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压电复合薄膜的SAW器件杂波抑制及仿真方法
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作者 王吉芳 陈平静 +6 位作者 曹稚颖 潘虹芝 董加和 肖强 吴浩东 陈正林 马晋毅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期447-452,457,共7页
针对任意复杂膜系结构压电复合薄膜声表面波(SAW)器件横向杂波抑制及精确快速仿真方法,从数学上严格分析推导了有限长结构分层级联理论和色散2D-COM模型,可精确快速地计算压电复合薄膜SAW器件传播方向及孔径方向结构对杂波模式的影响,... 针对任意复杂膜系结构压电复合薄膜声表面波(SAW)器件横向杂波抑制及精确快速仿真方法,从数学上严格分析推导了有限长结构分层级联理论和色散2D-COM模型,可精确快速地计算压电复合薄膜SAW器件传播方向及孔径方向结构对杂波模式的影响,并通过色散2D-COM模型对SAW器件杂波抑制进行综合分析。通过对41°Y-X LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si_poly/Si(111)复合衬底SAW谐振器的优化设计与研制,结果表明,设计优化结果与实验结果吻合较好,验证了该方法的有效性和可行性。 展开更多
关键词 压电复合薄膜 SAW器件 杂波抑制 分层级联 2D-COM模型
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