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国外量子阱红外焦平面探测器的发展概况 被引量:13
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作者 史衍丽 《红外技术》 CSCD 北大核心 2005年第4期274-278,共5页
以GaAs/AlGaAs为代表的Ⅲ-Ⅴ量子阱红外焦平面探测器因其成熟的材料生长和器件工艺技术,一直是与传统的HgCdTe红外探测器并驾齐驱的红外探测器。近十年来随着对器件结构、机理及器件工艺的不断改进,大面阵Ⅲ-Ⅴ量子阱红外焦平面器件发... 以GaAs/AlGaAs为代表的Ⅲ-Ⅴ量子阱红外焦平面探测器因其成熟的材料生长和器件工艺技术,一直是与传统的HgCdTe红外探测器并驾齐驱的红外探测器。近十年来随着对器件结构、机理及器件工艺的不断改进,大面阵Ⅲ-Ⅴ量子阱红外焦平面器件发展显著。本文介绍了量子阱红外焦平面探测器的优越性及存在的问题,当前欧美国家量子阱红外焦平面探测器的最新研究发展、产品现状及应用前景。 展开更多
关键词 红外焦平面探测器 量子阱 发展概况 红外焦平面器件 红外探测器 国外 HGCDTE 工艺技术 材料生长 GAAS 器件结构 器件工艺 研究发展 欧美国家 产品现状 面阵
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2μm像元间距GaAs/AlGaAs量子阱红外焦平面探测器 被引量:6
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作者 史衍丽 曹婉茹 +2 位作者 周艳 杨明珠 何丹 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第6期968-971,共4页
量子阱焦平面探测器具有大面阵焦平面探测器重复性和均匀性好、成品率高、成本低等明显的产业化优势,在军民两用领域获得了广泛而重要的应用。为了尽快研制出全国产化高性能量子阱红外焦平面探测器,通过完全正向的器件设计,采用常规光... 量子阱焦平面探测器具有大面阵焦平面探测器重复性和均匀性好、成品率高、成本低等明显的产业化优势,在军民两用领域获得了广泛而重要的应用。为了尽快研制出全国产化高性能量子阱红外焦平面探测器,通过完全正向的器件设计,采用常规光刻和反应离子刻蚀方法,成功研制出87.1%的高占空比320×256长波量子阱焦平面探测器,峰值波长9μm,平均峰值探测率1.6×1010cm·Hz1/2·W-1。第一支样管的噪声等效温差为33.2mK,响应率不均应性8.9%,面阵盲元率1%。在70K温度下获得了1km和4.2km处的建筑物的清晰成像。实验结果充分显示了器件设计的正确性及研制技术的可控性。 展开更多
关键词 GAAS/AIGAAS 量子阱红外探测器 长波 焦平面 噪声等效温差
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GaAs/Al_(0.3)Ga_(0.7)As QWIP暗电流特性HRTEM研究 被引量:5
3
作者 胡小英 刘卫国 +3 位作者 段存丽 蔡长龙 韩军 刘钧 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第9期3057-3060,共4页
采用金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)生长GaAs/Al0.3Ga0.7As量子阱材料,制备300μm×300μm台面,内电极压焊点面积为20μm×20μm,外电极压焊点面积为80μm×80μm的单元样品两种。用变温液氮制冷系统对样品进行77~30... 采用金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)生长GaAs/Al0.3Ga0.7As量子阱材料,制备300μm×300μm台面,内电极压焊点面积为20μm×20μm,外电极压焊点面积为80μm×80μm的单元样品两种。用变温液氮制冷系统对样品进行77~300 K暗电流特性测试。结果显示,器件暗电流曲线呈现出正负偏压的不对称性。利用高分辨透射扫描电镜(HRTEM)获得样品纳米尺度横断面高分辨像,分析结果表明:样品横断面处存在不同程度的位错及不均匀性。说明样品内部穿透位错造成相位分离是引起量子阱光电性能变差的根本原因,不同生长次序中AlGaAs与GaAs界面的不对称性与掺杂元素的扩散现象加剧了暗电流曲线的不对称性。 展开更多
