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垂直腔面发射激光器制作新工艺 被引量:10
1
作者 郝永芹 刘文莉 +3 位作者 钟景昌 张永明 冯源 赵英杰 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期443-446,共4页
采用一种新工艺制作了垂直腔面发射激光器(VCSEL),即用开环分布孔取代以往的环形沟道作为氧化物限制技术的注入窗口。因开环分布孔间形成多个桥,为电注入提供了天然的桥状通道,解决了电极过沟断线问题。这种新结构器件的输出功率... 采用一种新工艺制作了垂直腔面发射激光器(VCSEL),即用开环分布孔取代以往的环形沟道作为氧化物限制技术的注入窗口。因开环分布孔间形成多个桥,为电注入提供了天然的桥状通道,解决了电极过沟断线问题。这种新结构器件的输出功率约为以往结构器件的1.34倍。在20℃~80℃范围内,对器件的输出功率、阈值电流及波长漂移性进行了研究。60℃时最大输出光功率可达到6mW。激射波长随温度升高呈线性变化,且向长波方向移动,速率为0.06nm/℃。由实验结果计算出器件的热阻为1.96℃/mw。 展开更多
关键词 激光技术 垂直腔面发射激光器 开环分布孔 氧化物限制技术 量子阱 半导体激光器
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红外量子级联激光器 被引量:7
2
作者 刘峰奇 王占国 《物理》 CAS 北大核心 2001年第10期596-601,共6页
量子级联激光器是一种基于子带间电子跃迁的新型单极光源 .文章系统地介绍了量子级联激光器全新的工作原理、结构设计思想以及它所固有的特点 ,对其研究现状进行了简略总结 。
关键词 量子阱 能带工程 量子级联激光器 工作原理 结构设计
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半导体带间级联激光器研究进展 被引量:9
3
作者 张一 杨成奥 +6 位作者 尚金铭 陈益航 王天放 张宇 徐应强 刘冰 牛智川 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第1期211-227,共17页
半导体带间级联量子阱是实现3~5μm波段中红外激光器的重要前沿,其在半导体光电器件技术、气体检测、医学医疗以及自由空间光通信等诸多领域具有重要科学意义和应用价值。半导体带间级联量子阱发光机理是以二类量子阱中的电子与空穴的... 半导体带间级联量子阱是实现3~5μm波段中红外激光器的重要前沿,其在半导体光电器件技术、气体检测、医学医疗以及自由空间光通信等诸多领域具有重要科学意义和应用价值。半导体带间级联量子阱发光机理是以二类量子阱中的电子与空穴的带间辐射复合发光为主导,再通过电子注入区与空穴注入区形成级联放大,实现多个量子阱周期内电子与空穴的重复利用。本文综述了半导体带间级联激光器从提出能带结构、外延材料到器件制备技术的发展历程,剖析了器件结构各功能区基本概念和工作原理,介绍了器件结构设计与制备工艺技术难点的里程碑突破,详细解释了载流子再平衡、分别限制层等设计,最后展望了半导体带间级联激光器的发展方向和趋势。 展开更多
关键词 激光器 半导体 量子阱 激光理论
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半导体物理效应与光电子高技术产业 被引量:7
4
作者 王启明 《物理》 CAS 北大核心 2002年第7期409-414,共6页
阐述了能带理论和晶格动力学的创建对半导体科学技术发展的历史意义 ,重点介绍了若干关键性半导体物理效应的内涵及其对光电子器件与技术发展所作出的源头性贡献 ,描绘了以半导体激光器为代表的现代光电子高科技产业的发展现状与趋势 ,... 阐述了能带理论和晶格动力学的创建对半导体科学技术发展的历史意义 ,重点介绍了若干关键性半导体物理效应的内涵及其对光电子器件与技术发展所作出的源头性贡献 ,描绘了以半导体激光器为代表的现代光电子高科技产业的发展现状与趋势 ,指出了光电子高科技持续发展的主要方向 . 展开更多
关键词 高技术产业 半导体物理效应 能带论 晶格动力学 量子阱 激光器 光电子技术
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半导体激光器的进展(Ⅰ) 被引量:1
5
作者 王启明 《物理》 CAS 北大核心 1996年第2期67-75,共9页
经历了40年的发展,半导体激光器已经成为激光大家族中的极为重要的一员,由它引申发展的半导体光子学、集成光电子学已成为信息高科技的重要支柱,正在推动着诸如光通信、光信息处理、光互连、光计算等重要前沿应用领域的发展.该文... 经历了40年的发展,半导体激光器已经成为激光大家族中的极为重要的一员,由它引申发展的半导体光子学、集成光电子学已成为信息高科技的重要支柱,正在推动着诸如光通信、光信息处理、光互连、光计算等重要前沿应用领域的发展.该文从原理、结构出发,按其发展阶段的顺序有机地简略回顾了同质结构、异质结构、量子阱结构、分布布拉格反馈结构、垂直腔面发射结构以及最新发展的单极性注入半导体激光器的进展及其主要应用。 展开更多
