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制作平面全息光栅的离轴抛物镜/洛埃镜干涉系统
被引量：
12
1
作者
巴音贺希格
邵先秀
+2 位作者
崔继承
李文昊
齐向东
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期56-63,共8页
设计和制作具有较高波前平面度和结构稳定的干涉曝光系统是研制高质量平面全息光栅的首要条件。对离轴抛物镜/洛埃镜系统、单透镜/洛埃镜系统、球面反射镜/洛埃镜系统和双分离透镜/洛埃镜系统等4种单反射镜干涉曝光系统产生的干涉条纹...
设计和制作具有较高波前平面度和结构稳定的干涉曝光系统是研制高质量平面全息光栅的首要条件。对离轴抛物镜/洛埃镜系统、单透镜/洛埃镜系统、球面反射镜/洛埃镜系统和双分离透镜/洛埃镜系统等4种单反射镜干涉曝光系统产生的干涉条纹直线度进行了光线追迹。在干涉场中放置标准光栅,使用于曝光的两束平行光入射到光栅上,从而衍射光相干叠加产生莫尔条纹;并对上述4个系统产生的莫尔条纹做了模拟。利用Zernike多项式对莫尔条纹进行拟合得到干涉曝光系统的波前像差,比较了4个系统的差异。结果表明,采用离轴抛物镜/洛埃镜系统制作中、小口径平面全息光栅是最为合适的。在此基础上,研制了用于制作最大尺寸为110 mm×110 mm,刻线密度〉1 200 l/mm的平面全息光栅的离轴抛物镜/洛埃镜干涉曝光系统,在洛埃镜和离轴抛物镜面形精度为λ/8（λ=632.8 nm）的前提下,平面全息光栅的衍射波前像差为0.239 6λ（λ=550 nm）。此系统经过消除外界扰动和精细装调后,可用于制作衍射波前像差达λ/6~λ/7（λ=550 nm）以上的平面全息光栅。
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关键词
平面全息光栅
离轴抛物镜
洛埃镜
干涉系统
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职称材料
粒子场全息的自由度分析
被引量：
1
2
作者
曹娜
王群书
+2 位作者
曹锦云
曹亮
陈书海
《光学技术》
CAS
CSCD
2001年第2期123-125,共3页
根据信息论的基本原理 ,从平面全息系统成像全过程的一般方程出发 ,利用回转椭球波函数以及平面全息系统的自由度表达式 ,对在实际工作中粒子场全息测量可能遇到的几种实验记录系统进行了分析计算 ,得到了相应的系统成像自由度的大小。...
根据信息论的基本原理 ,从平面全息系统成像全过程的一般方程出发 ,利用回转椭球波函数以及平面全息系统的自由度表达式 ,对在实际工作中粒子场全息测量可能遇到的几种实验记录系统进行了分析计算 ,得到了相应的系统成像自由度的大小。同时根据信息匹配的原则 ,给出了粒子场所能成像的物场范围。比较了各种构型全息系统的信息量的大小 ,并进行了简要讨论。
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关键词
平面全息系统
回转椭球波函数
系统成像自由度
粒子场全息
原文传递
题名
制作平面全息光栅的离轴抛物镜/洛埃镜干涉系统
被引量：
12
1
作者
巴音贺希格
邵先秀
崔继承
李文昊
齐向东
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院研究生院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期56-63,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.60478043)
"十一五"国家科技支撑计划重大项目(No.2006BAK03A02)
+5 种基金
国家创新方法工作专项项目(No.2008IM040700)
国家重大科研装备研制项目(No.ZBYZ2008-1)
中国科学院重大科研装备研制项目(No.YZ200804)
吉林省科技发展计划资助项目(No.20070523
No.20086013)
长春市应用技术研究计划项目(No.08YJ07)
文摘
设计和制作具有较高波前平面度和结构稳定的干涉曝光系统是研制高质量平面全息光栅的首要条件。对离轴抛物镜/洛埃镜系统、单透镜/洛埃镜系统、球面反射镜/洛埃镜系统和双分离透镜/洛埃镜系统等4种单反射镜干涉曝光系统产生的干涉条纹直线度进行了光线追迹。在干涉场中放置标准光栅,使用于曝光的两束平行光入射到光栅上,从而衍射光相干叠加产生莫尔条纹;并对上述4个系统产生的莫尔条纹做了模拟。利用Zernike多项式对莫尔条纹进行拟合得到干涉曝光系统的波前像差,比较了4个系统的差异。结果表明,采用离轴抛物镜/洛埃镜系统制作中、小口径平面全息光栅是最为合适的。在此基础上,研制了用于制作最大尺寸为110 mm×110 mm,刻线密度〉1 200 l/mm的平面全息光栅的离轴抛物镜/洛埃镜干涉曝光系统,在洛埃镜和离轴抛物镜面形精度为λ/8（λ=632.8 nm）的前提下,平面全息光栅的衍射波前像差为0.239 6λ（λ=550 nm）。此系统经过消除外界扰动和精细装调后,可用于制作衍射波前像差达λ/6~λ/7（λ=550 nm）以上的平面全息光栅。
关键词
平面全息光栅
离轴抛物镜
洛埃镜
干涉系统
Keywords
plane
holographic
grating
off-axis
parabolic
mirror
Lloyd
mirror
interference
system
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
O438.1 [机械工程—仪器科学与技术]
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职称材料
题名
粒子场全息的自由度分析
被引量：
1
2
作者
曹娜
王群书
曹锦云
曹亮
陈书海
机构
西北核技术研究所
出处
《光学技术》
CAS
CSCD
2001年第2期123-125,共3页
文摘
根据信息论的基本原理 ,从平面全息系统成像全过程的一般方程出发 ,利用回转椭球波函数以及平面全息系统的自由度表达式 ,对在实际工作中粒子场全息测量可能遇到的几种实验记录系统进行了分析计算 ,得到了相应的系统成像自由度的大小。同时根据信息匹配的原则 ,给出了粒子场所能成像的物场范围。比较了各种构型全息系统的信息量的大小 ,并进行了简要讨论。
关键词
平面全息系统
回转椭球波函数
系统成像自由度
粒子场全息
Keywords
plane
holographic
system
prolate
spheroidal
wave
function
free
degree
and
the
range
of
object
imaging
分类号
TB877 [一般工业技术—摄影技术]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
制作平面全息光栅的离轴抛物镜/洛埃镜干涉系统
巴音贺希格
邵先秀
崔继承
李文昊
齐向东
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
12
下载PDF
职称材料
2
粒子场全息的自由度分析
曹娜
王群书
曹锦云
曹亮
陈书海
《光学技术》
CAS
CSCD
2001
1
原文传递
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
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