关键词 量子阱红外探测器 GAAS/ALGAAS 金属有机物化学气相沉积 暗电流 高分辨透射扫描电镜
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Ga As/ Al Ga As量子阱红外探测器的光荧光表征 被引量:2
4
作者 蔡炜颖 李志锋 +4 位作者 李宁 陆卫 沈学础 周均铭 黄绮 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期66-68,共3页
对 Ga As/ Al Ga As量子阱红外探测器器件进行显微荧光光谱 (μ- PL)测量 ,光谱中表征势垒、势阱基态间光跃迁能量位置的荧光峰直接与势垒中 Al含量相关 ,通过光谱实验上对势垒和量子阱带间跃迁能量的确定并结合有效质量理论的计算 ,获... 对 Ga As/ Al Ga As量子阱红外探测器器件进行显微荧光光谱 (μ- PL)测量 ,光谱中表征势垒、势阱基态间光跃迁能量位置的荧光峰直接与势垒中 Al含量相关 ,通过光谱实验上对势垒和量子阱带间跃迁能量的确定并结合有效质量理论的计算 ,获得了 Al组分和阱宽值 ,并由此推算出相应的红外探测响应波长 ,与光电流谱的实验结果相比吻合良好 . 展开更多
关键词 量子阱 红外探测器 多量子阱 峰值响应波长 显微荧光光谱 铝组分 势阱宽度 GaAs ALGAAS
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GaAs/Al_(0.3)Ga_(0.7)As量子阱红外探测器光谱特性研究 被引量:3
5
作者 胡小英 刘卫国 +2 位作者 段存丽 蔡长龙 关晓 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第8期2305-2308,共4页
采用金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)生长Ga As/Al0.3Ga0.7As量子阱材料,制备300μm×300μm台面,内电极压焊点面积为20μm×20μm,外电极压焊点面积为80μm×80μm单元量子阱器件两种。利用傅里叶光谱仪对1#,2#样品进行77... 采用金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)生长Ga As/Al0.3Ga0.7As量子阱材料,制备300μm×300μm台面,内电极压焊点面积为20μm×20μm,外电极压焊点面积为80μm×80μm单元量子阱器件两种。利用傅里叶光谱仪对1#,2#样品进行77K液氮温度光谱响应测试。实验结果显示1#,2#样品峰值响应波长分别为8.43μm,8.32μm,与根据薛定谔方程得到器件理论峰值波长8.5μm间误差分别为1.0%,2.1%。实验结果说明MOCVD技术可以满足QWIP生长制备工艺要求,且器件电极压焊点位置与面积大小对器件峰值波长影响不大,而对峰值电流有一定影响。 展开更多
关键词 GA As/Al0.3Ga0.7As 量子阱红外探测器 金属有机物化学气相沉积法 光谱特性
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GaAs/Al_xGa_(1-x)As量子阱红外探测器微结构研究 被引量:3
6
作者 胡小英 刘卫国 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期1405-1408,共4页
采用金属有机物化学气相沉积法生长了两种不同结构参数GaAs/AlxGa1-xAs量子阱材料。利用傅里叶光谱仪分别对势垒中Al组分为0.20,0.30的1#,2#样品进行77K液氮温度下光谱响应测试。结果显示:1#,2#峰值响应波长为8.38,7.59μm,而根据薛定... 采用金属有机物化学气相沉积法生长了两种不同结构参数GaAs/AlxGa1-xAs量子阱材料。利用傅里叶光谱仪分别对势垒中Al组分为0.20,0.30的1#,2#样品进行77K液氮温度下光谱响应测试。结果显示:1#,2#峰值响应波长为8.38,7.59μm,而根据薛定谔方程得到峰值波长为9.694,8.134μm,二者误差分别为13.6%,6.68%。针对误差过大及吸收峰向高能方向发生漂移的现象,利用高分辨透射扫描电镜对样品微观界面结构进行分析,结果显示,样品存在不同程度的位错及不均匀性。结果表明:位错引起AlGaAs与GaAs晶格不匹配,是造成1#误差较大的主要原因;峰值响应波长随势垒中Al组分的降低而增大,说明Al组分减小致使量子阱子带间距离缩小是导致峰值响应波长红移的原因。 展开更多