关键词 半导体 异质结构 量子阱 激光器
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808nm量子阱激光器电流调制特性的实验研究 被引量:5
6
作者 来引娟 余建华 +1 位作者 韩树荣 李瑞宁 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期8-10,共3页
本文首次对高功率GaAs/GaAlAs量子阱激光器 ( 80 8nm)的低频 ( 10 0Hz~ 2 0KHz)电流调制特性进行了实验研究。结果表明 :激光发射的接通延迟时间、阈值电流、正脉冲的占空比、平均功率。
关键词 量子阱激光器 直接电流调制 调制响应 实验
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Suppression of electron leakage in 808 nm laser diodes with asymmetric waveguide layer 被引量:4
7
作者 李翔 赵德刚 +6 位作者 江德生 陈平 刘宗顺 朱建军 侍铭 赵丹梅 刘炜 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2016年第1期69-72,共4页
Electron leakage in GaAs-based separately confined heterostructure 808 nm laser diodes (SCH LDs) has a serious influence on device performance. Here, in order to reduce the energy of electrons injected into the quan... Electron leakage in GaAs-based separately confined heterostructure 808 nm laser diodes (SCH LDs) has a serious influence on device performance. Here, in order to reduce the energy of electrons injected into the quantum well (QW), an A1GaAs interlayer with a smaller A1 component is added between the active region and the n-side waveguide. Numerical device simulation reveals that when the Al-composition of the A1GaAs interlayer and its thickness are properly elected, the electron leakage is remarkably depressed and the characteristics of LDs are improved, owing to the reduction of injected electron energy and the improvement of QW capture efficiency. 展开更多
关键词 quantum well laser diodes electron leakage electron energy
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长波长大应变InGaAs/InGaAsP分布反馈激光器的材料生长与器件制备 被引量:4
8
作者 潘教青 赵谦 +6 位作者 朱洪亮 赵玲娟 丁颖 王宝军 周帆 王鲁峰 王圩 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期5216-5220,共5页
采用低压金属有机化合物气相沉积法(LP-MOCVD)生长并制作了1·6—1·7μm大应变InGaAs/InGaAsP分布反馈激光器.采用应变缓冲层技术,得到质量良好的大应变InGaAs/InP体材料.器件采用了4个大应变的量子阱,加入了载流子阻挡层改善... 采用低压金属有机化合物气相沉积法(LP-MOCVD)生长并制作了1·6—1·7μm大应变InGaAs/InGaAsP分布反馈激光器.采用应变缓冲层技术,得到质量良好的大应变InGaAs/InP体材料.器件采用了4个大应变的量子阱,加入了载流子阻挡层改善器件的温度特性.1·66μm和1·74μm未镀膜的3μm脊型波导器件阈值电流低(小于15mA),输出功率高(100mA时大于14mW).从10—40℃,1·74μm激光器的特征温度T0=57K,和1·55μmInGaAsP分布反馈激光器的特征温度相当. 展开更多
