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一种基于石英基板的功分器制备研究 被引量：1
1
作者 梁广华 贾世旺 +4 位作者 兰宝岩 赵飞 徐亚新 龚孟磊 刘晓兰 《电子工艺技术》 2018年第4期198-200,222,共4页
石英基板在高频毫米波太赫兹频段具有介电常数低和损耗低等优点,但是石英基板电路尤其是薄石英基板电路的加工难度较大。利用薄膜电路加工技术在石英基板上加工出一款分路器。通过对石英基板威尔金森功分器的研究和制备,分析并解决了含... 石英基板在高频毫米波太赫兹频段具有介电常数低和损耗低等优点,但是石英基板电路尤其是薄石英基板电路的加工难度较大。利用薄膜电路加工技术在石英基板上加工出一款分路器。通过对石英基板威尔金森功分器的研究和制备,分析并解决了含电阻石英薄膜电路基板加工中电阻图形化、电阻退火热处理和划切工艺的难点,并提出了一些新的方法,对石英基板在高频微波电路领域的应用具有较好的借鉴意义。 展开更多
关键词 石英基板 薄膜电路 TaN电阻 高频微波电路 功分器
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