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压电驱动串级菱形位移放大微定位平台的设计 被引量:8
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作者 徐方超 魏恒志 +2 位作者 孙凤 陆鹤 李强 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期52-61,共10页
针对二维微定位平台普遍具有体积大、行程小的问题,提出一种串级菱形位移放大机构,设计了嵌套式压电驱动二维微定位平台。根据平台运动原理建立了平台的力学模型并进行放大比分析;对平台进行静态特性分析,研究平台所受驱动力与输出位移... 针对二维微定位平台普遍具有体积大、行程小的问题,提出一种串级菱形位移放大机构,设计了嵌套式压电驱动二维微定位平台。根据平台运动原理建立了平台的力学模型并进行放大比分析;对平台进行静态特性分析,研究平台所受驱动力与输出位移的关系并进行理论与仿真对比,测试平台的输出位移特性;对平台进行动态特性分析,建立平台的动力学模型,研究平台闭环阶跃响应进行仿真与实验对比;对平台进行闭环最小位移分辨率、重复定位精度和平台运动偏转误差分析。实验结果表明,该压电驱动串级菱形位移放大微定位平台具有大行程、体积小、精度高的特点。 展开更多
关键词 微定位平台 串级菱形位移放大机构 大行程 压电驱动
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A Bionic Stick–Slip Piezo-Driven Positioning Platform Designed by Imitating the Structure and Movement of the Crab
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作者 Zhixin Yang Xuan Li +6 位作者 Jinyan Tang Hu Huang Hongwei Zhao Yiming Cheng Shiwei Liu Chunyu Li Maoji Xiong 《Journal of Bionic Engineering》 SCIE EI CSCD 2023年第6期2590-2600,共11页
By imitating the body structure and movement mode of the crab in nature,a novel stick–slip piezo-driven positioning platform was proposed by employing the bionic flexible hinge mechanism with a symmetrical structure ... By imitating the body structure and movement mode of the crab in nature,a novel stick–slip piezo-driven positioning platform was proposed by employing the bionic flexible hinge mechanism with a symmetrical structure and two piezoelectric stacks.The structural design and bionic motion principle were discussed,followed by analyzing the feasibility,safety,and output magnification ratio of the bionic flexible hinge mechanism via the stiffness matrix method and finite element simulation.To investigate the output performances of the positioning platform,a prototype was fabricated and an experiment system was established.Stepping characteristics of the positioning platform under various driving voltages were characterized,and the results indicated that the positioning platform could move steadily under various driving voltages.Within 1 s,the differences between the forward and reverse output displacement were less than 3%under different driving frequencies,proving the high bidirectional motion symmetry.The maximum driving speed of 5.44 mm/s was obtained under the driving voltage of 120 V and driving frequency of 5 Hz.In addition,the carrying load capacity of the positioning platform was tested by standard weights,and the results showed that when the carrying load reached 10 N,the driving speed could still reach 60μm/s. 展开更多
