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单频激光干涉测振仪的非线性误差主动补偿法
被引量：
4
1
作者
张埔榛
吴军
黄庚华
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2018年第8期313-320,共8页
为了提高单频激光干涉测振系统的测量精度,提出了一种基于伪极值的非线性误差实时主动补偿方法,该方法使用伪极值计算直流偏置误差和不等幅误差,通过矢量相位校正运算抑制非正交误差。实验结果表明:该方法降低了测量期间因激光器功率漂...
为了提高单频激光干涉测振系统的测量精度,提出了一种基于伪极值的非线性误差实时主动补偿方法,该方法使用伪极值计算直流偏置误差和不等幅误差,通过矢量相位校正运算抑制非正交误差。实验结果表明:该方法降低了测量期间因激光器功率漂移、Abbe误差导致的正交信号椭圆轨迹螺旋化形变,以及因数字信号传输误码造成的异常数据对非线性误差补偿的影响。在搭建的单频激光干涉测振系统中,使用伪极值法结合矢量相位校正运算方法可将周期性剩余误差峰峰值降低至0.8nm,比传统的极值法具有更好的非线性误差抑制效果,且该方法不需要复杂的运算,保持了良好的实时性。
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关键词
测量
单频激光干涉测振系统
非线性误差补偿
伪极值法
纳米测量
原文传递
题名
单频激光干涉测振仪的非线性误差主动补偿法
被引量：
4
1
作者
张埔榛
吴军
黄庚华
机构
中国科学院大学
中国科学院上海技术物理研究所空间主动光电技术重点实验室
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2018年第8期313-320,共8页
基金
中国科学院国防科技创新基金(CXJJ-17S025)
文摘
为了提高单频激光干涉测振系统的测量精度,提出了一种基于伪极值的非线性误差实时主动补偿方法,该方法使用伪极值计算直流偏置误差和不等幅误差,通过矢量相位校正运算抑制非正交误差。实验结果表明:该方法降低了测量期间因激光器功率漂移、Abbe误差导致的正交信号椭圆轨迹螺旋化形变,以及因数字信号传输误码造成的异常数据对非线性误差补偿的影响。在搭建的单频激光干涉测振系统中,使用伪极值法结合矢量相位校正运算方法可将周期性剩余误差峰峰值降低至0.8nm,比传统的极值法具有更好的非线性误差抑制效果,且该方法不需要复杂的运算,保持了良好的实时性。
关键词
测量
单频激光干涉测振系统
非线性误差补偿
伪极值法
纳米测量
Keywords
measurement
homodyne laser interferometer
compensation for nonlinear error
pseudo
-
extremumsmethod
nanometer measurement
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
TN958.98
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
单频激光干涉测振仪的非线性误差主动补偿法
张埔榛
吴军
黄庚华
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2018
4
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