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激光与电弧相互作用时的电弧形态及焊缝特征 被引量:41
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作者 陈彦宾 陈杰 +1 位作者 李俐群 吴林 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期55-56,60,共3页
激光与电弧的复合热源在焊接过程中 ,由于激光的压缩与引导作用 ,可以在焊接速度增加时 ,电弧仍然较稳定。在去掉激光同轴保护气流而只采用TIG的保护气体进行保护时 ,由于激光同轴气体的冲击、压缩和冷却作用的消失 ,等离子气体将会随... 激光与电弧的复合热源在焊接过程中 ,由于激光的压缩与引导作用 ,可以在焊接速度增加时 ,电弧仍然较稳定。在去掉激光同轴保护气流而只采用TIG的保护气体进行保护时 ,由于激光同轴气体的冲击、压缩和冷却作用的消失 ,等离子气体将会随着电流、激光功率的增加而增大 ,因而引起焊缝横截面的变化。通过调整激光与电弧的规范参数 ,并用CCD摄取各参数下的电弧图像以分析等离子体的长大情况 ,然后将得到的焊缝沿横截面剖开。通过对各种参数下等离子体图像和焊缝横截面之间的相互的关系进行分析 ,得到与常规情况下相比熔宽较宽而熔深较浅的焊缝的焊接参数。这种产生涂敷型焊缝的参数可用于高速表层涂覆。 展开更多
关键词 激光 电弧 复合热源 焊接 等离子体 图像处理 焊缝
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Numerical Study on Arc Plasma Behavior During Arc Commutation Process in Direct Current Circuit Breaker 被引量:37
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作者 杨飞 马瑞光 +3 位作者 吴翊 孙昊 纽春萍 荣命哲 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第2期167-171,共5页
This paper focuses on the numerical investigation of arc plasma behavior during arc commutation process in a medium-voltage direct current circuit breaker (DCCB) contact system. A three-dimensional magneto-hydrodyna... This paper focuses on the numerical investigation of arc plasma behavior during arc commutation process in a medium-voltage direct current circuit breaker (DCCB) contact system. A three-dimensional magneto-hydrodynamic (MHD) model of air arc plasma in the contact system of a DCCB is developed, based on commercial software FLUENT. Coupled electromagnetic and gas dynamic interactions are considered as usual, and a thin layer of nonlinear electrical resistance elements is used to represent the voltage drop of plasma sheath and the formation of new arc root. The distributions of pressure, temperature, gas flow and current density of arc plasma in arc region are calculated. The simulation results indicate that the pressure distribution related to the contact system has a strong effect on the arc commutation process, arising from the change of electrical conductivity in the arc root region. In DCCB contact system, the pressure of arc root region will be concentrated and higher if the space above the moving contact is enclosed, which is not good for arc root commutation. However, when the region is opened, the pressure distribution would be lower and more evenly, which is favorable for the arc root commutation. 展开更多
