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某石英器件内部封闭孔道的等离子清洗技术
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作者 周彤 李鹏 +1 位作者 曹宏利 张海龙 《真空》 CAS 2023年第5期51-54,共4页
采用射频等离子体放电轰击对精密仪器、器件制造领域石英及陶瓷类器件的内部孔道表面进行处理,利用高能量等离子体轰击被清洗表面,可以使污染物通过物理作用和发生化学反应而排出,以达到清洗效果。本文对等离子体放电清洗射频屏蔽、启... 采用射频等离子体放电轰击对精密仪器、器件制造领域石英及陶瓷类器件的内部孔道表面进行处理,利用高能量等离子体轰击被清洗表面,可以使污染物通过物理作用和发生化学反应而排出,以达到清洗效果。本文对等离子体放电清洗射频屏蔽、启辉调整、工艺参数确定等过程进行了探索,并对电极间距、安装形式对启辉的影响,以及等离子体放电过程中相关工艺参数变化对器件温升的影响进行了研究。结果表明:射频输出功率越高、进气流量越大,石英器件的温升速率越快。以上研究结果为石英及陶瓷类器件的内部孔道表面处理提供了有效指导。 展开更多
关键词 石英器件 陶瓷器件 内部孔道 等离子体放电 射频清洗
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石英器件加工工艺及最新进展 被引量：7
2
作者 周岩 刘晓胜 +2 位作者 杨乐民 郑胜军 张广玉 《中国机械工程》 CAS CSCD 北大核心 2000年第6期668-671,共4页
介绍国内外石英器件加工工艺发展 ,以石英摆片为例 。
关键词 石英器件 磨料喷射 超声落料 石英摆片 化学蚀刻
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