关键词 量子阱红外探测器 高分辨透射扫描电镜 金属有机物化学气相沉积 AL组分 峰值响应波长
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快速热退火对GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器的修饰 被引量:2
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作者 李宁 刘兴权 +7 位作者 李娜 陈效双 陆卫 徐文兰 袁先璋 沈学础 黄绮 周均铭 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第3期264-267,共4页
应用快速热退火的方法将 Ga As/Al Ga As多量子阱红外探测器的峰值响应波长从7.7μm移动到 8~ 1 4μm大气窗口内 .通过测量单元器件的光电流谱、响应率和 I- V特性 ,分析了快速热退火对 Ga As/Al Ga
关键词 量子阱 红外探测器 快速退火 砷化镓 ALGAAS
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等离激元微腔耦合长波红外量子阱高消光比偏振探测器(特邀) 被引量:1
8
作者 李志锋 李倩 +7 位作者 景友亮 周玉伟 周靖 陈平平 周孝好 李宁 陈效双 陆卫 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2021年第1期42-51,共10页
长波红外偏振探测器能够大幅提升对热成像目标的识别能力。受制于衍射极限的物理限制,目前的微线栅偏振片型长波红外偏振探测器的偏振消光比基本上只能做到最高10∶1左右。文中采用金属/介质/金属的等离激元微腔结构,将量子阱红外探测... 长波红外偏振探测器能够大幅提升对热成像目标的识别能力。受制于衍射极限的物理限制,目前的微线栅偏振片型长波红外偏振探测器的偏振消光比基本上只能做到最高10∶1左右。文中采用金属/介质/金属的等离激元微腔结构,将量子阱红外探测激活层相嵌在微腔之中。由于上、下金属之间的近场耦合形成了在双层金属区域的横向法布里-珀罗共振模式,构成等离激元微腔。文中利用微腔的模式选择特性及其与量子阱子带间跃迁的共振耦合,将量子阱子带跃迁不能直接吸收的垂直入射光耦合进入等离激元微腔并转变为横向传播,从而能够被量子阱子带吸收,实现了在长波红外13.5μm探测波长附近偏振消光比大于100∶1的结果。相关工作为发展我国高消光比长波红外偏振成像焦平面提供了全新的物理基础和技术路径。 展开更多
关键词 等离激元 微腔 长波红外 量子阱红外探测器 偏振 消光比
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MOVCD生长GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器的暗电流特性 被引量:1
9
作者 胡小英 刘卫国 陈智利 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期809-812,816,共5页
用金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)生长了GaAs/AlGaAs量子阱材料,分别制备了300μm×300μm台面,峰值波长8.5μm,外电极压焊点面积80μm×80μm,内电极压焊点面积20μm×20μm的单元测试样品。用变温液氦制冷机测试系统对... 用金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)生长了GaAs/AlGaAs量子阱材料,分别制备了300μm×300μm台面,峰值波长8.5μm,外电极压焊点面积80μm×80μm,内电极压焊点面积20μm×20μm的单元测试样品。用变温液氦制冷机测试系统对两个样品进行50~300K的变温测试,分析了器件在不同偏压条件下的暗电流特性。发现该量子阱红外探测器的背景限温度为50K。不同生长次序中GaAs与AlGaAs界面的不对称性,以及掺杂元素的扩散导致了正负偏压下的I/V曲线呈不对成性。探测器电极压焊点面积大小与位置的不同对暗电流有一定的影响。 展开更多
关键词 量子阱红外探测器 MOVCD 暗电流特性
