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同步辐射中双压电片反射镜的研究现状
被引量:
3
1
作者
张瑶
汤善治
+2 位作者
李明
王立超
高俊祥
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第1期1-12,共12页
反射镜是同步辐射光束线中应用广泛的光学元件之一,双压电片反射镜由于具有结构简单、面形能动以及自适应可调等优点,逐渐引起同步辐射界的重视.本文综述了同步辐射中双压电片反射镜的研究现状.主要讨论了双压电片反射镜的工作原理和研...
反射镜是同步辐射光束线中应用广泛的光学元件之一,双压电片反射镜由于具有结构简单、面形能动以及自适应可调等优点,逐渐引起同步辐射界的重视.本文综述了同步辐射中双压电片反射镜的研究现状.主要讨论了双压电片反射镜的工作原理和研究概况,包括在几个大型同步辐射装置中的结构特点、制备技术及面形校正结果等;简要介绍了双压电片反射镜面形校正时所采用的反射波前探测技术和反馈控制算法;最后总结了其发展中存在的关键问题,并展望了其未来的发展方向.
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关键词
同步辐射
自适应
双压电片反射镜
X射线
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职称材料
双压电片反射镜面形精度补偿的仿真分析
被引量:
1
2
作者
李桐
王楠
+4 位作者
祝万钱
徐中民
金利民
董晓浩
薛松
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第7期283-287,共5页
针对硬X射线自由电子激光(HXFEL)对偏移镜组提出的初步要求(压弯前、夹持后子午面形误差小于0.5μrad),传统机械压弯难以满足且实时修正,因此采用压电片侧放式双压电片反射镜(PBM)结构。反射镜水平放置,通过奇异值分解(SVD)法计算修正...
针对硬X射线自由电子激光(HXFEL)对偏移镜组提出的初步要求(压弯前、夹持后子午面形误差小于0.5μrad),传统机械压弯难以满足且实时修正,因此采用压电片侧放式双压电片反射镜(PBM)结构。反射镜水平放置,通过奇异值分解(SVD)法计算修正自重所引起的低频面形误差所需的电压值,并辅以有限元分析法验证方案的可行性;针对不同的压弯面形进行求解分析,然后加入热分析法解决由局部辐射引起的面形突变。仿真结果表明,在自重的情况下,反射镜的初始斜率误差为242.43 nrad(均方根,RMS),在压电压弯修正后其斜率误差可以大幅降低至7.743 nrad(RMS);对目标面形进行调节,实际压弯面形与目标面形间的斜率误差仅为0.0024 nrad(RMS)。
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关键词
表面光学
双压电片反射镜
有限元分析
自适应
奇异值分解
原文传递
用于同步辐射的压电变形镜控制策略数值模拟
3
作者
王梓齐
樊凯
+1 位作者
张军剑
冯志华
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期23-29,共7页
为了提高同步辐射中压电变形镜的控制自由度和面形精度,解决压电致动单元数量过多引起的解算电压受噪声影响异常波动(过拟合)问题,建立了变形镜模型并进行仿真控制。通过有限元仿真获得36组压电响应方程,构建面形与电压的数学模型;为补...
为了提高同步辐射中压电变形镜的控制自由度和面形精度,解决压电致动单元数量过多引起的解算电压受噪声影响异常波动(过拟合)问题,建立了变形镜模型并进行仿真控制。通过有限元仿真获得36组压电响应方程,构建面形与电压的数学模型;为补偿重力造成的镜面畸变,以获得的椭圆面形分析并比较了使用最小二乘法和Tikhonov正则化两种电压解算方案的控制效果。结果表明:采用Tikhonov正则化算法反演后,面形控制误差相比最小二乘法降低了21.7%,相邻极板间电压波动极大值从1.019 kV下降为0.174 kV,反演结果符合工程实际要求;系统对测试噪声具有鲁棒性,相比最小二乘法有更加优越的应用价值。
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关键词
同步辐射光学仪器
压电变形镜
正则化算法
TIKHONOV正则化
反问题求解
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职称材料
题名
同步辐射中双压电片反射镜的研究现状
被引量:
3
1
作者
张瑶
汤善治
李明
王立超
高俊祥
机构
中国科学院高能物理研究所
中国科学院大学物理学院
北京纵横机电技术开发公司
北京科技大学
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第1期1-12,共12页
基金
国家自然科学基金青年科学基金(批准号:11005123)资助的课题~~
文摘
反射镜是同步辐射光束线中应用广泛的光学元件之一,双压电片反射镜由于具有结构简单、面形能动以及自适应可调等优点,逐渐引起同步辐射界的重视.本文综述了同步辐射中双压电片反射镜的研究现状.主要讨论了双压电片反射镜的工作原理和研究概况,包括在几个大型同步辐射装置中的结构特点、制备技术及面形校正结果等;简要介绍了双压电片反射镜面形校正时所采用的反射波前探测技术和反馈控制算法;最后总结了其发展中存在的关键问题,并展望了其未来的发展方向.