关键词 arc plasma DC circuit breaker arc commutation PRESSURE simulation
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电弧热等离子体建模、仿真及应用综述 被引量:40
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作者 宋冬冬 程林 +1 位作者 林志法 杜海江 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期932-943,共12页
电弧现象是电气工程领域的基本问题,在该领域的研究包括电弧利用和电弧抑制2个方面,借助常规实验条件观测电弧等离子体物理状态属性较为困难,对其采用建模、计算、试验等分析手段,是优化电气结构、完善工艺过程等方面的重要依据。在综... 电弧现象是电气工程领域的基本问题,在该领域的研究包括电弧利用和电弧抑制2个方面,借助常规实验条件观测电弧等离子体物理状态属性较为困难,对其采用建模、计算、试验等分析手段,是优化电气结构、完善工艺过程等方面的重要依据。在综合已有电弧研究文献基础上,从建模机理及分类、数值计算方法、计算仿真软件、应用领域及测试系统等方面进行了全面的归纳与整合。首先可把电弧建模划分为外部电气特性和内部物理–化学特性两种方式,前者将电弧视为系统电路组成部分,通过数值拟合或经验值提取等方式确定模型参数后进行仿真,研究其外特性变化;后者是以流体力学、动力学、热力学、电磁学等理论为建模依据,进行电弧内部机理分析,反映了电弧流体的整体宏观属性和粒子细致微观属性的动态物理化学过程。其次,在数值计算方面,介绍了常规数值计算和数值实验的内容、区别和适用范围,对数值计算方法进行了分类汇总。从电弧模型的应用对象及应用角度,介绍了几种模型的计算过程及步骤。再次,汇总了目前常规使用的商业仿真软件,对其核心算法、特点及操作步骤进行了介绍,总结了各自适用范围和领域。最后,根据电弧的应用领域及产生电弧的背景参数,分析了所适用的建模理论依据及模型种类,并对不同应用场合下的电弧实验测试手段及平台的使用情况进行了综述。 展开更多
关键词 热等离子体 电弧机理 磁流体力学 物性参数 电路模型
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弹带熔敷扩散焊接技术研究 被引量:19
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作者 王克鸿 徐越兰 +3 位作者 王建平 余进 李鸿谋 赵有守 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 2002年第2期34-36,共3页
本研究探索了一种新的焊接工艺方法—熔敷扩散焊接方法 ,采用该方法在 30口径弹体上焊接纯铜弹带取得成功。试验表明 ,焊缝成型良好 ,在弹体不发生熔化的前提下实现了冶金结合。结合界面平直光洁 ,弹带中无泛铁现象发生 ,界面与弹带内... 本研究探索了一种新的焊接工艺方法—熔敷扩散焊接方法 ,采用该方法在 30口径弹体上焊接纯铜弹带取得成功。试验表明 ,焊缝成型良好 ,在弹体不发生熔化的前提下实现了冶金结合。结合界面平直光洁 ,弹带中无泛铁现象发生 ,界面与弹带内基本无缺陷 ,轴向剪切强度 ,切向扭转剪切强度均大于弹带自身强度。靶试试验表明 。 展开更多
关键词 熔敷扩散焊接 熔敷焊 铜弹带 感应加热 等离子弧 炮弹
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无熔深熔覆铜工艺 被引量:18
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作者 王克鸿 徐越兰 +1 位作者 余进 王建平 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期69-72,共4页
针对钢表面熔覆纯铜层 ,提出了感应、电弧、连续炉和熔铸“熔覆铜”的工艺方法。SEM组织分析检测表明 ,这些工艺实现了钢基体与熔覆层的无熔深焊接 ,熔覆层与钢基体有良好的冶金结合 ,界面无未焊合、夹渣等缺陷。力学性能试验表明 ,焊... 针对钢表面熔覆纯铜层 ,提出了感应、电弧、连续炉和熔铸“熔覆铜”的工艺方法。SEM组织分析检测表明 ,这些工艺实现了钢基体与熔覆层的无熔深焊接 ,熔覆层与钢基体有良好的冶金结合 ,界面无未焊合、夹渣等缺陷。力学性能试验表明 ,焊接界面结合剪切强度超过了熔覆层的强度。EDAX面、线扫描和成分分析表明 ,钢基体未发生熔化 ,基体与铜熔覆层的过渡区域宽仅几十微米 ,熔覆层中基体成分含量小于 1% 展开更多
关键词 熔覆焊 铜熔覆层 感应加热 等离子弧 电弧
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金属材料表面熔覆方法的研究进展 被引量:20
