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半导体硅材料最新发展现状 被引量：16
1
作者 蒋荣华 肖顺珍 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期3-6,共4页
概述了现代微电子工业的发展状况及对半导体硅材料的新要求，叙述了近年来国际半导体多晶硅和单晶硅材料的发展状况与趋势。
关键词 半导体硅 多晶硅 单晶硅 半导体材料
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我国半导体硅材料的发展现状 被引量：6
2
作者 蒋荣华 肖顺珍 《半导体情报》 2001年第6期31-35,共5页
叙述了我国半导体硅材料的发展现状及与国外相比存在的差距 。
关键词 半导体硅 多晶硅 单晶硅 半导体材料
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