关键词
同步辐射
自适应
双压电片反射镜
X射线
Keywords
synchrotron
radiation
adaptive
piezoelectric
bimorph
mirror
X-ray
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
双压电片反射镜面形精度补偿的仿真分析
被引量:
1
2
作者
李桐
王楠
祝万钱
徐中民
金利民
董晓浩
薛松
机构
中国科学院上海应用物理研究所
中国科学院大学
中国科学院上海高等研究院
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第7期283-287,共5页
基金
国家自然科学基金青年科学基金(11805262)。
文摘
针对硬X射线自由电子激光(HXFEL)对偏移镜组提出的初步要求(压弯前、夹持后子午面形误差小于0.5μrad),传统机械压弯难以满足且实时修正,因此采用压电片侧放式双压电片反射镜(PBM)结构。反射镜水平放置,通过奇异值分解(SVD)法计算修正自重所引起的低频面形误差所需的电压值,并辅以有限元分析法验证方案的可行性;针对不同的压弯面形进行求解分析,然后加入热分析法解决由局部辐射引起的面形突变。仿真结果表明,在自重的情况下,反射镜的初始斜率误差为242.43 nrad(均方根,RMS),在压电压弯修正后其斜率误差可以大幅降低至7.743 nrad(RMS);对目标面形进行调节,实际压弯面形与目标面形间的斜率误差仅为0.0024 nrad(RMS)。
关键词
表面光学
双压电片反射镜
有限元分析
自适应
奇异值分解
Keywords
optics
at
surfaces
piezoelectric
bimorph
mirror
finite
element
analysis
adaptation
singular
value
decomposition
分类号
TH744 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
用于同步辐射的压电变形镜控制策略数值模拟
3
作者
王梓齐
樊凯
张军剑
冯志华
机构
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
中国科学技术大学精密科学仪器安徽普通高校重点实验室
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期23-29,共7页
基金
国家自然基金委海外青年学者基金(81728008)
中国科学技术大学同步辐射联合基金。
文摘
为了提高同步辐射中压电变形镜的控制自由度和面形精度,解决压电致动单元数量过多引起的解算电压受噪声影响异常波动(过拟合)问题,建立了变形镜模型并进行仿真控制。通过有限元仿真获得36组压电响应方程,构建面形与电压的数学模型;为补偿重力造成的镜面畸变,以获得的椭圆面形分析并比较了使用最小二乘法和Tikhonov正则化两种电压解算方案的控制效果。结果表明:采用Tikhonov正则化算法反演后,面形控制误差相比最小二乘法降低了21.7%,相邻极板间电压波动极大值从1.019 kV下降为0.174 kV,反演结果符合工程实际要求;系统对测试噪声具有鲁棒性,相比最小二乘法有更加优越的应用价值。
关键词
同步辐射光学仪器
压电变形镜
正则化算法
TIKHONOV正则化
反问题求解
Keywords
synchrotron
radiation
optical
instruments
piezoelectric
bimorph
mirror
regularization
algorithm
Tikhonov
regularization
inverse
problem
solving
分类号
TH744 [机械工程—光学工程]
O434.19 [机械工程—仪器科学与技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
同步辐射中双压电片反射镜的研究现状
张瑶
汤善治
李明
王立超
高俊祥
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
3
下载PDF
职称材料
2
双压电片反射镜面形精度补偿的仿真分析
李桐
王楠
祝万钱
徐中民
金利民
董晓浩
薛松
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
1
原文传递
3
用于同步辐射的压电变形镜控制策略数值模拟
王梓齐
樊凯
张军剑
冯志华
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2022
0
下载PDF
职称材料
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