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Preliminary assessment of the navigation and positioning performance of BeiDou regional navigation satellite system 被引量:130
1
作者 YANG YuanXi LI JinLong +5 位作者 WANG AiBing XU JunYi HE HaiBo GUO HaiRong SHEN JunFei DAI Xian 《Science China Earth Sciences》 SCIE EI CAS 2014年第1期144-152,共9页
BeiDou regional navigation satellite system (BDS) also called BeiDou-2 has been in full operation since December 27, 2012. It consists of 14 satellites, including 5 satellites in Geostationary Orbit (GEO), 5 satel... BeiDou regional navigation satellite system (BDS) also called BeiDou-2 has been in full operation since December 27, 2012. It consists of 14 satellites, including 5 satellites in Geostationary Orbit (GEO), 5 satellites in Inclined Geosynchronous Orbit (IGSO), and 4 satellites in Medium Earth Orbit (MEO). In this paper, its basic navigation and positioning performance are evaluated preliminarily by the real data collected in Beijing, including satellite visibility, Position Dilution of Precision (PDOP) value, the precision of code and carrier phase measurements, the accuracy of single point positioning and differential position- ing and ambiguity resolution (AR) performance, which are also compared with those of GPS. It is shown that the precision of BDS code and carrier phase measurements are about 33 cm and 2 mm, respectively, which are comparable to those of GPS, and the accuracy of BDS single point positioning has satisfied the design requirement. The real-time kinematic positioning is also feasible by BDS alolae in the opening condition, since its fixed rate and reliability of single-epoch dual-frequency AR is comparable to those of GPS. The accuracy of BDS carrier phase differential positioning is better than 1 cm for a very short baseline of 4.2 m and 3 cm for a short baseline of 8.2 km, which is on the same level with that of GPS. For the combined BDS and GPS, the fixed rate and reliability of single-epoch AR and the positioning accuracy are improved significantly. The accu- racy of BDS/GPS carrier phase differential positioning is about 35 and 20 % better than that of GPS for two short baseline tests in this study. The accuracy of BDS code differential positioning is better than 2.5 m. However it is worse than that of GPS, which may result from large code multipath errors of BDS GEO satellite measurements. 展开更多