关键词 piezo-driven Stick–slip Bionic design Positioning platform Bidirectional motion symmetry
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五自由度纳米级定位工作台的设计研究 被引量:5
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作者 王勇 刘志刚 +1 位作者 薄锋 朱健强 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第15期1317-1321,共5页
提出一种新型的五自由度精密定位平台的工作原理及其设计方法。工作台采用柔性导向机构实现平移及转动功能,采用压电陶瓷作为驱动元件,外置纳米级电容传感器作为位移量测量反馈元件,采用数字PID控制方法,可以实现纳米级精度的定位。给... 提出一种新型的五自由度精密定位平台的工作原理及其设计方法。工作台采用柔性导向机构实现平移及转动功能,采用压电陶瓷作为驱动元件,外置纳米级电容传感器作为位移量测量反馈元件,采用数字PID控制方法,可以实现纳米级精度的定位。给出了多种形式柔性导向机构刚度计算公式及设计实例。 展开更多
关键词 精密定位 柔性机构 压电/电致伸缩驱动 五自由度
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五自由度纳米级定位精度机构的研制 被引量:2
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作者 王勇 刘志刚 +1 位作者 薄锋 朱健强 《机械设计与制造》 北大核心 2005年第2期90-91,共2页
提出一种新型的五自由度精密定位平台的工作原理及其设计方法。工作台采用压电陶瓷作为驱动元件,柔性导向机构实现平移及转动功能。整个工作台可由整块金属材料通过线切割加工制成,实现一体化加工,而且结构紧凑。并给出导向机构刚度计... 提出一种新型的五自由度精密定位平台的工作原理及其设计方法。工作台采用压电陶瓷作为驱动元件,柔性导向机构实现平移及转动功能。整个工作台可由整块金属材料通过线切割加工制成,实现一体化加工,而且结构紧凑。并给出导向机构刚度计算公式及设计实例。 展开更多
关键词 精密定位 柔性机构 压电/电致伸缩驱动
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压电驱动精密流量阀动态特性仿真分析 被引量:3
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作者 张蕊华 陈冠锋 《机械设计与制造》 北大核心 2015年第2期185-188,共4页
以压电驱动精密流量阀的阀芯运动机构为研究对象,建立动力学模型,运用MATLAB以伯德图形式表征该机构的频率响应特性,并通过ANSYS对阀芯运动机构的模态分析得到阀芯运动机构的固有频率和振型,在模态分析基础上进行谐响应分析,得出该机构... 以压电驱动精密流量阀的阀芯运动机构为研究对象,建立动力学模型,运用MATLAB以伯德图形式表征该机构的频率响应特性,并通过ANSYS对阀芯运动机构的模态分析得到阀芯运动机构的固有频率和振型,在模态分析基础上进行谐响应分析,得出该机构的幅频特性曲线,结果发现发生谐振峰值的频率与前述MATLAB频率分析幅值峰值频率及模态分析得出的固有频率结果相近,验证了MATLAB动力学模型的正确性,同时有限元动力学特性分析为结构改进及优化提供了理论依据。 展开更多
关键词 压电驱动精密流量阀 频率响应特性 模态分析 谐响应分析
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压电驱动精密流量阀阀芯结构优化设计 被引量:3
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作者 张蕊华 吴启帆 +2 位作者 易健 肖俊 程玉晨 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期97-101,107,共6页
以压电驱动精密流量阀的阀芯及其周围流场为研究对象,通过建立有限元模型,应用Workbench平台对阀芯及其周围流场进行流固耦合分析。首先通过Fluid Flow(CFX)模块对流体域进行流场分析,得到阀稳态时的内部流体压力场的分布规律;再将流体... 以压电驱动精密流量阀的阀芯及其周围流场为研究对象,通过建立有限元模型,应用Workbench平台对阀芯及其周围流场进行流固耦合分析。首先通过Fluid Flow(CFX)模块对流体域进行流场分析,得到阀稳态时的内部流体压力场的分布规律;再将流体分析结果导入Static Structural(Ansys)模块,对阀芯固体域进行静力学分析,得到流固耦合作用下阀芯的静变形云图及Von Mises应力云图。根据流固耦合分析结果,对阀芯进行结构参数优化。优化后,在保证阀芯工作可靠性的条件下,阀芯体积减少了13.5%,实现了阀芯的轻量化。 展开更多
关键词 压电驱动精密流量阀 阀芯 流固耦合 参数优化 轻量化
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大行程高分辨率微定位机构的设计分析
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作者 王勇 刘志刚 +1 位作者 薄锋 朱健强 《现代制造工程》 CSCD 2005年第1期94-96,共3页
压电驱动器的位移输出能力有限,通常借助于柔性机构对其位移量进行放大。提出一种柔性八杆放大机构,并对 其进行有限元分析和理论计算。为了提高放大率,提出两级串连式机构。机构整体具有结构紧凑、放大效率较高的优点。
关键词 精密定位 柔性放大机构 压电/电致伸缩驱动
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