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量子阱红外探测器光谱特性研究 被引量:1
10
作者 胡小英 胡守波 刘卫国 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期237-242,共6页
采用金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)生长制备30~50周期300μm×300μm台面,外电极压焊点面积80μm×80μm,内电极压焊点面积20μm×20μm的GaAs/AlGaAs量子阱样品数件,峰值响应波长为8.5μm,从理论和实验两方面分析探讨... 采用金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)生长制备30~50周期300μm×300μm台面,外电极压焊点面积80μm×80μm,内电极压焊点面积20μm×20μm的GaAs/AlGaAs量子阱样品数件,峰值响应波长为8.5μm,从理论和实验两方面分析探讨了测试样品光谱特性。用傅里叶光谱仪分别对其进行50 K液氦温度下光谱响应测试,实验结果显示1#,2#样品峰值响应波长分别为8.38μm,8.42μm,与理论峰值响应波长8.5μm分别相差0.12μm,0.08μm,误差约为1.4%,0.9%。两样品峰值响应波长实验值与理论值误差均小于2.0%,实验结果表明金属有机物化学气相沉积法技术可满足量子阱红外材料生长工艺要求,探测器电极压焊点面积大小与位置对器件光谱特性影响甚微,该误差主要由测试系统引起的,利用高分辨透射扫描电镜(HRTEM)对样品的微观结构进行剖析研究,说明虽然样品存在不同程度位错现象,但由GaAs与AlGaAs晶格间不匹配带来的应力应变对器件宏观光谱响应特性影响不明显。 展开更多
关键词 量子阱红外探测器 峰值响应波长 高分辨透射扫描电镜
原文传递
平面漏斗形微腔集成的高性能长波红外探测器
11
作者 兰梦珂 周靖 陈爱英 《有色金属材料与工程》 2022年第4期28-34,共7页
为实现量子阱红外光探测器件对垂直于阱结构的入射光吸收,减小模式体积,降低暗电流,提高比探测率D^(*),提高红外光探测器件性能,以10.55μm长波红外光为例,利用等离激元微腔与量子阱材料结合,形成F-P共振,增加GaAs/AlGaAs量子阱层的吸... 为实现量子阱红外光探测器件对垂直于阱结构的入射光吸收,减小模式体积,降低暗电流,提高比探测率D^(*),提高红外光探测器件性能,以10.55μm长波红外光为例,利用等离激元微腔与量子阱材料结合,形成F-P共振,增加GaAs/AlGaAs量子阱层的吸收率和器件的响应率。设计了平面漏斗形等离激元微腔集成的量子阱红外探测器(quantum well infrared photodetector,QWIP),使用基于有限元数值仿真方法对其进行分析。结果表明:平面漏斗形等离激元微腔集成的QWIP具有较小的光子模式体积和较高的局域场强,光吸收率维持在81%~89%的情况下,可以使探测材料体积减小38%~50%,获得的D^(*)比一般等离激元微腔集成的QWIP增大10%~15%。 展开更多
关键词 平面漏斗形等离激元微腔 量子阱红外探测器 模式体积 比探测率
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中波-长波双色量子阱红外探测器 被引量:5
12
作者 赵永林 李献杰 +5 位作者 刘英斌 齐利芳 过帆 蔡道民 尹顺政 刘跳 《微纳电子技术》 CAS 2008年第12期689-693,共5页
采用n型掺杂的AlGaAs/GaAs和AlGaAs/InGaA多量子阱材料,基于MOCVD外延生长技术,利用成熟的GaAs集成电路加工工艺,设计并制作了不同结构的中波-长波双色量子阱红外探测器(QWIP)器件,器件采用正面入射二维光栅耦合,光栅周期设计为4μm,宽... 采用n型掺杂的AlGaAs/GaAs和AlGaAs/InGaA多量子阱材料,基于MOCVD外延生长技术,利用成熟的GaAs集成电路加工工艺,设计并制作了不同结构的中波-长波双色量子阱红外探测器(QWIP)器件,器件采用正面入射二维光栅耦合,光栅周期设计为4μm,宽度2μm;对制作的500μm×500μm大面积双色QWIP单元器件暗电流、响应光谱、探测率进行了测试和分析。在-3V偏压、77K温度和300K背景温度下长波(LWIR)和中波(MWIR)QWIP的暗电流密度分别为0.6、0.02mA/cm2;-3V偏压、80K温度下MWIR和LWIR QWIP的响应光谱峰值波长分别为5.2、7.8μm;在2V偏压、65K温度下,LWIR和MWIR QWIP的峰值探测率分别为1.4×1011、6×1010cm.Hz1/2/W。 展开更多
