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940 nm垂直腔面发射激光器单管器件的设计与制备
被引量:
1
1
作者
潘智鹏
李伟
+4 位作者
吕家纲
聂语葳
仲莉
刘素平
马骁宇
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第11期221-230,共10页
计算了InGaAs/AlGaAs量子阱的激射波长与阱垒厚度的关系,并通过Rsoft软件计算了不同温度下的材料增益特性.计算并分析了渐变层厚度对分布布拉格反射镜(distributed Bragg reflectors,DBRs)势垒尖峰及反射谱的影响,通过传输矩阵理论得到P...
计算了InGaAs/AlGaAs量子阱的激射波长与阱垒厚度的关系,并通过Rsoft软件计算了不同温度下的材料增益特性.计算并分析了渐变层厚度对分布布拉格反射镜(distributed Bragg reflectors,DBRs)势垒尖峰及反射谱的影响,通过传输矩阵理论得到P-DBR和N-DBR的反射谱和相位谱.模拟了垂直腔面发射激光器(vertical surface emitting lasers,VCSEL)结构整体的光场分布,驻波波峰与量子阱位置符合,基于有限元分析模拟了氧化层对电流限制的影响.通过计算光子晶体垂直腔面发射激光器(photonic crystal vertical cavity surface emitting lasers,PC-VCSEL)中不同的模式分布及其品质因子Q,证明该结构可以有效地实现基横模输出.通过光刻、刻蚀、沉积、剥离等半导体工艺成功制备出氧化孔径为22μm的VCSEL和PC-VCSEL,VCSEL的阈值电流为5.2 mA,斜率效率0.67 mW/mA,在不同电流光谱测试中均是明显的多横模输出;PCVCSEL的阈值电流为6.5 mA,基横模输出功率超过2.5 mW,不同电流下的边模抑制比超过25 dB,光谱宽度小于0.2 nm.
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关键词
垂直腔面发射激光器
光子晶体垂直腔面发射激光器
基横模
大功率
下载PDF
职称材料
题名
940 nm垂直腔面发射激光器单管器件的设计与制备
被引量:
1
1
作者
潘智鹏
李伟
吕家纲
聂语葳
仲莉
刘素平
马骁宇
机构
中国科学院半导体研究所
中国科学院大学材料科学与光电技术学院
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第11期221-230,共10页
基金
国家自然科学基金(批准号:62174154)资助的课题.
文摘
计算了InGaAs/AlGaAs量子阱的激射波长与阱垒厚度的关系,并通过Rsoft软件计算了不同温度下的材料增益特性.计算并分析了渐变层厚度对分布布拉格反射镜(distributed Bragg reflectors,DBRs)势垒尖峰及反射谱的影响,通过传输矩阵理论得到P-DBR和N-DBR的反射谱和相位谱.模拟了垂直腔面发射激光器(vertical surface emitting lasers,VCSEL)结构整体的光场分布,驻波波峰与量子阱位置符合,基于有限元分析模拟了氧化层对电流限制的影响.通过计算光子晶体垂直腔面发射激光器(photonic crystal vertical cavity surface emitting lasers,PC-VCSEL)中不同的模式分布及其品质因子Q,证明该结构可以有效地实现基横模输出.通过光刻、刻蚀、沉积、剥离等半导体工艺成功制备出氧化孔径为22μm的VCSEL和PC-VCSEL,VCSEL的阈值电流为5.2 mA,斜率效率0.67 mW/mA,在不同电流光谱测试中均是明显的多横模输出;PCVCSEL的阈值电流为6.5 mA,基横模输出功率超过2.5 mW,不同电流下的边模抑制比超过25 dB,光谱宽度小于0.2 nm.
关键词
垂直腔面发射激光器
光子晶体垂直腔面发射激光器
基横模
大功率
Keywords
vertical
cavity
surface
emitting
laser
photonic
crystal
-
vertical
cavity
surface
emitting
laser
fundamental
transverse
mode
high
power
分类号
TN248 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
940 nm垂直腔面发射激光器单管器件的设计与制备
潘智鹏
李伟
吕家纲
聂语葳
仲莉
刘素平
马骁宇
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
1
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