关键词 BeiDou navigation satellite system service area dilution of precision precision of code and carrier phase measurement single point positioning code differential positioning ambiguity resolution carrier phase differential positioning
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基于改进RTK算法的铁路导航精密单点定位优化
2
作者 刘洋 《电子设计工程》 2024年第8期144-147,152,共5页
铁路导航精密单点定位容易受到周跳数据的影响,导致定位结果在水平和垂直方向出现相对偏移,针对该问题提出了基于改进RTK算法的铁路导航精密单点定位优化方法。根据铁路导航精密单点定位原理,采用改进RTK算法构建定位模型,初步获取定位... 铁路导航精密单点定位容易受到周跳数据的影响,导致定位结果在水平和垂直方向出现相对偏移,针对该问题提出了基于改进RTK算法的铁路导航精密单点定位优化方法。根据铁路导航精密单点定位原理,采用改进RTK算法构建定位模型,初步获取定位结果。使用双频载波相位测量法探测周跳,剔除野值点,获取预处理后的单点数据。消除一阶电离层延迟,结合模糊度固定技术采集浮点数,获取不同模糊度下的位置坐标。求解载波相位整周模糊度固定问题,实现单点定位优化。分析实验结果可知,该方法在相对偏移时间为6×103s时,垂直误差最大仅为2 m,水平误差为0,说明该方法的定位结果精准。 展开更多
关键词 改进RTK算法 铁路导航 精密单点 定位
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北斗卫星导航系统在亚太地区的服务性能评估 被引量:5
3
作者 左朝阳 吴玉彬 陈坡 《航天控制》 CSCD 北大核心 2019年第3期73-79,共7页
北斗卫星导航系统是我国自主研发的导航系统,本文采用精度衰减因子评估了北斗在亚太及周边区域的覆盖性能,导航用户利用该指标可以宏观地了解定位精度,收集了MGEX(Multi-GNSS Experiment)实测的数据进行了伪距单点定位精度评估,从而对... 北斗卫星导航系统是我国自主研发的导航系统,本文采用精度衰减因子评估了北斗在亚太及周边区域的覆盖性能,导航用户利用该指标可以宏观地了解定位精度,收集了MGEX(Multi-GNSS Experiment)实测的数据进行了伪距单点定位精度评估,从而对北斗卫星导航系统在亚太地区的定位性能进行了整体评估,研究方法和思路可以用于北斗全球系统建设,给出服务性能的相关指标。 展开更多
关键词 北斗卫星导航系统 精度衰减因子 服务区域 单点定位 性能评估
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GNSS精密控制网在特大型桥梁施工监测中的应用——以虎门二桥为例 被引量:4
4
作者 王晓明 曾旭平 +4 位作者 马鑫程 杨红 辛明真 王发省 阳凡林 《全球定位系统》 CSCD 2019年第5期106-110,共5页
以虎门二桥为例,介绍了全球卫星导航系统(GNSS)精密定位技术在特大型桥梁中的具体应用,在基线解算时,通过提高概略坐标精度、选择合适的解算策略、合理的约束条件等提高控制网解算精度,使得控制网成果的各项精度指标满足要求.对虎门二桥... 以虎门二桥为例,介绍了全球卫星导航系统(GNSS)精密定位技术在特大型桥梁中的具体应用,在基线解算时,通过提高概略坐标精度、选择合适的解算策略、合理的约束条件等提高控制网解算精度,使得控制网成果的各项精度指标满足要求.对虎门二桥8期测量成果的统计,进一步验证了控制网的测量精度,通过对部分点位坐标较差的计算,统计了点位的具体变动情况,采用单点检验法评定了控制点的稳定性,为其他类似跨海工程控制网提供了参考. 展开更多
关键词 基线解算 GNSS首级控制网 精度分析 单点检验法 稳定性分析
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北斗卫星导航系统功率增强选星策略设计与性能分析 被引量:2
5
作者 郝雨时 孙剑伟 马冬青 《导航定位学报》 CSCD 2021年第2期41-47,共7页
