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无阻力卫星发展现状 被引量:15
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作者 施梨 曹喜滨 +2 位作者 张锦绣 张世杰 董晓光 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期1511-1520,共10页
以无阻力卫星的发展和相关技术为综述对象,首先介绍了无阻力卫星的概念,并比较无阻力卫星中位移模式和加速度计模式的区别和优缺点;其次分析了无阻力卫星的体系结构,将无阻力卫星控制系统分为无阻力控制回路、悬浮控制回路和卫星本体控... 以无阻力卫星的发展和相关技术为综述对象,首先介绍了无阻力卫星的概念,并比较无阻力卫星中位移模式和加速度计模式的区别和优缺点;其次分析了无阻力卫星的体系结构,将无阻力卫星控制系统分为无阻力控制回路、悬浮控制回路和卫星本体控制回路;然后描述了无阻力卫星中的检测质量、主要硬件的功能与特性,最后列出了无阻力卫星中主要的关键技术。 展开更多
关键词 无阻力卫星 检测质量 位移模式 加速度计模式
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Coupled modeling and analysis of radiometer effect and residual gas damping on proof mass in purely gravitational orbit 被引量:9
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作者 LIU HongWei WANG ZhaoKui ZHANG YuLin 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2011年第4期894-902,共9页
Spacecrafts free of all but gravitational forces are important in precision navigation,gravity field measurement and basic scientific research.The Inner-formation Flying System,one kind of spacecrafts free of all but ... Spacecrafts free of all but gravitational forces are important in precision navigation,gravity field measurement and basic scientific research.The Inner-formation Flying System,one kind of spacecrafts free of all but gravitational forces,is used for gravitational field measurement with high precision.Restraining the interfering factors on the inner-satellite is one of the keys to gravitational field measurement.Radiometer effect and residual gas damping are both interfering forces on the inner-satellite caused by gas molecules.By analyzing the mechanism of the two forces,a coupled model for radiometer effect and residual gas damping was established,which contained the coupling term and reflected the actual force of gas molecules on the inner-satellite.The simulation results showed the coupling property of radiometer effect and residual gas damping:The actual force of gas molecules is directly proportional to the average pressure in the cavity and the largest cross-sectional area of the inner-satellite,but is inversely proportional to the square root of the average temperature in the cavity. 展开更多
关键词 purely gravitational orbit proof mass radiometer effect residual gas damping coupled modeling
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Mathematical Wave Functions and 3D Finite Element Modelling of the Electron and Positron
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作者 Declan Traill 《Journal of Applied Mathematics and Physics》 2024年第4期1134-1162,共29页
The wave/particle duality of particles in Physics is well known. Particles have properties that uniquely characterize them from one another, such as mass, charge and spin. Charged particles have associated Electric an... The wave/particle duality of particles in Physics is well known. Particles have properties that uniquely characterize them from one another, such as mass, charge and spin. Charged particles have associated Electric and Magnetic fields. Also, every moving particle has a De Broglie wavelength determined by its mass and velocity. This paper shows that all of these properties of a particle can be derived from a single