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基于直线电机和光栅测量系统的精确定位平台设计 被引量:10
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作者 王志伟 《苏州大学学报(工科版)》 CAS 2004年第6期38-41,共4页
阐述了如何利用直线电机的工作原理和光栅精密测量的特性,以代替传统的伺服电机和滚珠丝杠传动机构,从而进一步提高机床加工的定位精度。
关键词 直线电机 光栅 定位精度 工作台
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