关键词 MOCVD INGAAS/INGAASP 应变量子阱 分布反馈激光器
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InGaAsSb/AlGaAsSb量子阱激光器的子带跃迁设计 被引量:3
9
作者 唐田 张永刚 +1 位作者 郑燕兰 李爱珍 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期376-379,共4页
 采用有效质量框架下一维有限单势阱的Kronig Pency模型对InxGa1-xAsySb1-y/Al0.25Ga0.75As0.02Sb0.98量子阱激光器结构的子带跃迁波长及其和阱宽间的关系进行了设计,并采用能量平衡模型计算了此应变材料体系在生长时的临界厚度。结果...  采用有效质量框架下一维有限单势阱的Kronig Pency模型对InxGa1-xAsySb1-y/Al0.25Ga0.75As0.02Sb0.98量子阱激光器结构的子带跃迁波长及其和阱宽间的关系进行了设计,并采用能量平衡模型计算了此应变材料体系在生长时的临界厚度。结果表明InGaAsSb/AlGaAsSb是制作23μm中红外波段量子阱激光器的良好材料体系,然而在结构设计和材料生长中采用合适的材料组分及阱宽并对应变总量进行控制是十分重要的。 展开更多
关键词 量子阱 激光器 子带跃迁 锑化物
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高功率无铝半导体激光器 被引量:3
10
作者 朱宝仁 张宝顺 +1 位作者 薄报学 张兴德 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期189-192,共4页
介绍了单量子阱 (SQW )分别限制异质结构 (SCH)的InGaAsP/GaAs半导体激光器所得到的最新成果。利用一种改进的液相外延 (LPE)技术 ,在( 1 0 0 )GaAs衬底上制成的InGaAsP/GaAsSQWSCH激光器。主要参数如下 :发射波长λ =80 8± 4nm ,... 介绍了单量子阱 (SQW )分别限制异质结构 (SCH)的InGaAsP/GaAs半导体激光器所得到的最新成果。利用一种改进的液相外延 (LPE)技术 ,在( 1 0 0 )GaAs衬底上制成的InGaAsP/GaAsSQWSCH激光器。主要参数如下 :发射波长λ =80 8± 4nm ,阈值电流密度J =30 0A/cm2 ,对于条宽W =1 0 0 μm的激光器 ,连续输出功率最大达到 展开更多
关键词 无铝 高功率 半导体激光器 SQW SCH
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用于单片集成的硅基外延Ⅲ-Ⅴ族量子阱和量子点激光器研究
11
作者 王俊 葛庆 +11 位作者 刘帅呈 马博杰 刘倬良 翟浩 林枫 江晨 刘昊 刘凯 杨一粟 王琦 黄永清 任晓敏 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第5期766-782,共17页
硅基光电子技术以光电子与微电子的深度融合为特征,是后摩尔时代的核心技术。硅基光电子芯片可以利用成熟的微电子平台实现量产,具有功耗低、集成密度大、传输速率快、可靠性高等优点,广泛应用于数据中心、通信系统等领域。除硅基激光器... 硅基光电子技术以光电子与微电子的深度融合为特征,是后摩尔时代的核心技术。硅基光电子芯片可以利用成熟的微电子平台实现量产,具有功耗低、集成密度大、传输速率快、可靠性高等优点,广泛应用于数据中心、通信系统等领域。除硅基激光器外,硅基光探测器、硅基光调制器等硅基光电子器件技术已经基本成熟,但作为最有希望实现低成本、大尺寸单片集成的硅基外延激光器仍然面临着诸多挑战。在此背景下,本文从直接外延无偏角Ⅲ-Ⅴ/Si(001)衬底、无偏角硅基激光器材料、外延技术,以及单片集成等方面探讨了近些年国内外硅基光源的研究进展,重点介绍了本研究组在硅基外延Ⅲ-Ⅴ族量子阱和量子点激光器方面的研究进展,包括无反相畴GaAs/Si(001)衬底的制备、硅基InGaAs/AlGaAs量子阱激光器材料外延、硅基InAs/GaAs量子点激光器材料外延和新型并联方式共面电极硅基激光器芯片制作等。 展开更多
关键词 硅基光电子 硅基外延激光器 无偏角Si(001)衬底 量子阱激光器 量子点激光器 对称负极芯片结构
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半导体微结构物理效应及其应用讲座 第2讲 量子阱、超晶格物理及其在光电子领域中的应用 被引量:2
12
作者 夏建白 《物理》 CAS 北大核心 2004年第9期684-691,共8页
文章介绍了半导体量子阱、超晶格的基本物理 ,以及它在光电子领域中的应用 ,包括量子阱、量子线、量子点、激光器、光调制器、自电光效应器件、量子点器件等 .