导航战中,卫星功率增强是提高战区卫星信号抗干扰能力的重要手段。以北斗二号(BDS-2)及北斗三号(BDS-3)星座为例,提出一种功率增强卫星选择方法。该方法利用卫星轨道预报信息,基于几何精度衰减因子(GDOP)阈值及功率增强卫星数量区间阈... 导航战中,卫星功率增强是提高战区卫星信号抗干扰能力的重要手段。以北斗二号(BDS-2)及北斗三号(BDS-3)星座为例,提出一种功率增强卫星选择方法。该方法利用卫星轨道预报信息,基于几何精度衰减因子(GDOP)阈值及功率增强卫星数量区间阈值信息,规划卫星功率增强选星策略。静态标准单点定位测试结果表明,该方法可减少功率增强卫星数量,并保证标准导航服务性能。 展开更多
关键词 导航战 北斗卫星导航系统 功率增强 几何精度衰减因子 标准单点定位
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基于焊接变形量控制的FPSO单点舱建造精度控制工艺探讨 被引量:1
6
作者 杨现阳 田从永 荆鹏 《云南化工》 CAS 2020年第4期164-167,170,共5页
在FPSO单点舱的建造过程中,焊接前后的变化量是精度控制工艺重点关注的内容之一。通过对单点舱建造过程中的焊接变形量控制的研究,梳理了单点舱的建造工艺和精度控制工艺,并针对性的提出了精度控制过程中的重点,包括单点舱圆环拼板、圆... 在FPSO单点舱的建造过程中,焊接前后的变化量是精度控制工艺重点关注的内容之一。通过对单点舱建造过程中的焊接变形量控制的研究,梳理了单点舱的建造工艺和精度控制工艺,并针对性的提出了精度控制过程中的重点,包括单点舱圆环拼板、圆环合拢的径向和高度方向上以及周长的变化、圆筒壁与对应分段合拢时径向变化、单点舱分段与主船体合拢时的变化等几个阶段。通过数据分析得出单点建造过程中的焊接变化方向,还指出精度控制工艺必须与建造方案、焊接工艺、工厂实际情况相适应,形成数据闭合环,从而提高生产效率。 展开更多
关键词 精度控制 焊接变形 径向收缩 FPSO单点
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高精度宽量程智能电能表研究
7
作者 吴国强 王利宁 孙立芳 《现代科学仪器》 2016年第5期38-42,共5页
针对单相智能电能表多种电流规格带来的研发、生产以及产品型号维护工作量大等问题,本文设计了一种高精度宽量程单相智能电能表,依托于新一代计量芯片,解决了计量芯片与主控芯片的通讯5.3V电平与5V电平的匹配问题、采取多种措施有... 针对单相智能电能表多种电流规格带来的研发、生产以及产品型号维护工作量大等问题,本文设计了一种高精度宽量程单相智能电能表,依托于新一代计量芯片,解决了计量芯片与主控芯片的通讯5.3V电平与5V电平的匹配问题、采取多种措施有效降低了小电流误差跳变、单点校表生产工艺设计大大提高了生产效率。 展开更多
关键词 高精度 宽量程 电平匹配 小电流误差跳变 单点校表
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光学非球面的超精密加工技术及非接触检测 被引量:15
8
作者 谢晋 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期94-98,共5页
针对亚微米级及亚微米级以下的光学硬脆性非球面器件难加工问题 ,分析了光学非球面的形状精度和应用 ,讨论了其超精密加工原理和方法及非接触检测手段 .结果表明 ,精密数控机床。
关键词 非球面 超精密加工 光学器件 非接触检测 单点金刚石切削 弧形金刚石砂轮
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BDS精密单点定位在桥梁变形监测中的应用 被引量:16
9
作者 刘明亮 丁克良 +2 位作者 刘亚杰 于龙昊 鲍东东 《全球定位系统》 CSCD 2019年第2期98-102,共5页
桥梁变形监测是进行桥梁健康评估和后期修缮的重要内容.本文基于北斗卫星导航系统(BDS)精密单点定位技术,对实时采集的高频率BDS/GPS数据进行精密单点定位(PPP)静态和动态处理,并以相对静态定位结果作为参考,分析在桥梁复杂环境下BDS的... 桥梁变形监测是进行桥梁健康评估和后期修缮的重要内容.本文基于北斗卫星导航系统(BDS)精密单点定位技术,对实时采集的高频率BDS/GPS数据进行精密单点定位(PPP)静态和动态处理,并以相对静态定位结果作为参考,分析在桥梁复杂环境下BDS的PPP的精度,并把北斗动态PPP结果与GPS做对比.研究结果表明,在1 h连续变形监测时间左右,北斗静态PPP精度和BDS动态PPP定位精度可以达到厘米级,可以监测出大型车辆经过桥梁时的变形情况,并与GPS监测变形趋势基本一致. 展开更多
关键词 北斗精密单点定位 桥梁 变形监测 精度
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单点金刚石机床及其在光学工程领域的应用 被引量:12
10
作者 巩岩 赵磊 《中国光学》 EI CAS 2011年第6期537-545,共9页