wave function equation for that particle. Wave functions for the Electron and the Positron are presented and principles are provided that can be used to calculate the wave functions of all the fundamental particles in Physics. Fundamental particles such as electrons and positrons are considered to be point particles in the Standard Model of Physics and are not considered to have a structure. This paper demonstrates that they do indeed have structure and that this structure extends into the space around the particle’s center (in fact, they have infinite extent), but with rapidly diminishing energy density with the distance from that center. The particles are formed from Electromagnetic standing waves, which are stable solutions to the Schrödinger and Classical wave equations. This stable structure therefore accounts for both the wave and particle nature of these particles. In fact, all of their properties such as mass, spin and electric charge, can be accounted for from this structure. These particle properties appear to originate from a single point at the center of the wave function structure, in the same sort of way that the Shell theorem of gravity causes the gravity of a body to appear to all originate from a central point. This paper represents the first two fully characterized fundamental particles, with a complete description of their structure and properties, built up from the underlying Electromagnetic waves that comprise these and all fundamental particles. 展开更多
关键词 ELECTRON POSITRON Wave Function Solution Electromagnetic Spin mass Charge proof Fundamental Particle Properties Quantum Mechanics Classical Physics Computer 3D Model Schrödinger Equation RMS KLEIN GORDON Electric Magnetic Lorentz Invariant Hertzian Vector Point Potential Field Density Phase Flow Attraction REPULSION Shell Theorem Ehrenfest VIRIAL Normalization Harmonic Oscillator
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带附加质量块的压电圆板能量采集器振动分析 被引量:6
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作者 孟莹 丁虎 陈立群 《力学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第11期2950-2960,共11页
基于圆板的压电能量采集技术在取代化学电池为低功耗电子器件提供能源方面具有巨大的潜能.本文通过理论建模和数值仿真研究了考虑附加质量接触面积的压电圆板能量采集器的采集性能.首先,基于基尔霍夫薄板理论,用广义哈密顿原理推导了带... 基于圆板的压电能量采集技术在取代化学电池为低功耗电子器件提供能源方面具有巨大的潜能.本文通过理论建模和数值仿真研究了考虑附加质量接触面积的压电圆板能量采集器的采集性能.首先,基于基尔霍夫薄板理论,用广义哈密顿原理推导了带附加质量块的压电圆板能量采集器的机电耦合方程,并用伽辽金法对方程近似离散,通过离散方程得到电压、功率输出和最优负载阻抗的闭合解.用有限元仿真对所提出的理论模型进行了验证,结果表明该理论模型可以成功地预测压电圆板能量采集器输出电压和功率.最后,基于闭合解探讨了负载阻抗、附加质量块、压电圆板的内外半径等相关参数对压电圆板能量采集器固有频率、输出电压和功率的影响.结果表明,当质量块与复合板的接触半径足够小(本文中接触半径小于板半径的1/14)时,质量块与复合圆板的接触面积可以忽略;相较于无孔的压电片,内径位于2.5~4 mm范围内的压电片可以提高能量采集器的采集性能;附加质量、压电片外径和负载阻抗的合理选择既可以降低压电圆板的固有频率,还可以提高其采集性能. 展开更多
关键词 能量采集 压电复合圆板 附加质量 广义哈密顿原理 有限元仿真
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Boosting the energy harvesting performance of cantilever structured magneto-mechano-electric generator by controlling magnetic flux intensity on magnet proof mass
5
作者 Deepak R.Patil Seungah Lee +4 位作者 Atul Thakre Ajeet Kumar Hyunseok Song Dae-Yong Jeong Jungho Ryu 《Journal of Materiomics》 SCIE CSCD 2023年第4期735-744,共10页