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作者 田丰 赵程 +1 位作者 彭红瑞 谢广文 《青岛化工学院学报(自然科学版)》 2002年第3期50-53,共4页
分析比较了在金属材料表面进行激光熔覆、感应熔覆、氩弧熔覆、氧 -乙炔火焰熔覆、等离子弧熔覆五种工艺方法的特点及熔覆层组织、结构特点 。
关键词 金属材料 表面熔覆方法 研究进展 激光熔覆 氢弧熔覆 等离子弧熔覆
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铜钢熔敷焊工艺方法分析研究 被引量:18
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作者 徐越兰 余进 +2 位作者 王建平 顾民乐 王克鸿 《南京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期401-405,共5页
提出熔敷焊接工艺方法 ,采用等离子弧、TIG电弧、高频感应、气保护连续炉、真空炉和模中熔铸工艺实现了熔敷焊接工艺方法。该方法具有效率高 ,基体金属不发生熔化、界面结合质量好、熔敷层厚度范围宽等特点。分析了实验熔敷焊接的几种... 提出熔敷焊接工艺方法 ,采用等离子弧、TIG电弧、高频感应、气保护连续炉、真空炉和模中熔铸工艺实现了熔敷焊接工艺方法。该方法具有效率高 ,基体金属不发生熔化、界面结合质量好、熔敷层厚度范围宽等特点。分析了实验熔敷焊接的几种具体的工艺方法 ,给出装置原理图。 展开更多
关键词 熔敷焊 等离子弧 铜钢合金 感应加热 连续炉 焊接工艺
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等离子弧金属表面熔覆处理的研究 被引量:23
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作者 赵程 田丰 侯俊英 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期3-5,共3页
在钢的表面上用Ni基合金粉末进行等离子弧熔覆处理。试验结果表明 ,用优化后的等离子弧熔覆工艺可以在钢的表面获得致密、结合牢固和零稀释率的熔覆层。因此等离子弧熔覆处理是一种有发展前途。
关键词 等离子弧 熔覆 表面活性 表面处理
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基于Navier-Stokes方程的新型喷射气流灭弧防雷间隙有效性论证 被引量:21
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作者 王巨丰 梁雪 +3 位作者 郭伟 吴东 李国栋 刘其良 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期28-34,共7页
新型喷射气流灭弧防雷间隙是一种有效避免输电线路遭受雷击的防雷技术手段。为进一步论证其性能,利用Navier-Stokes(N-S)方程对气流灭弧暂态过程进行了描述,说明灭弧气丸爆炸产生的高速气流使温度场、速度场发生了急速变化,进而破坏了... 新型喷射气流灭弧防雷间隙是一种有效避免输电线路遭受雷击的防雷技术手段。为进一步论证其性能,利用Navier-Stokes(N-S)方程对气流灭弧暂态过程进行了描述,说明灭弧气丸爆炸产生的高速气流使温度场、速度场发生了急速变化,进而破坏了电弧能量的稳态,达到迅速灭弧的效果。并利用ANSYS AUTODYN有限元分析软件对气流与电弧的作用过程进行了仿真分析,表明灭弧气丸爆炸后会产生带有巨大能量的高速气体并迅速充满整个空间,该高速气体与电弧快速、全面作用并迅速破坏等离子体动态平衡,使电弧在0.2 ms内极快速熄灭。通过试验对仿真结果进行了验证,证明新型灭弧防雷间隙在雷击发生初期就迅速动作,可快速灭弧,且灭弧后依然有强气流存在,保证了电弧不会重燃。研究表明,该新型灭弧防雷间隙对于输电线路防雷极其有效。 展开更多
关键词 喷射气流灭弧防雷间隙 NAVIER-STOKES方程 电弧 等离子体 爆炸气流 动态平衡 爆炸过程 电弧截断
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考虑电极烧蚀影响的低压断路器电弧运动特性仿真及实验 被引量:20
10
作者 马强 荣命哲 +3 位作者 Anthony B. Murphy 吴翊 徐铁军 孙志强 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2009年第3期115-120,共6页
以磁流体动力学(magnetic hydro-dynamics,MHD)为基础建立了考虑电极烧蚀影响的低压断路器中电弧的数学模型。在传统的质量、动量和能量守恒方程的基础上增加了铜蒸气的浓度方程,考虑电极烧蚀对气体的热动力学特性和传输系数的影响,针... 以磁流体动力学(magnetic hydro-dynamics,MHD)为基础建立了考虑电极烧蚀影响的低压断路器中电弧的数学模型。在传统的质量、动量和能量守恒方程的基础上增加了铜蒸气的浓度方程,考虑电极烧蚀对气体的热动力学特性和传输系数的影响,针对阴极和阳极不同特点分别建立了电弧与阴极和阳极作用的数学模型。利用基于有限容积法的商业软件对上述模型进行求解,得出灭弧室内温度场、浓度场、气流场、电位场的分布情况。仿真结果表明,由于电极附近"双漩涡"的存在,使得Cu蒸气浓度最大的区域位于弧根后方靠近电极的区域;考虑Cu蒸气影响时计算得到的电弧电压为比未考虑Cu蒸气影响时减小12.3%;考虑Cu蒸气影响所得到的电弧平均运动速度比未考虑Cu蒸气影响时减少21.3%。实验结果验证了仿真模型的合理性。 展开更多