关键词 量子阱 超晶格物理 量子点 光调制器 激光器 自电光效应器件
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量子阱激光器中的热场分布对光输出特性的影响 被引量:1
13
作者 陈国鹰 孙以才 马祖光 《河北工业大学学报》 CAS 1999年第1期42-46,共5页
计算和分析了具有应变层结构的量子阱激光器的温度场分布,首次给出了具有马鞍状温度分布的三维图形,以及温度分布对诸特性的影响,并将理论研究结果与我们设计研制的以及文献报导的实际器件的测试结果进行了对比.结果表明,理论计算... 计算和分析了具有应变层结构的量子阱激光器的温度场分布,首次给出了具有马鞍状温度分布的三维图形,以及温度分布对诸特性的影响,并将理论研究结果与我们设计研制的以及文献报导的实际器件的测试结果进行了对比.结果表明,理论计算结果与实验测量结果相符合. 展开更多
关键词 量子阱激光器 热场分布 光输出特性
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二维钙钛矿激光研究进展 被引量:3
14
作者 黄阳 李国辉 +4 位作者 温荣 冯琳 冀婷 郤育莺 崔艳霞 《半导体技术》 CAS 北大核心 2022年第9期677-686,共10页
二维钙钛矿材料不仅具有荧光量子效率高、光吸收系数高和增益系数高等优点,而且相对三维钙钛矿材料还有更好的环境稳定性,在光电器件领域受到了广泛关注。准二维钙钛矿得益于特有的多量子阱结构,具有快速的能量转移能力,使材料发光能力... 二维钙钛矿材料不仅具有荧光量子效率高、光吸收系数高和增益系数高等优点,而且相对三维钙钛矿材料还有更好的环境稳定性,在光电器件领域受到了广泛关注。准二维钙钛矿得益于特有的多量子阱结构,具有快速的能量转移能力,使材料发光能力进一步提高,在激光器和发光二极管等发光器件领域取得了一定突破。首先详细介绍了二维钙钛矿的化学组成和量子阱结构,分别阐述了二维钙钛矿荧光量子产率、可调带隙、电子-声子耦合等性能。然后在总结了二维钙钛矿放大自发辐射机制的基础上,详细介绍了同源和多量子阱结构二维钙钛矿激光的研究进展。最后对二维钙钛矿在激光领域的发展趋势和挑战进行了展望。 展开更多
关键词 二维钙钛矿 量子阱 放大自发辐射(ASE) 激光 谐振腔
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量子阱无序的窗口结构InGaAs/GaAs/AlGaAs量子阱激光器 被引量:3
15
作者 徐遵图 徐俊英 +4 位作者 杨国文 张敬明 李秉臣 陈良惠 沈光地 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第12期1078-1082,共5页
对SiO2薄膜在快速热退火条件下引起的空位诱导InGaAs/GaAs应变量子阱无序和SrF2薄膜抑制其量子阱无序的方法进行了实验研究。并将这两种技术的结合(称为选择区域量子阱无序技术)应用于脊形波导InGaAs/Ga... 对SiO2薄膜在快速热退火条件下引起的空位诱导InGaAs/GaAs应变量子阱无序和SrF2薄膜抑制其量子阱无序的方法进行了实验研究。并将这两种技术的结合(称为选择区域量子阱无序技术)应用于脊形波导InGaAs/GaAs/AlGaAs应变量子阱激光器,研制出具有无吸收镜面的窗口结构脊形波导量子阱激光器。该结构3μm条宽激光器的最大输出功率为340mW,和没有窗口的同样结构的量子阱激光器相比,最大输出功率提高了36%。在100mW输出功率下,发射光谱中心波长为978nm,光谱半宽为1.2nm。平行和垂直方向远场发散角分别为7. 展开更多
关键词 量子阱无序 窗口结构 应变量子阱 半导体激光器
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多量子阱半导体激光器的交叉增益调制波长转换特性 被引量:1
16
作者 卢洪斌 王向朝 +1 位作者 王学锋 方祖捷 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期560-562,共3页
实验利用光注入多量子阱半导体激光器产生的载流子消耗和带间载流子吸收产生的交叉增益调制效应 ,实现波长转换 ,转换光的光强变化幅度与偏置电流有关。通过调节偏置电流的大小 ,能使转换光与注入信号光在同向和反向间进行切换。
