16,共6页
本文引用Shockley等人进行“能陷”分析得出的基本结论,将其用来研究和设计低噪声石英谐振器。将AT切型石英晶片等效为一组合“声波导”,经过推导与分析引出了与控制晶片中噪声有关的“响应带宽”和“内调制”两个参量,这两个参数可以... 本文引用Shockley等人进行“能陷”分析得出的基本结论,将其用来研究和设计低噪声石英谐振器。将AT切型石英晶片等效为一组合“声波导”,经过推导与分析引出了与控制晶片中噪声有关的“响应带宽”和“内调制”两个参量,这两个参数可以通过设计谐振器的晶片和电极来加以控制。文中对设计制成的低噪声100MHz石英谐振器及其应用情况均作了介绍,列出了一些测试数据,得到了比较满意的结果,表明所提出的设计方法是有效的。 展开更多
关键词 能陷理论 石英谐振器 低噪声
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接触表面形貌对石英谐振式力传感器蠕变的影响
6
作者 王喆垚 董永贵 +1 位作者 朱惠忠 冯冠平 《清华大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第11期110-113,共4页
石英谐振式力传感器是一种新型的数字式传感器,本文研究了由柔性铰链组成的弹性体和AT-切石英谐振器构成的石英谐振式力传感器的蠕变特性的影响因素。石英谐振式力传感器的蠕变主要是由于粘弹性的胶粘剂造成的,本文以描述表面形貌... 石英谐振式力传感器是一种新型的数字式传感器,本文研究了由柔性铰链组成的弹性体和AT-切石英谐振器构成的石英谐振式力传感器的蠕变特性的影响因素。石英谐振式力传感器的蠕变主要是由于粘弹性的胶粘剂造成的,本文以描述表面形貌的WA 模型和粗糙度微峰模型为基础,建立了蠕变与接触表面形貌和安装预紧力之间关系的模型。理论计算和实验结果表明,蠕变与接触表面形貌和安装预紧力分别近似地成反比和正比。不同接触表面粗糙度对蠕变影响的对比实验结果表明,随着表面粗糙度的减小。 展开更多
关键词 石英 谐振器 力传感器 蠕变 表面形貌 谐振式
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石英晶体谐振器的力—频效应及其应用 被引量:15
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作者 冯冠平 王晓红 王劲松 《清华大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第8期35-38,共4页
自从石英晶体谐振器被发现以来,其力—频效应在实验和理论方面已经进行了半个世纪的研究,一系列有价值的理论和实验结果,使得基于力—频效应的传感器的发展具有可靠的理论基础。直到现在,力—频效应的意义,尤其是它在实际应用方面... 自从石英晶体谐振器被发现以来,其力—频效应在实验和理论方面已经进行了半个世纪的研究,一系列有价值的理论和实验结果,使得基于力—频效应的传感器的发展具有可靠的理论基础。直到现在,力—频效应的意义,尤其是它在实际应用方面的意义还未消逝。本文以石英谐振器的力—频效应为主线,综述了其50年来的研究概况及基于力—频效应的传感器的研究与发展。对在前人研究的基础上进行力—频效应的实际应用的进一步研究非常有意义。 展开更多
关键词 石英谐振器 力-频效应 传感器 石英晶体振荡器
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石英晶体谐振器生产工艺流程综述 被引量:3
8
作者 林勇 陈桦 《电讯技术》 北大核心 1997年第3期15-20,共6页
本文主要介绍石英晶体谐振器生产线生产工艺。并对Um-5微小型石英晶体谐振器的应用情况作了简要说明。
关键词 石英晶体谐振器 生产工艺 振荡器
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高温环境下AT切石英谐振器振动特性分析
9
作者 温连鹏 崔健敏 +3 位作者 冯俊一 刘曦 王国华 聂晶 《计测技术》 2023年第5期76-82,共7页
为了研究AT切型石英晶体谐振器在不同温度环境下的振动状态,利用有限元仿真软件COMSOL Multiphysics 6.0分析了石英晶体在不同温度下沿x方向振动位移分布情况,直观地观察了寄生模态的振动位移,计算了不同温度下电极区能量占比以及品质因... 为了研究AT切型石英晶体谐振器在不同温度环境下的振动状态,利用有限元仿真软件COMSOL Multiphysics 6.0分析了石英晶体在不同温度下沿x方向振动位移分布情况,直观地观察了寄生模态的振动位移,计算了不同温度下电极区能量占比以及品质因数,并通过实验测量了不同温度下AT切型石英晶体品质因数及温频效应。仿真结果表明,随温度变化,AT切型石英晶体表面始终存在典型的能陷效应,未加剧模态间的耦合问题。实验结果表明,AT切型石英晶体频率随温度变化趋势与理论一致,实验数据与仿真计算的品质因数随温度改变均无明显变化。研究成果证明AT切型石英晶体具有良好的热稳定性,可以作为石英晶体微天平(Quartz Crystal Microbalance,QCM)传感器在高温环境下的敏感元件,对高温环境下敏感器件的选择具有指导意义。 展开更多