A cantilever-structured magneto-mechano-electric(MME)generator comprising a magnetoelectric composite with a magnet proof mass is a potential candidate for powering autonomous wireless sensor networks.Recently,the con... A cantilever-structured magneto-mechano-electric(MME)generator comprising a magnetoelectric composite with a magnet proof mass is a potential candidate for powering autonomous wireless sensor networks.Recently,the concept of a magnetic flux concentrator(MFC)to enhance the output performance of the MME generator by focusing the ultralow-intensity magnetic field into the MME generator was introduced.However,the MFC-concentrated magnetic flux mostly focused on the end tip of the MME cantilever rather than at the magnet proof mass located on the cantilever beam.Considering that the torque generated by the magnet proof mass contributes more than half of the output power of an MME generator,optimizing the volume and position of the proof-mass with MFC is crucial for better performance.Furthermore,a smaller proof-mass is desirable for the long-term reliability of cantilevertype harvesters.Hence,we investigated the effect of the position and weight(volume)of the magnet proof mass with respect to the MFC on the output performance of the MME generator through finite element analysis and experiments.The MME generator with the lighter magnet proof mass at the optimized position generated a maximum power of 5.35 mW under a 10 Oe magnetic field,which was 210%of that of the MME configuration used in our previous study.Furthermore,the MME generator showed broadband characteristics around the practical frequency of 60 Hz,which could provide more freedom to design the harvester with high performance. 展开更多
关键词 Magneto-mechano-electric Magnetic flux concentrator Magnet proof mass Broadband IoT sensor
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旋转加速度计重力梯度仪标定方法 被引量:3
6
作者 钱学武 蔡体菁 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2016年第4期427-430,436,共5页
提出一种旋转加速度计重力梯度仪标定方法,在重力梯度仪外侧空间确定的四个位置上依次放置一定质量的检测质量体,根据检测质量体在正交位置上引起的重力梯度大小相等,符号相反的关系确定出重力梯度标度系数,采用旋转重力梯度仪本体方式... 提出一种旋转加速度计重力梯度仪标定方法,在重力梯度仪外侧空间确定的四个位置上依次放置一定质量的检测质量体,根据检测质量体在正交位置上引起的重力梯度大小相等,符号相反的关系确定出重力梯度标度系数,采用旋转重力梯度仪本体方式确定出重力梯度零位。给出了重力梯度零位和标度系数计算表达式,在重力梯度半物理仿真系统上进行了仿真试验验证,仿真结果表明,标定后重力梯度测量误差小于1E。 展开更多
关键词 重力梯度仪 旋转加速度计 检测质量体 梯度标定
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无拖曳航天任务检验质量的设计和比较 被引量:2
7
作者 傅江良 甘庆波 +2 位作者 张扬 赵柯昕 袁洪 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期463-476,共14页
检验质量是无拖曳航天器的惯性参考基准,对检验质量进行结构优化设计、材料选择以及不同配置方案的分析比较,能够为今后无拖曳航天任务中引力参考敏感器的模块化设计提供参考。本文首先分析了检验质量形状的取决要素和设计准则,以空间... 检验质量是无拖曳航天器的惯性参考基准,对检验质量进行结构优化设计、材料选择以及不同配置方案的分析比较,能够为今后无拖曳航天任务中引力参考敏感器的模块化设计提供参考。本文首先分析了检验质量形状的取决要素和设计准则,以空间等效原理检验实验中圆柱体检验质量为例,建立了点质量引力源对检验质量的引力耦合模型,推导了检验质量形状尺寸的优化设计过程,并针对检验质量约束作用面和主惯性矩的特殊考量,分析了其对形状尺寸设计的影响。然后从最大化科学测量信号强度和最小化噪声扰动两方面对检验质量的材料进行选择,得到低磁化率、高密度、低热膨胀系数等属性的材料作为检验质量的备选。最后以空间引力波探测实验为例,从加速度噪声性能指标、方案继承性和技术成熟度、无拖曳控制复杂度等方面对检验质量的不同配置方案进行权衡取舍和比较研究。 展开更多
关键词 无拖曳卫星 检验质量 形状尺寸设计 材料选择 配置方案比较
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声表面波梁式加速度传感器的优化设计 被引量:2
8
作者 黎璇 王文 +2 位作者 黄杨青 刘鑫璐 梁勇 《应用声学》 CSCD 北大核心 2016年第4期343-350,共8页
为获得传感器的优化设计,对一种声表面波梁式加速度传感器敏感机理进行了研究。从声波波动方程出发,结合有限元分析以及微扰理论对加速度作用力作用下声表面波传播特性进行分析,以此构建梁式声表面波加速度传感器敏感机理的理论模型,特... 为获得传感器的优化设计,对一种声表面波梁式加速度传感器敏感机理进行了研究。从声波波动方程出发,结合有限元分析以及微扰理论对加速度作用力作用下声表面波传播特性进行分析,以此构建梁式声表面波加速度传感器敏感机理的理论模型,特别分析了压电梁材料及几何结构、振子质量对传感响应的贡献以确定传感器优化的几何参数。为验证理论分析结果,实验研制了基于ST-X石英悬臂梁结构的差分振荡式声表面波加速度传感器,并利用精密振动台对所研制传感器性能进行评价。实验结果显示,在给定加速度测试范围内,采用ST-X石英梁并延长梁长度、降低梁厚度以及采用较大的阵子质量将有效的改善传感器检测灵敏度,在±2 g范围内加速度灵敏度可达27 k Hz/g,且实验结果很好的验证了理论模型。 展开更多