介绍了单点金刚石车床概念,总结回顾了单点金刚石车床在国防和商业领域内的发展状况,给出了目前商用单点金刚石车床的典型产品。对单点金刚石车床的关键零部件和核心技术,如空气静压主轴、液压导轨、直流电机、对刀装置、误差补偿和自... 介绍了单点金刚石车床概念,总结回顾了单点金刚石车床在国防和商业领域内的发展状况,给出了目前商用单点金刚石车床的典型产品。对单点金刚石车床的关键零部件和核心技术,如空气静压主轴、液压导轨、直流电机、对刀装置、误差补偿和自适应控制等进行了分析。最后,介绍了适宜单点金刚石车削加工的材料,分析了快刀伺服和慢刀伺服在光学元件中的应用以及所加工的光学元件在国防和商用光电产品中的应用,并以主次镜望远镜系统和精密光学系统无调整装配为例,说明了单点金刚石车削在光电产品中的重要作用。 展开更多
关键词 超精密机床 单点金刚石车削 光学元件
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超精密车削表面微观形貌对光学特性的影响 被引量:12
11
作者 黄昆涛 房丰洲 宫虎 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期101-107,共7页
研究了超精密车削表面微观拓扑形貌与光散射特性之间的关系,用于评价车削加工表面的光学性能并优化加工过程。采用阈值分析和粗糙表面散射理论分析两种方法研究了仅有理想刀痕的表面所产生的重影现象。阈值分析是指先计算单段圆弧刀痕... 研究了超精密车削表面微观拓扑形貌与光散射特性之间的关系,用于评价车削加工表面的光学性能并优化加工过程。采用阈值分析和粗糙表面散射理论分析两种方法研究了仅有理想刀痕的表面所产生的重影现象。阈值分析是指先计算单段圆弧刀痕的散射特性,再根据周期性结构对光的调制性来求得被加工表面为镜面对刀尖圆弧半径和进给率(主轴每转的进给距离)选择的大约临界值要求。在入射光波长500nm的情况下,当刀尖圆弧半径选择500μm时,可以计算得出阈值进给率为19μm。粗糙度散射理论分析则是通过电场积分公式——Stratton-Chu公式进行更精确的计算。实验表明,对于超精密车削加工得到的表面,当从入射光的非镜面方向,尤其是一极大散射方向观察不到光强时,即可以认为加工出了镜面效果。 展开更多
关键词 超精密车削 散射特性 Stratton—Chu积分 微观形貌
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超精密非球面镜面模具直轴磨削的研究 被引量:8
12
作者 欧阳渺安 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期545-552,共8页
研究了非球面镜面模具直轴超精密磨削技术,给出了非球面镜面模具超精密加工机理、算法原理、软硬件结构、系统实现、工艺分析及实例应用,开发了小型超精密非球面镜面加工系统SGTCAM1.0。研究结果表明,系统原理正确,加工出的非球面光学... 研究了非球面镜面模具直轴超精密磨削技术,给出了非球面镜面模具超精密加工机理、算法原理、软硬件结构、系统实现、工艺分析及实例应用,开发了小型超精密非球面镜面加工系统SGTCAM1.0。研究结果表明,系统原理正确,加工出的非球面光学零部件形状误差在100 nm以下,表面粗糙度在5 nm以下,达到纳米级加工精度。开发的系统使用方便,成本低。 展开更多
关键词 超精密加工 直轴磨削 单点金刚石切削 非球面镜面模具 计算机辅助制造
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KDP晶体塑性域超精密切削加工过程仿真 被引量:6
13
作者 陈明君 王景贺 +2 位作者 原大勇 罗熙淳 李旦 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期69-72,92,共5页
提出了压痕实验与有限元仿真结合的方法。它采用压痕深度与有限元仿真深度进行对比,可求解出KDP晶体的塑性特性参数。建立了KDP晶体塑性域切削的有限元模型,并用该模型仿真研究了切削参数对KDP晶体表面形成过程的影响。结果表明,在刀具... 提出了压痕实验与有限元仿真结合的方法。它采用压痕深度与有限元仿真深度进行对比,可求解出KDP晶体的塑性特性参数。建立了KDP晶体塑性域切削的有限元模型,并用该模型仿真研究了切削参数对KDP晶体表面形成过程的影响。结果表明,在刀具前角为-40°左右时,工件表面质量可达到最佳值。研究还发现,当刀具刃口半径为80nm时,其能够产生切屑的最小切削厚度在10nm-30nm之间,此时法向切削力与主切削力之比为0.96,该结论对KDP晶体超光滑表面的获取有着重要指导意义。 展开更多
关键词 KDP晶体 超精密加工 单点金刚石车削 模拟
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基于星基增强精密单点定位的农机自动导航系统开发与测试 被引量:8
14
作者 张智刚 王明昌 +4 位作者 毛振强 王辉 丁凡 李洪开 张天 《华南农业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第6期109-116,共8页