关键词 电弧等离子体 磁流体动力学 电极烧蚀 电弧仿真
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热等离子体处理危险废物近零排放技术 被引量:21
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作者 杜长明 蔡晓伟 +2 位作者 余振棠 宋春莲 俞哲 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期2999-3012,共14页
固体废物污染(尤其是危险废物)是全球特别是我国当前面临的最为突出的环境问题之一,热等离子体处理技术可为这些废物的合理处置提供高效安全的解决方法。文中简要介绍了等离子体炬和等离子体工艺技术的分类、异同点以及现状,在此基础上... 固体废物污染(尤其是危险废物)是全球特别是我国当前面临的最为突出的环境问题之一,热等离子体处理技术可为这些废物的合理处置提供高效安全的解决方法。文中简要介绍了等离子体炬和等离子体工艺技术的分类、异同点以及现状,在此基础上,就热等离子体在医疗垃圾、电镀污泥、废石棉、废旧武器弹药、含氯废物、垃圾焚烧飞灰、电子废物和中低放射性固体废物等领域的研究展开了综述,包括典型工艺、机制原理及相关研究现状。最后,总结了热等离子体处理危险废物无害化、资源化的近零排放潜力,分析了存在的问题和可能的发展方向。可以预见热等离子体技术将是危险废物行业一个重要的发展趋势。 展开更多
关键词 热等离子体 电弧放电 危险废物 固体废物 近零排放技术
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高压电场中金属丝段的电爆现象 被引量:15
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作者 朱亮 罗仁昆 毕学松 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期2177-2180,共4页
金属丝电爆是制备超细粉的一种新方法,为了解决通常所采用金属丝与电极接触后通入大电流的电爆方法容易发生电极烧蚀这一问题,开发了高压电场中金属丝段与电极非接触电爆的设备。通过改变电极间距、金属丝长度和电场电压,进行了系列高... 金属丝电爆是制备超细粉的一种新方法,为了解决通常所采用金属丝与电极接触后通入大电流的电爆方法容易发生电极烧蚀这一问题,开发了高压电场中金属丝段与电极非接触电爆的设备。通过改变电极间距、金属丝长度和电场电压,进行了系列高压电场中金属丝段电爆试验。结果表明,在高压电场中电极与金属丝的端部发生气体放电,将大电流导入金属丝段而发生电爆,可减轻对电极的烧蚀;由于金属丝段的端部与电极之间的等离子体旁路作用,金属丝段的端部残留0.5~2 mm长的金属丝不发生电爆;适于制备粉末的电场中金属丝段电爆的工艺条件是,电场电压为6、7、8 kV时,与之匹配的电极间距与丝长之差的范围分别为:1.8~4 mm、2.2~5.8 mm和3.2~8 mm。 展开更多
关键词 电爆 超细粉 丝段 等离子弧 气体放电 电极间距
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热处理对等离子弧增材制造Inconel 718合金组织与性能的影响 被引量:16
13
作者 吕耀辉 王凯博 +2 位作者 刘玉欣 林建军 徐滨士 《金属功能材料》 CAS 2018年第5期46-51,共6页
采用等离子弧增材制造的方法成形了Inconel 718合金,并采用标准热处理制度对其进行后处理,利用光学显微镜、扫描电子显微镜、能谱分析、透射电镜、显微硬度等表征方法,对比了热处理前后成形件的组织和力学性能。结果表明,成形试样组织... 采用等离子弧增材制造的方法成形了Inconel 718合金,并采用标准热处理制度对其进行后处理,利用光学显微镜、扫描电子显微镜、能谱分析、透射电镜、显微硬度等表征方法,对比了热处理前后成形件的组织和力学性能。结果表明,成形试样组织为典型的自底部向顶部外延生长的柱状枝晶,枝晶间析出大量Laves相及少量MC碳化物;热处理后组织形态没有明显变化,但Laves相数量大大减少,残余Laves相尺寸减小,析出了γ″强化相,有效提高了试样的显微硬度。 展开更多
关键词 热处理 等离子弧 增材制造 INCONEL 718合金 组织与性能
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金属板件等离子体弧柔性成形技术基础研究 被引量:10
14
作者 徐文骥 王涛 +2 位作者 方建成 刘非 周锦进 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期810-814,共5页
