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自动检测设备高温下测试坐标修正方法 被引量:1
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作者 左宁 袁丽娟 +1 位作者 胡奇威 霍鑫 《电子工艺技术》 2024年第1期51-55,共5页
硅晶圆半导体芯片在进行晶圆级电性能测量时,往往需要模拟芯片实际工作时的工作环境,如温度、湿度、气压。在自动探针台上进行高温环境模拟测试时,由于高温会导致测针、晶圆片和承片卡盘产生一定程度的形变,从而使得芯片上测试Pad位置... 硅晶圆半导体芯片在进行晶圆级电性能测量时,往往需要模拟芯片实际工作时的工作环境,如温度、湿度、气压。在自动探针台上进行高温环境模拟测试时,由于高温会导致测针、晶圆片和承片卡盘产生一定程度的形变,从而使得芯片上测试Pad位置坐标发生偏移,这种情况下,测试系统需要对形变后的测试点坐标进行修正。提出了一种基于机器视觉自动图形识别的在线修正测试点坐标偏移方法,用以解决自动探针台在高温环境下进行电性能测试时的测试坐标修正难题。 展开更多
关键词 探针测试系统 坐标修正 高温形变
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测试回路杂散电感消除技术研究 被引量:1
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作者 袁丽娟 荆茂盛 +2 位作者 胡奇威 左宁 王洪洲 《电子工业专用设备》 2023年第5期55-60,共6页
由于测试回路中的杂散电感会在被测器件开通和关断的过程中感应出较高的电压尖峰,增大了被测器件的电压应力,严重影响被测器件相关参数的测试精度,甚至导致被测器件损坏。对高压探针测试系统测试回路中产生杂散电感的原理进行研究,通过... 由于测试回路中的杂散电感会在被测器件开通和关断的过程中感应出较高的电压尖峰,增大了被测器件的电压应力,严重影响被测器件相关参数的测试精度,甚至导致被测器件损坏。对高压探针测试系统测试回路中产生杂散电感的原理进行研究,通过仿真分析和优化设计,提出了一种在测试回路中采用叠层母排结构以降低杂散电感的解决办法。 展开更多
关键词 探针测试系统 杂散电感 叠层母排
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球面近场多探头一致性校准方法研究 被引量:2
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作者 吴翔 潘冲 +1 位作者 张宇 张翔 《移动通信》 2021年第3期120-123,共4页
多探头球面近场测试系统主要由吸波暗室、多探头装置、近远场变换软件构成。在被测设备的近场区测量幅度、相位信息,然后采用近远场变换算法获得被测设备的远场方向图,多探头的幅相校准精度直接决定了测试结果。根据多探头球面近场系统... 多探头球面近场测试系统主要由吸波暗室、多探头装置、近远场变换软件构成。在被测设备的近场区测量幅度、相位信息,然后采用近远场变换算法获得被测设备的远场方向图,多探头的幅相校准精度直接决定了测试结果。根据多探头球面近场系统构成,运用电磁场测试的误差分析理论,提出了基于高精度机械步进旋转电机的多探头幅度、相位校准验证方法,相比传统电参数传递校准方法,在测量精度、成本、效率等方面具备明显优势。 展开更多
关键词 近场测量 球面多探头测试系统 校准 幅相误差
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基于标记点识别的晶圆自动扫正方法研究
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作者 胡奇威 左宁 +2 位作者 袁丽娟 张光宇 包敖日格乐 《电子工业专用设备》 2024年第6期32-37,共6页
自动探针测试系统是硅晶圆半导体前道检测工艺中的关键设备之一,用来测量不同类型器件的多种电性能参数(如功率器件静态参数、微波器件S参数等)。在实际工艺线上,由于人为操作误差和外界环境干扰因素,探针台在测试前,必须对晶圆进行校... 自动探针测试系统是硅晶圆半导体前道检测工艺中的关键设备之一,用来测量不同类型器件的多种电性能参数(如功率器件静态参数、微波器件S参数等)。在实际工艺线上,由于人为操作误差和外界环境干扰因素,探针台在测试前,必须对晶圆进行校准。针对这一问题,创新性地提出了一种基于标记点图像识别的晶圆自动扫正方法。经过验证,该方法校准精度高,工艺适应性强。 展开更多
关键词 探针测试系统 晶圆扫正 图像识别 测试工艺
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微波探针台屏蔽腔体的设计及仿真
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作者 李俊 张世强 荆茂盛 《电子工业专用设备》 2024年第4期49-53,共5页
从微波探针台用途及应用领域出发,介绍了微波探针台屏蔽腔体的作用及设计要求;通过使用CST软件中独有的精简模型仿真方法,对屏蔽腔体进行电磁仿真分析评估,并使用导电材料对其屏蔽效能进行了提升;最后对设备的特殊需求及后续发展进行展望。
关键词 微波探针测试系统 屏蔽效能 电磁泄露风险仿真
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Application of Non-invasive Microsensing System to Simultaneously Measure Both H^+ and O2 Fluxes Around the Pollen Tube 被引量:22
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作者 Yue Xu Tong Sun Li-Ping Yin 《Journal of Integrative Plant Biology》 SCIE CAS CSCD 2006年第7期823-831,共9页
Various Ionic and molecular activities in the extraceUular environment are vital to plant cell physiological processes. A noninvasive microsensing system (NMS) based on either the scanning ion-selective electrode te... Various Ionic and molecular activities in the extraceUular environment are vital to plant cell physiological processes. A noninvasive microsensing system (NMS) based on either the scanning ion-selective electrode technique (SIET) or the scanning polarographlc electrode technique (SPET) is able to obtain information regarding the transportation of various Ions/molecules in Intact samples under normal physiological conditions. The two-probe simultaneous test system (2STS) Is an Integrated system composed of SIET, SPET, and a Xu-Kunkel sampling protocol. In the present study, 2STS was able to simultaneously measure fluxes of H^+ and O2 of the Uly (Lillum Iongiflorum Thunb. cv. Ace) pollen tube while avoiding interference between the two probes. The results Indicate that the proton fluxes were effluxes, whereas the oxygen fluxes were Influxes, and they were closely correlated to each other surrounding the constitutive alkaline band region. Specifically, when the proton effluxes increased, the oxygen Influxes also increased. Therefore, the hypothesis of condensed active mitochondria existing in the alkalized area of the pollen tube proposed by Hepler's group is supported. 展开更多
关键词 non-invasive microsensing system (NMS) oxygen fluxes pollen tube proton fluxes scanning ion-selective electrode technique (SIET) scanning polarographic electrode technique (SPET) two-probe simultaneous test system (2STS).
原文传递
多探头球面近场测量系统及其创新改造工作 被引量:10
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作者 陈锡斌 芦永超 +2 位作者 张霖 陈金虎 李国华 《中国电子科学研究院学报》 2007年第6期635-639,643,共6页
介绍了一种从法国引进的目前世界上取样探头最多、测量天线方向图速度最快、测试准确度最高和重复性最好的SG128球面近场测试系统的原理和工作情况,以及西安海天天线公司对其进行的创新改造工作。该技术是天线近场测量技术的一次重大革新。
关键词 天线近场测量技术 多探头球面测试系统 调制散射技术
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