【目的】开发基于星基增强精密单点定位的农机自动导航系统。【方法】以国产雷沃TX1204拖拉机为平台,采用国产星基增强定位板卡的输出数据作为农机位置反馈量,设计位速卡尔曼滤波器对定位数据进行滤波处理,开发预瞄跟随PID路径跟踪控制... 【目的】开发基于星基增强精密单点定位的农机自动导航系统。【方法】以国产雷沃TX1204拖拉机为平台,采用国产星基增强定位板卡的输出数据作为农机位置反馈量,设计位速卡尔曼滤波器对定位数据进行滤波处理,开发预瞄跟随PID路径跟踪控制算法进行导航控制,整定不同行驶速度条件下的模型控制参数,采用地基增强RTK高精度定位接收机输出数据作为参考量,搭建农机自动导航测试系统并开展系统性能测试。【结果】在直线跟踪误差方面,所开发的农机自动导航系统平均误差为−0.0009436 m,标准差为0.02452 m,最大误差绝对值为0.08472 m;在邻接行误差方面,平均误差为0.0007128 m,标准差为0.02986 m,最大误差绝对值为0.15444 m。这一精度可满足大部分农机自动导航作业需求。【结论】将国产星基增强精密单点定位技术用于农机自动导航是可行的;本文设计的预瞄跟随PID路径跟踪控制模型和提出的不同速度条件下PID参数与前视距离的整定方法,提高了系统对不同速度的自适应能力。 展开更多
关键词 农业机械 精密单点定位 PID路径 自动导航
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GPS/Galileo/QZSS精密单点定位精度分析 被引量:8
15
作者 宋大鹏 李玉海 +2 位作者 崔素梅 罗翠翠 郭秋英 《地理空间信息》 2021年第5期63-67,I0010,共6页
针对多系统组合精密单点定位性能,基于MEGX跟踪站实测数据,分析了单系统、双系统以及三系统组合下的动态、静态精密单点定位性能。经研究发现,相较于单双系统,三系统组合能有效增加卫星可见数,改善卫星空间分布结构,提高精密单点定位精... 针对多系统组合精密单点定位性能,基于MEGX跟踪站实测数据,分析了单系统、双系统以及三系统组合下的动态、静态精密单点定位性能。经研究发现,相较于单双系统,三系统组合能有效增加卫星可见数,改善卫星空间分布结构,提高精密单点定位精度。三系统组合静态精密单点定位E、N、U方向的RMS值和收敛时间分别为0.68 cm、1.11 cm、1.55 cm和12 min、11 min、15 min;动态精密单点定位E、N、U方向的RMS值和收敛时间分别为0.91 cm、1.14 cm、3.79 cm和13 min、10 min、16 min。 展开更多
关键词 GPS/Galileo/QZSS 精密单点定位 精度 收敛时间
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北斗三号PPP-B2b服务实时动态定位性能分析 被引量:4
16
作者 肖鹏 孙付平 +2 位作者 张伦东 肖凯 商向永 《导航定位学报》 CSCD 2023年第5期21-28,共8页
为了进一步提高精密单点定位的精度,对北斗三号全球卫星导航系统(BDS-3)提供的实时精密单点定位增强(PPP-B2b)服务进行实时动态定位性能分析:介绍基于PPP-B2b服务的实时动态精密单点定位模型和数据处理流程;然后在城市环境下进行基于BDS... 为了进一步提高精密单点定位的精度,对北斗三号全球卫星导航系统(BDS-3)提供的实时精密单点定位增强(PPP-B2b)服务进行实时动态定位性能分析:介绍基于PPP-B2b服务的实时动态精密单点定位模型和数据处理流程;然后在城市环境下进行基于BDS-3PPP-B2b服务的实时动态精密单点定位性能的车载实验,对不同频点组合B1C+B2a、B1I+B3I模式下的动态定位性能进行评估和分析。实验结果表明,实时动态PPP的城市开阔环境试验中利用B2b服务的电文改正信息后B1C+B2a、B1I+B3I频点组合模式下东向、北向和天向上定位精度分别为11.6、18.8、28.6 cm,以及13.3、19.4、32.5 cm,B1C+B2a组合方式在定位精度和收敛速度方面略优于B1I+B3I;复杂城市环境下GNSS信号发生中断后,信号恢复后PPP-B2b重新收敛的定位精度能够达到40.6、33.2、60.1cm;可知,BDS-3PPP-B2b产品精度较高,且城市环境下基于该服务的实时动态精密单点定位能够实现分米级定位,可用于正常生产生活中。 展开更多
关键词 北斗三号卫星导航系统(BDS-3) 精密单点定位增强(PPP-B2b)服务 城市环境 定位性能分析
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虚拟仿真技术在超精密加工实验教学中的应用 被引量:7
17
作者 叶回春 张洪伟 +1 位作者 倪向贵 江芸梅 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2021年第12期195-198,共4页