关键词 声表面波 压电悬臂梁 加速度传感器 质量振子
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多足并联型压电电机的柔性定子设计 被引量:2
9
作者 常静静 冯志华 《压电与声光》 CAS 北大核心 2019年第5期673-678,共6页
并联压电电机采用多个压电致动器提高电机输出功率,但由于驱动器间相互干扰,导致输出效率下降。该文提出了一种由簧片和质量块组成的柔性驱动足定子结构,可降低并联直线电机中致动器间的相互干扰。建立驱动足的接触振动模型,并分析各参... 并联压电电机采用多个压电致动器提高电机输出功率,但由于驱动器间相互干扰,导致输出效率下降。该文提出了一种由簧片和质量块组成的柔性驱动足定子结构,可降低并联直线电机中致动器间的相互干扰。建立驱动足的接触振动模型,并分析各参数对输出性能的影响。设计并制作电机样机,实验结果表明,电机的输出力随着预紧力增大而增大,激励电压峰-峰值为30 V时电机的最大输出力可达1.8 N。激励电压越大,电机的最大输出力越大。通过六足和四足电机的负载特性测试对比,证明了每个驱动足都可有效作用于滑轨上,驱动足间的相互干扰降低,输出效率提高,且电机的输出力可随着驱动足数量的增大而线性增大。 展开更多
关键词 压电电机 并联电机 定子 簧片 配重块
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纯引力轨道验证质量辐射计效应分析 被引量:2
10
作者 刘红卫 王兆魁 张育林 《应用数学和力学》 CSCD 北大核心 2012年第5期553-561,共9页
纯引力轨道飞行器在精密导航、重力场测量以及基础科学研究等方面具有重要意义,辐射计效应是纯引力轨道验证质量的重要干扰力之一.针对内编队重力场测量系统,利用解析和数值计算相结合的方法,分析了内卫星辐射计效应与内编队系统参数的... 纯引力轨道飞行器在精密导航、重力场测量以及基础科学研究等方面具有重要意义,辐射计效应是纯引力轨道验证质量的重要干扰力之一.针对内编队重力场测量系统,利用解析和数值计算相结合的方法,分析了内卫星辐射计效应与内编队系统参数的关系,并给出了适宜于工程计算的内卫星辐射计效应近似函数及其修正因子.分析可知,内卫星辐射计效应与腔体平均压力成正比,与腔体平均温度成反比;随腔体温差的增加而增加,随外卫星腔体半径的增加存在极小值,并且取极小值时外卫星腔体半径和内卫星半径比为常数1.189 4,这一常数是由内外卫星的球形腔体构型决定的,与腔体内温度和压力无关.当内外卫星半径比大于10时,可认为外卫星腔体充分大,此时内卫星辐射计效应与内卫星半径的平方近似成正比,随外卫星腔体半径的变化可忽略. 展开更多
关键词 纯引力轨道 验证质量 内编队 辐射计效应 腔体半径
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Analysis of radiometer effect on proof mass in purely gravitational orbit
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作者 刘红卫 王兆魁 张育林 《Applied Mathematics and Mechanics(English Edition)》 SCIE EI 2012年第5期583-592,共10页
Spacecrafts with the pure gravity environment are of great significance in precision navigation, gravity field measurement for celestial bodies, and basic physics ex- periments. The radiometer effect is one of the imp... Spacecrafts with the pure gravity environment are of great significance in precision navigation, gravity field measurement for celestial bodies, and basic physics ex- periments. The radiometer effect is one of the important interfering factors on the proof mass in a purely gravitational orbit. For the gravity field measurement system based on the inner-formation flying, the relationship between the radiometer effect on the inner- satellite and the system parameters is studied by analytical and numerical methods. An approximate function of the radiometer effect suitable for the engineering computation and the correction factor are obtained. The analytic results show that the radiometer effect on the inner-satellite is proportional to the average pressure while inversely pro- portional to the average temperature in the outer-satellite cavity. The radiometer effect increases with the temperature difference in the cavity, and its minimum exists when the cavity radius increases. When the minimum of the radiometer effect arrives, the ratio of the cavity radius to the inner-satellite radius is 1.189 4. This constant is determined by the spherical cavity configuration and independent of the temperature and pressure distributions. When the ratio of the cavity radius to the inner-satellite radius is more than 10, it is believed that the cavity is large enough, the radiometer effect is approxi- mately proportional to the square of the inner-satellite radius, and the influence of the outer-satellite cavity radius on the radiometer effect can be ignored. 展开更多