水火弯曲成形和激光弯曲成形均存在一定局限性,而等离子体弧具有平均能量转换效率高、成本较低等优点.介绍了等离子体弧柔性成形技术的原理和特点,分析了等离子体弧柔性成形的两种基本形式——正向弯曲和反向弯曲的成形机理和控制方法,... 水火弯曲成形和激光弯曲成形均存在一定局限性,而等离子体弧具有平均能量转换效率高、成本较低等优点.介绍了等离子体弧柔性成形技术的原理和特点,分析了等离子体弧柔性成形的两种基本形式——正向弯曲和反向弯曲的成形机理和控制方法,研究了弧功率、扫描速度、冷却方式、板件材质与几何尺寸等因素对柔性成形的影响规律.研究结果表明:等离子体弧可在工业环境下完成对不同厚度板材的柔性成形.在一定范围内,弯曲速度随着弧功率的提高而提高;可运用小的扫描速度提高弯曲速度,而采用大的扫描速度实现较为精确的弯曲变形;随着板件厚度的增加,相同扫描次数下的弯曲角度明显减小;导热系数大的材质,因难以在材料内部形成大的温度梯度而难以产生弯曲变形.上述研究对合理选择成形参数具有一定的指导意义. 展开更多
关键词 柔性成形 板件 激光弯曲成形 反向弯曲 扫描次数 弯曲角度 弯曲变形 等离子体 平均能量 温度梯度
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工艺参数对焊接等离子弧的影响 被引量:11
15
作者 雷玉成 郑惠锦 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期73-76,共4页
基于双区域近似电弧模型的理论 ,研究了工艺参数对喷嘴出口处转移型焊接等离子弧的影响 ,给出了喷嘴出口处等离子电弧的伏安特性曲线 ,以及在不同离子气流速和喷嘴直径的条件下 ,电弧的弧柱半径及压力随焊接电流变化的曲线 ,并与试验数... 基于双区域近似电弧模型的理论 ,研究了工艺参数对喷嘴出口处转移型焊接等离子弧的影响 ,给出了喷嘴出口处等离子电弧的伏安特性曲线 ,以及在不同离子气流速和喷嘴直径的条件下 ,电弧的弧柱半径及压力随焊接电流变化的曲线 ,并与试验数据进行比较 ,比较结果表明 ,计算结果与试验测量值吻合良好。同时还分析了喷嘴直径、钨极内缩量以及离子气流速在相应的焊接电流下对等离子弧功率与电弧力的影响 ,并绘出曲线图。研究结果表明 ,对于中小电流规范下的转移型等离子弧焊接 ,采用双区域近似电弧模型来研究喷嘴出口处等离子弧的特性是可行的 ,该模型计算简便 。 展开更多
关键词 工艺参数 等离子弧 双区域近似电弧模型 焊接
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等离子喷涂碳化钨涂层组织与喷涂条件的关系 被引量:11
16
作者 高阳 史雅琴 +1 位作者 辛刚 彭存达 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2002年第8期25-27,31,共4页
将粉末直接输送到低功率等离子喷枪内部阴、阳极之间 ,携带粉末气体转变为等离子体 ,在输入电功能 1 8~ 5 6kW条件下 ,利用低能等离子喷涂铸造 -破碎和烧结 -破碎两种碳化钨粉末 ,沉积效率达到 80 %以上。同时研究了Ar N2 、Ar H2 两... 将粉末直接输送到低功率等离子喷枪内部阴、阳极之间 ,携带粉末气体转变为等离子体 ,在输入电功能 1 8~ 5 6kW条件下 ,利用低能等离子喷涂铸造 -破碎和烧结 -破碎两种碳化钨粉末 ,沉积效率达到 80 %以上。同时研究了Ar N2 、Ar H2 两种不同等离子气体和不同等离子工艺参数下涂层的组织结构、硬度等的关系。Ar N2 气体成分对涂层硬度的影响大于Ar H2 。 展开更多
关键词 涂层组织 喷涂条件 等离子喷涂 碳化钨 电弧电压 粉末
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BASIC THEORY AND METHOD OF WELDING ARC SPECTRAL INFORMATION 被引量:9
17
作者 Li Junyue Li Zhiyong +1 位作者 Li Huan Xue Haitao School of Material Science and Engineering,Tianjin University,Tianjin 300072, China 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2004年第2期315-318,共4页
Arc spectral information is a rising information source which can solve manyproblems that can not be done with arc electric information and other arc information. It is ofimportant significance to develop automatic co... Arc spectral information is a rising information source which can solve manyproblems that can not be done with arc electric information and other arc information. It is ofimportant significance to develop automatic control technique of welding