依托单点金刚石超精密加工机床Freeform L,运用信息化技术进行了超精密加工虚拟仿真实验平台的设计。虚拟实验平台涵盖了刀具偏置校正、动平衡测试、加工程序自主编写、正式加工、在线测量、迭代补偿加工等多个交互模块。利用此实验平台... 依托单点金刚石超精密加工机床Freeform L,运用信息化技术进行了超精密加工虚拟仿真实验平台的设计。虚拟实验平台涵盖了刀具偏置校正、动平衡测试、加工程序自主编写、正式加工、在线测量、迭代补偿加工等多个交互模块。利用此实验平台,配合改进的教学方法,能使学生在较短时间内掌握超精密加工技术的基本原理和加工工艺流程,培养学生的综合创新能力及实践动手能力,实现超精密加工技术从设计加工到结果检测完整工艺过程的线上教学。该虚拟实验不但可使学生了解前沿知识与先进技术,大幅降低超精密加工实验教学的成本,而且易推广使用,方便自主学习及教学,为高精尖工程技术人才的培养提供一种新方法。 展开更多
关键词 超精密加工 虚拟仿真教学 创新能力 实践教学 单点金刚石车削
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基于BDS的双系统组合精密单点定位性能对比分析
18
作者 简润梁 周立垚 《经纬天地》 2024年第1期6-10,共5页
精密单点定位测量技术已广泛应用于测绘、交通、市政、导航等诸多领域,随着我国BDS的顺利组网,基于BDS的精密单点定位技术研究越来越广泛深入。本文利用MGEX数据网站获取不同测站的多卫星系统的观测数据,建立双系统组合单点数据处理模型... 精密单点定位测量技术已广泛应用于测绘、交通、市政、导航等诸多领域,随着我国BDS的顺利组网,基于BDS的精密单点定位技术研究越来越广泛深入。本文利用MGEX数据网站获取不同测站的多卫星系统的观测数据,建立双系统组合单点数据处理模型,通过对比BDS+GPS、BDS+GLONASS、BDS+Galileo三种组合模型的静态、动态精密单点数据处理结果,从位置精度、可见卫星数、DOP值等多个维度说明BDS+GPS组合的精密单点定位性能最优,可为BDS在实际定位测量工作中的应用提供参考。 展开更多
关键词 BDS 精密单点定位 MGEX 定位性能
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GPS/BDS组合导航系统的精密单点定位模型
19
作者 阮国奇 何伦保 《导航定位学报》 CSCD 北大核心 2024年第1期124-129,共6页
为了改善单卫星导航系统由于卫星数量较少,导致定位误差高的问题,设计全球定位系统(GPS)/北斗卫星导航系统(BDS)组合导航系统的精密单点定位模型:线性组合处理GPS与BDS的伪距和载波相位观测值,并构建GPS/BDS组合导航系统的组合观测值;... 为了改善单卫星导航系统由于卫星数量较少,导致定位误差高的问题,设计全球定位系统(GPS)/北斗卫星导航系统(BDS)组合导航系统的精密单点定位模型:线性组合处理GPS与BDS的伪距和载波相位观测值,并构建GPS/BDS组合导航系统的组合观测值;接下来利用协方差成形自适应卡尔曼滤波方法,对组合导航系统导航过程中的卫星钟差、电离层延迟等误差实施滤波;再利用滤波处理后组合导航系统的广播星历,获取卫星轨道以及钟差;然后利用经验模型修正对流层延迟,获取相位观测值与伪距的综合改正数;最后利用综合改正数修正组合导航系统的观测方程,构建精密单点定位模型。实验结果表明,GPS/BDS组合导航系统采用所构建模型进行精密单点定位,不同方向定位误差均低于10 cm,证明了提出模型的有效性。 展开更多
关键词 全球定位系统(GPS)/北斗卫星导航系统(BDS) 组合导航系统 精密单点定位模型 对流层延迟 相位观测值
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面向超精密加工的微观材料去除机理研究进展 被引量:1
20
作者 陈磊 刘阳钦 +3 位作者 唐川 蒋翼隆 石鹏飞 钱林茂 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第23期229-264,共36页
随着超大规模集成电路、微机电系统、精密光学等高新技术领域对超高精度表面和结构需求的不断增加,超精密加工正成为各国争夺的科技“制高点”。超精密加工的本质是通过微观材料的可控添加、迁移或去除实现超高精度表面或结构加工。将... 随着超大规模集成电路、微机电系统、精密光学等高新技术领域对超高精度表面和结构需求的不断增加,超精密加工正成为各国争夺的科技“制高点”。超精密加工的本质是通过微观材料的可控添加、迁移或去除实现超高精度表面或结构加工。将重点综述单点金刚石切削、扫描探针加工、化学机械抛光和超精密磨削等几种以接触模式实现微观材料去除的超精密加工技术的研究进展,并系统总结了加工参数、加工工具、加工环境和加工对象本身物化特性对微观去除的影响机制,以及不同机制主导下的材料微观去除模型及适用范围。最后,总结了未来超精密加工技术发展至原子尺度实现材料可控去除将面临的挑战。 展开更多
关键词 超精密加工 单点金刚石切削 扫描探针加工 化学机械抛光 微观去除机理 能量耗散模型
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