关键词 振动特性 AT切型 石英晶体谐振器 高温 COMSOL
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Coupled extension and thickness-twist vibrations of lateral field excited AT-cut quartz plates 被引量:1
10
作者 Ting-Feng Ma Rong-Xing Wu +4 位作者 Ji Wang Jian-Ke Du Li-Li Yuan Fa-Peng Yu Chao Xie 《Acta Mechanica Sinica》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第1期67-72,共6页
In this paper, the coupled extension and thickness- twist vibrations are studied for AT-cut quartz plates under Lateral Field Excitation (LFE) with variations along the x1- direction. Mindlin's two-dimensional equa... In this paper, the coupled extension and thickness- twist vibrations are studied for AT-cut quartz plates under Lateral Field Excitation (LFE) with variations along the x1- direction. Mindlin's two-dimensional equations are used for anisotropic crystal plates. Both free and electrically forced vibrations are considered. Important vibration characteristics are obtained, including dispersion relations, frequency spectra, and motional capacitances. It is shown that, to avoid the effects of the couplings between extension and thickness-twist vibrations, a series of discrete values of the length/thickness ratio of the crystal plate need to be excluded. The results are of fundamental significance for the design of LFE resonators and sensors. 展开更多
关键词 Lateral field excitation - resonators quartz Thickness-twist vibrations
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一种石英晶体谐振器频率粗调机系统 被引量:1
11
作者 林志雄 《莆田学院学报》 2009年第2期56-59,共4页
设计一个基于单片机及CPLD的针对32768Hz石英谐振音叉片进行自动加工的机器,该机器用于实现对石英音叉片谐振频率及阻抗的磨削调整。分析了机器结构及磨削机理,并根据多个参考变量设计加工算法以提高加工效率与产品精度。通过一个串口... 设计一个基于单片机及CPLD的针对32768Hz石英谐振音叉片进行自动加工的机器,该机器用于实现对石英音叉片谐振频率及阻抗的磨削调整。分析了机器结构及磨削机理,并根据多个参考变量设计加工算法以提高加工效率与产品精度。通过一个串口通信网络实现多机器的加工数据通信以增强生产管理效能。 展开更多
关键词 石英晶体 谐振音叉 自动频率调整 联机管理
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基于激光刻蚀技术石英晶振频率微调系统的设计 被引量:2
12
作者 林志雄 《陕西科技大学学报(自然科学版)》 2009年第3期157-160,共4页
根据石英晶振频率微调机理及激光刻蚀特性,设计软件、硬件实现了一个基于PC机和激光器的石英晶振频率微调装置,并提出了一种实用刻蚀方案,可实现对多片晶片同时微调,能有效地消除微调过程中出现的温漂等问题,同时讨论了提高微调速度及... 根据石英晶振频率微调机理及激光刻蚀特性,设计软件、硬件实现了一个基于PC机和激光器的石英晶振频率微调装置,并提出了一种实用刻蚀方案,可实现对多片晶片同时微调,能有效地消除微调过程中出现的温漂等问题,同时讨论了提高微调速度及合格率的方法. 展开更多
关键词 石英晶体 谐振音叉 频率微调 激光刻蚀