process. The basic theoryand methods on it play an important role in expounding and applying arc spectral information. Usingconcerned equation in plasma physics and spectrum theory, a system of equations including 12equations which serve as basic theory of arc spectral information is set up. Through analyzing ofthe 12 equations, a basic view that arc spectral information is the reflection of arc state andstate variation, and is the most abundant information resource reflecting welding arc process isdrawn. Furthermore, based on the basic theory, the basic methods of test and control of arc spectralinformation and points out some applications of it are discussesed. 展开更多
关键词 arc plasma Spectral information WELDING Automatic controls
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空气等离子体射流动态过程分析 被引量:13
18
作者 何立明 祁文涛 +3 位作者 赵兵兵 陈高成 白晓峰 段昆仑 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期2030-2036,共7页
等离子体射流可有效提高点火效率,为探究等离子体射流动态特性,建立了实验测量系统,利用高速CCD相机记录等离子体点火射流发展过程,分析了等离子体射流击穿过程和稳定工作过程特性。实验结果表明:设计的等离子体点火器电弧击穿时间为65... 等离子体射流可有效提高点火效率,为探究等离子体射流动态特性,建立了实验测量系统,利用高速CCD相机记录等离子体点火射流发展过程,分析了等离子体射流击穿过程和稳定工作过程特性。实验结果表明:设计的等离子体点火器电弧击穿时间为65 ns,击穿电压为9.2 k V,射流形成时间约为1.62 ms;大尺度分流周期约为1.1~1.8 ms,小尺度分流周期约为0.1~0.16 ms;电极温度的均匀度、高速旋流气体对电弧发展以及射流形成过程中的强烈脉动有不同程度的影响;射流核不存在稳定区域。 展开更多
关键词 等离子体 点火器 电弧 分流 放电特性 射流特性
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真空开关电弧等离子体几何形态研究 被引量:11
19
作者 董华军 刘政君 +1 位作者 郭英杰 郭方准 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期1408-1413,共6页
真空断路器逐渐向高压等级发展,工作时电弧等离子体几何形态直接影响其开断能力。本文利用高速摄像机对电弧几何形态进行数字采集,运用图像去噪声、选取合适阈值方法,对采集数据进行形态学操作,得到内部高能等离子体及电弧外部轮廓的时... 真空断路器逐渐向高压等级发展,工作时电弧等离子体几何形态直接影响其开断能力。本文利用高速摄像机对电弧几何形态进行数字采集,运用图像去噪声、选取合适阈值方法,对采集数据进行形态学操作,得到内部高能等离子体及电弧外部轮廓的时间-面积变化曲线。从引弧、稳定燃弧、熄弧及弧后介质恢复四个角度,对不同阶段的电弧面积变化做出定量分析,并探究电弧熄弧阶段电弧内外面积差变化。实验表明,通过分析不同阶段的等离子体形态变化,能够找到电弧平稳燃弧及弧后介质恢复的关键点,为高压等级真空断路器研发设计及后期电弧形态诊断提供进一步参考。 展开更多
关键词 电弧等离子体 几何形态 熄弧 介质恢复
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脉冲溅射电源设计 被引量:8
20
作者 陈文光 《新技术新工艺》 北大核心 2004年第4期9-11,共3页
提出了一种用于等离子体喷溅的新型脉冲电源,从理论上分析了主电路适合等离子体溅射的原因,给出了电源的原理框图,同时也分析了溅射镀膜时发生的异常放电现象,并提出了一种全新的灭弧电路原理,实际应用证明,该电路稳定性高,工作可靠,镀... 提出了一种用于等离子体喷溅的新型脉冲电源,从理论上分析了主电路适合等离子体溅射的原因,给出了电源的原理框图,同时也分析了溅射镀膜时发生的异常放电现象,并提出了一种全新的灭弧电路原理,实际应用证明,该电路稳定性高,工作可靠,镀膜质量好,有较大的推广价值。 展开更多
关键词 等离子体 脉冲电源 灭弧 溅射 阻抗 镀膜
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