关键词 多量子阱 半导体激光器 波长转换 光强调制 交叉增益调制 偏置电流
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半导体量子器件物理讲座 第六讲 半导体量子阱激光器 被引量:2
17
作者 余金中 王杏华 《物理》 CAS 北大核心 2001年第11期717-723,共7页
量子阱结构是半导体光电子器件的核心组成部分 ,它是半导体光电子集成的重要基础 .文章在描述了量子结构的态密度、量子尺寸效应、粒子数反转的基础上 ,介绍了量子阱导质结构激光器的工作原理、器件结构、器件性能 。
关键词 异质结 量子阱 半导体光电子学 光电集成 半导体量子器件 激光器
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GaSb/InGaAsSb量子阱的带间跃迁设计 被引量:3
18
作者 刘盛 张永刚 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期614-618,共5页
采用一维方势阱模型对GaSb/InxGa1-xAs0.02Sb0.98m量子阱激光器结构的子带跃迁波长与阱宽间的关系进行了计算,并采用能量平衡模型计算了此应变材料体系在生长时的临界厚度。结果表明GaSb/InGaAsSb是制作2-3μm中红外波段量子阱激光器的... 采用一维方势阱模型对GaSb/InxGa1-xAs0.02Sb0.98m量子阱激光器结构的子带跃迁波长与阱宽间的关系进行了计算,并采用能量平衡模型计算了此应变材料体系在生长时的临界厚度。结果表明GaSb/InGaAsSb是制作2-3μm中红外波段量子阱激光器的良好材料体系,在结构设计和材料生长中采用合适的材料组分及阱宽并对应变总量进行控制是十分重要的。 展开更多
关键词 量子阱结构 半导体激光器 带间跃迁
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915-980nm应变量子阱激光器新进展
19
作者 徐遵图 张敬明 +5 位作者 马骁宇 刘素平 刘忠顺 方高瞻 肖建伟 陈良惠 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2000年第3期293-296,共4页
报道了915~980nm半导体激光器的最新进展,宽条激光器输出功率为0.2~2.0W,最大输出功率大于5W;基横模脊形波导半导体激光器输出功率达400mW,水平和垂直方向远场发射角分别为70和230,组合件输出功率大于150mW。
关键词 应变量子阱激光器 半导体激光器 输出功率
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InGaAs/GaAs/InGaP量子阱激光器的温度电压特性 被引量:3
20
作者 李金友 王海龙 +4 位作者 杨锦 曹春芳 赵旭熠 于文富 龚谦 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第8期971-976,共6页
研究了InGaAs/GaAs/InGaP量子阱激光器在不同温度下的电流-电压特性,并建立了一个理论模型进行描述。实验所用激光器腔长为0.3 mm,脊条宽度为3μm。实验测量得到该激光器在15~100 K的电压温度系数(d V/d T)为7.87~8.32 mV/K,在100~300 ... 研究了InGaAs/GaAs/InGaP量子阱激光器在不同温度下的电流-电压特性,并建立了一个理论模型进行描述。实验所用激光器腔长为0.3 mm,脊条宽度为3μm。实验测量得到该激光器在15~100 K的电压温度系数(d V/d T)为7.87~8.32 mV/K,在100~300 K的电压温度系数为2.93~3.17 mV/K。由理论模型计算得到该激光器在15~100 K的电压温度系数为2.56~2.75 mV/K,在100~300 K的电压温度系数为3.91~4.15 mV/K。在100~300 K,实验测量与理论模型计算得出的电压温度系数接近,理论模型能较好地模拟激光器的温度电压特性;但在15~100 K相差较大,还需要进一步完善。 展开更多
关键词 量子阱激光器 InGaAs/GaAs/InGaP 低温 温度电压特性
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