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三维测头耦合分析与校正
被引量：
1
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作者
郭强
黄强先
+3 位作者
吴奎
陈丽娟
李瑞君
李红莉
《工具技术》
2018年第11期152-155,共4页
基于微型迈克尔逊干涉原理和激光自准直原理构成的三维接触扫描测头,从机械结构误差分析了测头输出三路信号产生耦合的原因。为减小信号耦合对测量结果的影响,通过微纳米测量机三维定位工作台对测头三个坐标轴方向进行标定,最终采用四...
基于微型迈克尔逊干涉原理和激光自准直原理构成的三维接触扫描测头,从机械结构误差分析了测头输出三路信号产生耦合的原因。为减小信号耦合对测量结果的影响,通过微纳米测量机三维定位工作台对测头三个坐标轴方向进行标定,最终采用四次多项式模型建立工作台位移和测头输出信号之间的关系。信号处理基于Labview软件实现,计算结果表明该模型误差在±30nm以内。
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关键词
触发测头
机械机构
耦合分析
坐标测量机
测头标定
校正
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职称材料
题名
三维测头耦合分析与校正
被引量：
1
1
作者
郭强
黄强先
吴奎
陈丽娟
李瑞君
李红莉
机构
合肥工业大学
出处
《工具技术》
2018年第11期152-155,共4页
基金
科技部863计划(2008AA042409)
合肥工业大学教学研究资助项目(2016YQJY0103)
文摘
基于微型迈克尔逊干涉原理和激光自准直原理构成的三维接触扫描测头,从机械结构误差分析了测头输出三路信号产生耦合的原因。为减小信号耦合对测量结果的影响,通过微纳米测量机三维定位工作台对测头三个坐标轴方向进行标定,最终采用四次多项式模型建立工作台位移和测头输出信号之间的关系。信号处理基于Labview软件实现,计算结果表明该模型误差在±30nm以内。
关键词
触发测头
机械机构
耦合分析
坐标测量机
测头标定
校正
Keywords
touch
trigger
probe
mechanical
structure
coupling
analysis
coordinate
measuring
machine
probe
calibra
-
tion
correc
tion
分类号
TG801 [金属学及工艺—公差测量技术]
TH822 [机械工程—仪器科学与技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
三维测头耦合分析与校正
郭强
黄强先
吴奎
陈丽娟
李瑞君
李红莉
《工具技术》
2018
1
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