关键词 量子阱红外探测器 双色 暗电流密度 响应光谱 探测率 二维光栅
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新型GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器暗电流特性 被引量:3
13
作者 史衍丽 邓军 +6 位作者 杜金玉 廉鹏 高国 陈建新 沈光地 尹洁 吴兴惠 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期503-506,共4页
对基于 Ga As/ Al Ga As系子带间吸收的一种新型量子阱红外探测器 ,采用 Poisson方程和 Schrodinger方程 ,计算了新器件结构的能带结构、电子分布特性 ,在此基础上采用热离子发射、热辅助遂穿模型对器件的暗电流特性进行了模拟 ,计算结... 对基于 Ga As/ Al Ga As系子带间吸收的一种新型量子阱红外探测器 ,采用 Poisson方程和 Schrodinger方程 ,计算了新器件结构的能带结构、电子分布特性 ,在此基础上采用热离子发射、热辅助遂穿模型对器件的暗电流特性进行了模拟 ,计算结果与器件实测的暗电流特性吻合得很好 ,说明热离子发射、热辅助遂穿机制是形成器件暗电流的主要构成机制 ,增加垒高、降低阱中掺杂浓度及降低工作温度是抑制器件暗电流的主要途径 ,计算结果对进一步优化器件的设计将起到重要的理论指导作用 . 展开更多
关键词 GAAS/AIGAAS 量子阱红外探测器 暗电流特性分析 砷化镓
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Advantages of QWIP technology in infrared thermal cameras 被引量:1
14
作者 Eric Belhaire Regis Pichon 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期298-303,共6页
Standard GaAs/AlGaAs quantum well infrared photodetectors(QWIP)have been seriously considered as atechnological choice for the 3^(rd) generation of thermal imagers in the long wave infrared band(LWIR)for some time.Alt... Standard GaAs/AlGaAs quantum well infrared photodetectors(QWIP)have been seriously considered as atechnological choice for the 3^(rd) generation of thermal imagers in the long wave infrared band(LWIR)for some time.Alternative technology like MCT(HgCdTe)was the technology choice of the 2^(nd) generation because of its high quantum efficiency.In the paper,measurements on the QWIP technology will be presented and a comparison with alternative technology will be done. 展开更多
关键词 infrared detectors image sensors quantum well infrared photodetectors(QWIP)
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用金属小球进行长波量子阱红外探测器的光耦合
15
作者 熊大元 李志锋 +3 位作者 陈效双 李宁 甄红楼 陆卫 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期6648-6653,共6页
