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多孔β-SiC薄膜的蓝光发射
被引量:
5
1
作者
张志敏
谢二庆
+3 位作者
林洪峰
马紫微
叶凡
贺德衍
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第9期942-945,共4页
通过射频溅射的方法在单晶硅衬底上沉积了 β SiC薄膜 ,用HF酸 (40 % )和C2 H5OH(99% )的混合溶液对 β SiC薄膜进行了电化学腐蚀处理 ,形成了多孔 β SiC(PSC)薄膜 .利用荧光分光光度计研究了样品的光致发光 (PL)特性 ,用原子力显微镜 ...
通过射频溅射的方法在单晶硅衬底上沉积了 β SiC薄膜 ,用HF酸 (40 % )和C2 H5OH(99% )的混合溶液对 β SiC薄膜进行了电化学腐蚀处理 ,形成了多孔 β SiC(PSC)薄膜 .利用荧光分光光度计研究了样品的光致发光 (PL)特性 ,用原子力显微镜 (AFM)和扫描电子显微镜 (SEM )观察了样品腐蚀前后的表面形貌 .结果表明 :多孔 β SiC薄膜具有较强的蓝光发射特性 ;通过改变腐蚀时间 ,可以改变蓝光发射的强度 ,也可以观察到蓝光 红光同时发射的现象 ;降低HF酸的浓度 ,蓝光发射峰明显变弱 ,并对多孔 β SiC薄膜的发光机理及其微观结构进行了讨论 .
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关键词
电化学腐蚀
多孔
sic
薄膜
蓝光发射
PL
SEM
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职称材料
题名
多孔β-SiC薄膜的蓝光发射
被引量:
5
1
作者
张志敏
谢二庆
林洪峰
马紫微
叶凡
贺德衍
机构
兰州大学物理科学与技术学院
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第9期942-945,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目 (批准号 :6 0 176 0 0 2 )~~
文摘
通过射频溅射的方法在单晶硅衬底上沉积了 β SiC薄膜 ,用HF酸 (40 % )和C2 H5OH(99% )的混合溶液对 β SiC薄膜进行了电化学腐蚀处理 ,形成了多孔 β SiC(PSC)薄膜 .利用荧光分光光度计研究了样品的光致发光 (PL)特性 ,用原子力显微镜 (AFM)和扫描电子显微镜 (SEM )观察了样品腐蚀前后的表面形貌 .结果表明 :多孔 β SiC薄膜具有较强的蓝光发射特性 ;通过改变腐蚀时间 ,可以改变蓝光发射的强度 ,也可以观察到蓝光 红光同时发射的现象 ;降低HF酸的浓度 ,蓝光发射峰明显变弱 ,并对多孔 β SiC薄膜的发光机理及其微观结构进行了讨论 .
关键词
电化学腐蚀
多孔
sic
薄膜
蓝光发射
PL
SEM
Keywords
electrochemical
anodization
porous
β
-
sic
film
blue
luminescence
PL
SEM
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多孔β-SiC薄膜的蓝光发射
张志敏
谢二庆
林洪峰
马紫微
叶凡
贺德衍
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
5
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职称材料
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