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石英晶体谐振器用高导电率导电胶粘剂的研制 被引量:1
13
作者 解海峰 《中国胶粘剂》 CAS 2007年第6期26-29,共4页
简要介绍了一种高导电率导电胶的研制方法,论述了导电促进剂对性能的影响。实验结果证明,此国产导电胶性能良好,完全可以替代进口导电胶应用于石英晶体谐振器生产中。
关键词 高导电率导电胶 导电促进剂 石英晶体谐振器
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U_m—5微小型石英晶体谐振器
14
作者 林勇 陈桦 《电讯技术》 北大核心 1996年第6期27-31,26,共6页
本文简要介绍石英晶体谐振器小型化的发展概况及Um—5微小型石英晶体谐振器的设计、制造工艺。文中对该产品的应用情况也作了简单说明。该产品的频率制造公差在±10ppm以内,当工作温度范围分别为0℃~60℃,-20℃~... 本文简要介绍石英晶体谐振器小型化的发展概况及Um—5微小型石英晶体谐振器的设计、制造工艺。文中对该产品的应用情况也作了简单说明。该产品的频率制造公差在±10ppm以内,当工作温度范围分别为0℃~60℃,-20℃~+60℃时,可以达到±5ppm,±10ppm内的小公差。Um—5微小型石英晶体谐振器体积小,且质量稳定可靠。 展开更多
关键词 石英晶体 谐振器 小型化
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HF和VHF微小型石英晶体谐振器 被引量:1
15
作者 林勇 刘兰村 《电讯技术》 北大核心 1992年第4期16-23,共8页
本文简要介绍石英晶体谐振器小型化的发展概况,较详细地介绍了J_(A7)系列石英晶体谐振器的设计、制造工艺及试验样品的性能,对该产品的初步应用情况也作了简单说明。该产品的频率覆盖范围是8~350MHz,其频率制造公差在±10ppm以内,... 本文简要介绍石英晶体谐振器小型化的发展概况,较详细地介绍了J_(A7)系列石英晶体谐振器的设计、制造工艺及试验样品的性能,对该产品的初步应用情况也作了简单说明。该产品的频率覆盖范围是8~350MHz,其频率制造公差在±10ppm以内,温度频差在-55~+90℃的宽温度范围内为±50ppm,当工作范围分别为0~60℃,-20~+60℃时,可以达到±5ppm,±10ppm内的小公差。微小型石英谐振器体积小,仅为8×8×3.2mm^3和8×6.5×3.2mm^3,重量小于0.4g,且质量稳定可靠,它们是移动通信等电子设备中良好的电子元器件。 展开更多
关键词 电子元件 石英晶体谐振器 HF VHF 振荡器
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低温声腔中基于二能级系统与高频泛音相互作用引起的声学声子损失
16
作者 李国龙 任中洲 《南京大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期1120-1125,共6页
在晶体中,杂质原子或晶格缺陷形成的二能级系统会对声子产生弹性散射.利用压电晶体作为共振腔的低温声腔中,这种散射过程的存在导致高频泛音的损失.这种散射可以解释为压电晶体中应变场与二能级系统的耦合,并且能够用一个相互作用哈密... 在晶体中,杂质原子或晶格缺陷形成的二能级系统会对声子产生弹性散射.利用压电晶体作为共振腔的低温声腔中,这种散射过程的存在导致高频泛音的损失.这种散射可以解释为压电晶体中应变场与二能级系统的耦合,并且能够用一个相互作用哈密顿量描述.根据这个相互作用哈密顿量和二阶微扰论,得到了一个基于声子-二能级系统弹性散射的声子损失公式.根据这个公式,得到了声波损失如何受声波频率和环境温度的变化,而这种分析给出了一个合理的损失机制,解释了M.Goryachev等人在2013年对石英体声腔品质因子的测量结果.希望该工作可以为降低低温声腔激发的高频声波损失提供了理论支持. 展开更多
关键词 声子-杂质相互作用 应力弛豫 石英声学共振器
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小型BVA石英谐振器的研制
17
作者 崔巍 王作羽 +5 位作者 睢建平 刘小光 王莉 张磊 哈斯图亚 李国强 《宇航计测技术》 CSCD 2018年第1期59-62,共4页
传统的BVA石英谐振器在老化率和Q值方面具有优良的性能,但其体积大,抗振可靠性较差,限制了其推广和应用。本文介绍了一种新结构的BVA石英谐振器,通过优化电容片和石英晶片的结构设计,研制出更小尺寸的异型石英晶片和电容片,整个小型BVA... 传统的BVA石英谐振器在老化率和Q值方面具有优良的性能,但其体积大,抗振可靠性较差,限制了其推广和应用。本文介绍了一种新结构的BVA石英谐振器,通过优化电容片和石英晶片的结构设计,研制出更小尺寸的异型石英晶片和电容片,整个小型BVA谐振器的尺寸减小到HC-40/U,性能指标与传统BVA石英谐振器相当,同时具有较高的抗振可靠性。 展开更多
关键词 BVA 石英谐振器 非接触电极 抗振
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