针对实验中9.5μm峰值响应波长的n型长波量子阱红外探测器设计运用二维金属小球(铜)阵列作光耦合结构.金属小球阵列均匀填充在绝缘的胶黏剂中,基于惠更斯原理研究二维金属小球阵列体系的光耦合和光吸收,结果表明对9.5μm响应波长的长波... 针对实验中9.5μm峰值响应波长的n型长波量子阱红外探测器设计运用二维金属小球(铜)阵列作光耦合结构.金属小球阵列均匀填充在绝缘的胶黏剂中,基于惠更斯原理研究二维金属小球阵列体系的光耦合和光吸收,结果表明对9.5μm响应波长的长波量子阱红外探测器,采用周期为3μm,半径为0.9μm左右的金属小球阵列可以获得最佳的光耦合.优化设计后的量子效率(66%)远高于45°磨角耦合的量子效率(38%),为实验运用金属小球阵列进行长波量子阱红外探测器的光耦合提供了基本的理论依据和详细的优化设计方案. 展开更多
关键词 长波量子阱红外探测器 金属小球阵列 光耦合 光吸收
原文传递
基于MOCVD技术的长波AlGaAs/GaAs量子阱红外焦平面探测器 被引量:10
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作者 李献杰 刘英斌 +6 位作者 冯震 过帆 赵永林 赵润 周瑞 娄辰 张世祖 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第4期435-438,共4页
采用n型掺杂背面入射AlGaAs/GaAs量子阱结构,用MOCVD外延生长和GaAs集成电路工艺,设计制作了大面积AlGaAs/GaAs QWIP单元测试器件和128×128、128×160、256×256 AlGaAs/GaAsQWIP焦平面探测器阵列。用液氮温度下的暗电流... 采用n型掺杂背面入射AlGaAs/GaAs量子阱结构,用MOCVD外延生长和GaAs集成电路工艺,设计制作了大面积AlGaAs/GaAs QWIP单元测试器件和128×128、128×160、256×256 AlGaAs/GaAsQWIP焦平面探测器阵列。用液氮温度下的暗电流和傅里叶红外响应光谱对单元测试器件进行了评估,针对不同材料结构,实现了9μm和10.9μm的截止波长;黑体探测率最高达到2.6×109 cm.Hz1/2.W-1。将128×128 AlGaAs/GaAs QWIP阵列芯片与CMOS读出电路芯片倒装焊互连,成功演示了室温环境下目标的红外热成像;并进一步讨论了提高QWIP组件成像质量的途径。 展开更多
关键词 MOCVD ALGAAS/GAAS 量子阱红外探测器 红外热成像
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非均匀GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器材料表征和器件性能研究
17
作者 苏家平 周孝好 +4 位作者 唐舟 范柳燕 夏顺吉 陈平平 陈泽中 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期7-14,共8页
本文利用分子束外延(MBE)技术成功生长了GaAs/AlGaAs非均匀量子阱红外探测器材料,并对相关微结构作了细致表征。分析比较了非均匀量子阱结构和常规量子阱红外探测器性能差异,并对比研究了不同势阱宽度下非均匀量子阱红外探测器的性能变... 本文利用分子束外延(MBE)技术成功生长了GaAs/AlGaAs非均匀量子阱红外探测器材料,并对相关微结构作了细致表征。分析比较了非均匀量子阱结构和常规量子阱红外探测器性能差异,并对比研究了不同势阱宽度下非均匀量子阱红外探测器的性能变化。通过高分辨透射电子显微镜(HRTEM)结合能谱仪(EDS)对非均匀量子阱红外探测器材料微结构进行了分析,并利用二次离子质谱仪(SIMS)对非均匀势阱掺杂进行了表征。结果表明,该量子阱外延材料晶体质量很好,量子阱结构和掺杂浓度也与设计值符合较好。对于非均匀量子阱红外探测器,通过改变每个阱的掺杂浓度和势垒宽度,可以改变量子阱电场分布,而与传统的均匀量子阱红外探测器相比,其暗电流显著下降(约一个数量级)。在不同阱宽下,非均匀量子阱的跃迁模式发生改变,束缚态到准束缚态跃迁模式下(B-QB)的器件具有较高的黑体响应率以及较低的暗电流。 展开更多
关键词 非均匀 量子阱 高分辨电镜 二次离子质谱 暗电流
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InGaAs/AlGaAs量子阱红外探测器中势垒生长温度的研究 被引量:2