关键词 purely gravitational orbit proof mass inner-formation flying system ra-diometer effect cavity radius
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High-performance micromachined gyroscope with a slanted suspension cantilever
12
作者 肖定邦 吴学忠 +3 位作者 侯占强 陈志华 董培涛 李圣怡 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期67-70,共4页
This paper presents a novel structure for improving the stability and the mechanical noise of micromachined gyroscopes. Only one slanted cantilever is used for suspension in this gyroscope, so the asymmetry spring and... This paper presents a novel structure for improving the stability and the mechanical noise of micromachined gyroscopes. Only one slanted cantilever is used for suspension in this gyroscope, so the asymmetry spring and the thermal stress, which most micromachined gyroscopes suffer from, are reduced. In order to reduce the mechanical noise, the proof masses are designed to be much larger than in most micromachined gyroscopes. The gyroscope chip is sealed at 0.001 Pa vacuum. A gyroscope sample and its read-out circuit are fabricated. The scale factor of this gyroscope is measured as 57.6 mV/(deg/sec) with a nonlinearity better than 0.12% in a measurement range of ±100 deg/sec. The short-term bias stability in 20 min is 60 deg/h. 展开更多
关键词 micromachined gyroscope slanted cantilever proof mass
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简支平板上多个惯性主动吸振器的控制原理以及数值分析 被引量:1
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作者 刘孝斌 俞孟萨 高岩 《船舶力学》 EI CSCD 北大核心 2014年第7期841-848,共8页
文章使用阻抗方法建立了多个吸振器分布式反馈控制简支平板的振动模型,数值计算分析了这种控制方式的机理。惯性吸振器的电磁力、惯性力与弹性力耦合产生作用力于简支平板,惯性吸振器之间通过平板振动也会产生耦合,通过数值模拟揭示了... 文章使用阻抗方法建立了多个吸振器分布式反馈控制简支平板的振动模型,数值计算分析了这种控制方式的机理。惯性吸振器的电磁力、惯性力与弹性力耦合产生作用力于简支平板,惯性吸振器之间通过平板振动也会产生耦合,通过数值模拟揭示了反馈控制方式的"模态控制"和"主动阻尼"的机理,吸振器的数量和分布范围越大,控制的振动频率范围和控制性能就会越高,为吸振器的优化布置提供了理论支撑。辐射声功率为目标函数对反馈控制机理进行了分析,低频时奇—奇模态占辐射主要贡献成分,中心位置的单个吸振器就可以取得很好的辐射声控制效果。 展开更多
关键词 惯性主动吸振器 主动控制 速度反馈 分布式控制
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谈工程评标中主观评价指标的管理
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作者 邓蜀娟 文拥军 《山西建筑》 2010年第26期261-262,共2页
采用了基于证据理论与mass函数的合成算法来求出主观评价指标的量化值,从而有效的克服了专家的随意性,使得最终的量化值具有一定的科学性。
关键词 证据理论 mass函数 评价指标
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Comparison of smart panels for tonal and broadband vibration and sound transmission active control
15
作者 Paolo Gardonio Emanuele Turco Loris Dal Bo 《International Journal of Smart and Nano Materials》 SCIE EI 2020年第4期431-484,共54页
This paper presents a comprehensive overview of the principal features of smart panels equipped with feed-forward and feedback systems for the control of the flexural response and sound transmission due respectively t... This paper presents a comprehensive overview of the principal features of smart panels equipped with feed-forward and feedback systems for the control of the flexural response and sound transmission due respectively to tonal and to stochastic broadband disturbances.The smart panels are equipped with two types of actuators:first,distributed piezoelectric actuators formed either by small piezoelectric patches or large piezoelectric films bonded on the panels and second,point actuators formed by proof-mass electromagnetic transducers.Also,the panels encompass three types of sensors:first,small capacitive microphone sensors placed in front of the panels;second,distributed piezoelectric sensors formed by large piezoelectric films bonded on the panels and third point sensors formed by miniaturized accelerometers.The proposed systems implement both single-channel and multi-channel feed-forward and feedback control architectures.The study shows that,the vibration and sound radiation control performance of both feed-forward and feedback systems critically depends on the sensor-actuator configurations. 展开更多
关键词 Active structural acoustic control active vibration control feed-forward control feedback control piezoelectric transducers proof-mass electromagnetic actuators
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检测质量对硅微机械框架振动陀螺影响的研究
16
作者 阮爱武 郭秀中 《航空学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第4期489-492,共4页
根据陀螺的动力学方程,从陀螺设计中的重要参数——内、外框架组件的等惯量约束条件和振动灵敏度等角度,探讨了检测质量对陀螺性能的影响,为微机械框架振动陀螺的设计提供了理论依据。
关键词 微机械框架 陀螺 检测质量 等惯量约束 微陀螺
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提高锅炉火检系统监测准确性的研究
17
作者 刘桂荣 《酒钢科技》 2021年第3期53-56,共4页
本文通过研究火焰检测方法,利用其检验手段,结合火检系统装置改造,防止窥火,在很大程度上提高火检系统的火焰检测准确度和检测质量,保证了锅炉的安全稳定运行。
关键词 火焰检测 检测强度 检测质量
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挡风抑尘墙多孔介质模型分析与数值模拟 被引量:4
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作者 陈凯华 宋存义 +1 位作者 邱露 李强 《烧结球团》 北大核心 2008年第3期23-28,共6页
气体通过挡风抑尘墙的流动是典型的多孔介质.纯流体耦合流动,多孔介质模型能够良好的反映其工作特性。墙体的质量通量和压力降与墙体开孔率、高度及自然风速有直接的关系,随着开孔率的增大,其质量通量增大,压力降减小;随着墙体高... 气体通过挡风抑尘墙的流动是典型的多孔介质.纯流体耦合流动,多孔介质模型能够良好的反映其工作特性。墙体的质量通量和压力降与墙体开孔率、高度及自然风速有直接的关系,随着开孔率的增大,其质量通量增大,压力降减小;随着墙体高度的增大,其质量通量也增大,压力降增大;随着自然风速的提高,其质量通量也增大,压力降增大。较适宜的墙体高度为受保护料垛高度的1.5~2倍,开孔率为0.2~0.3。 展开更多
关键词 挡风抑尘墙 多孔介质模型 数值模拟 质量通量 压力降
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位移无拖曳控制的动力学协调条件研究
19
作者 苟兴宇 王丽娇 +2 位作者 许现民 邹奎 蒋庆华 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期540-549,共10页
针对位移无拖曳控制的可实现性问题及避免推力饱和问题,首先基于位移无拖曳控制动力学方程,推导出位移无拖曳控制系统中连续可变推力推进子系统的最大推力需要满足的基本动力学协调条件。进一步由位移无拖曳控制动力学方程退化得到的切... 针对位移无拖曳控制的可实现性问题及避免推力饱和问题,首先基于位移无拖曳控制动力学方程,推导出位移无拖曳控制系统中连续可变推力推进子系统的最大推力需要满足的基本动力学协调条件。进一步由位移无拖曳控制动力学方程退化得到的切换动力学方程,推导出负刚度加速度函数为线性及非线性函数两种情形下的让步动力学协调条件。针对让步动力学协调条件开展了仿真比对,结果表明,强非线性情形下的让步动力学协调条件比退化的线性情形更加严苛。最后通过分析给出位移无拖曳控制避免推力饱和的、定性的动力学协调条件,并得到仿真校验,即:检验质量初始状态及指令状态应在让步动力学协调条件区域内靠近负刚度力零位,开环系统时间延迟尽可能短,并且控制带宽应折中选择。 展开更多
关键词 位移无拖曳控制 动力学协调条件 切换动力学方程 HAMILTON函数 检验质量状态初值
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微加速度计摆片质量的测量方法研究 被引量:2
20
作者 李疆 高钟毓 董景新 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期115-118,共4页
梳齿式微机械加速度计摆片的质量是影响其性能的重要机械参数,获得实测值十分必要。提出一种基于开环频率响应试验和静态静电力试验求取摆片质量的方法,由加速度计的开环传递函数及摆片的力平衡方程,得到包含摆片质量的方程组,通过求解... 梳齿式微机械加速度计摆片的质量是影响其性能的重要机械参数,获得实测值十分必要。提出一种基于开环频率响应试验和静态静电力试验求取摆片质量的方法,由加速度计的开环传递函数及摆片的力平衡方程,得到包含摆片质量的方程组,通过求解该方程组得出摆片的实际质量。对具体加速度计的试验结果表明,该方法能准确地估算摆片的实际质量,并能在制造现场使用,不需要特殊的测量环境和仪器设备,是一种简便而有效的试验方法。 展开更多
关键词 微机械 微加速度计 梳齿式 摆片 质量 测量方法 机械参数
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