18
作者 霍大云 石震武 +2 位作者 张伟 唐沈立 彭长四 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第6期334-340,共7页
InGaAs/AlGaAs量子阱是中波量子阱红外探测器件最常用的材料体系,本文以结构为2.4 nm In_(0.35)Ga_(0.65)As/40 nm Al_(0.34)Ga_(0.66)As的多量子阱材料为研究对象,利用分子束外延生长,固定InGaAs势阱的生长温度(465°C),然后依次... InGaAs/AlGaAs量子阱是中波量子阱红外探测器件最常用的材料体系,本文以结构为2.4 nm In_(0.35)Ga_(0.65)As/40 nm Al_(0.34)Ga_(0.66)As的多量子阱材料为研究对象,利用分子束外延生长,固定InGaAs势阱的生长温度(465°C),然后依次升高分别选取465,500,545,580°C生长AlGaAs势垒层,从而获得四个不同的多量子阱样品.通过荧光光谱以及X射线衍射测试系统分析了势垒层生长温度对InGaAs量子阱发光和质量的影响,并较准确地给出了量子阱大致的温致弛豫轨迹:465—500°C,开始出现相分离,但缺陷水平较低,属弹性弛豫阶段;500—545°C,相分离加剧并伴随缺陷水平的上升,属弹性弛豫向塑性弛豫过渡阶段;545—580°C,相分离以及缺陷水平急剧上升,迅速进入塑性弛豫阶段,尤其是580°C时,量子阱的材料质量被严重破坏. 展开更多
关键词 中波红外探测 量子阱红外探测器件 InGaAs/AlGaAs多量子阱 温致弛豫
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10—14μm同时响应的双色量子阱红外探测器 被引量:2
19
作者 刘小宇 马文全 +3 位作者 张艳华 霍永恒 种明 陈良惠 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期5720-5723,共4页
实现截止波长为11.8和14.5μm双色同时响应的量子阱红外探测器,可以同时工作在8—12μm大气窗口和甚长波波段.在77K下测量到很强的光电流谱.器件结构采取了较为简洁的设计,通过适当增大量子阱结构中势阱的宽度和选择合适的掺杂浓度,在... 实现截止波长为11.8和14.5μm双色同时响应的量子阱红外探测器,可以同时工作在8—12μm大气窗口和甚长波波段.在77K下测量到很强的光电流谱.器件结构采取了较为简洁的设计,通过适当增大量子阱结构中势阱的宽度和选择合适的掺杂浓度,在同一偏压下实现了对两个波长的同时响应.两个光响应峰分别为基态到第五激发态和基态到第一激发态的跃迁吸收. 展开更多
关键词 量子阱红外探测器 双色 同时响应
原文传递
GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器的设计 被引量:1
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作者 刘红梅 董丽娟 吕良宇 《山西大同大学学报(自然科学版)》 2019年第3期14-16,52,共4页
随着探测领域的不断扩大和深入,人们对高性能量子阱红外探测器的需求也越来越迫切。为了解决这一问题,从量子阱红外探测器性能对探测器材料、结构的依赖作用入手,利用电磁仿真方法设计了5个周期的GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器。该探测... 随着探测领域的不断扩大和深入,人们对高性能量子阱红外探测器的需求也越来越迫切。为了解决这一问题,从量子阱红外探测器性能对探测器材料、结构的依赖作用入手,利用电磁仿真方法设计了5个周期的GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器。该探测器采用纵向层状三明治结构,顶部和底部由n型掺杂的GaAs接触层构成,中间是5个周期的GaAs/AlGaAs量子阱复合层。结果表明,该量子阱探测器的最优探测波段为978 nm,而且在近红外波段该红外探测器的反射峰值随着量子阱阱宽的增大向低频方向移动,其最优阱宽为5 nm,为获得高性能量子阱红外探测器提供理论支持。 展开更多
关键词 量子阱红外探测器 GAAS/ALGAAS 阱宽
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