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题名条纹反射法中新的缺陷表征质量图
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作者
覃云说
朱勇建
秦国锋
王栋
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机构
广西师范大学电子工程学院
上海应用技术大学计算机科学与信息工程学院
广西师范大学职业技术师范学院
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出处
《应用光学》
CAS
北大核心
2023年第3期614-620,共7页
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基金
上海市自然科学基金资助(20ZR1455600)
上海应用技术大学协同创新基金项目资助(XTCX2022-20)
上海应用技术大学科研启动基金(YJ2022-40)。
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文摘
使用相移法测量物体形貌时,质量导引法在相位解包裹中起着重要作用。在检测高反光待测物表面缺陷时,相移条纹调制度常用来识别表面缺陷。本文通过将Sobel梯度与条纹调制相结合,提出了新的缺陷表征质量图,即调制度-Sobel梯度偏差质量图(modulation-sobel gradient variance,MSGV)。将解包裹相位图和原始相位图的均方根误差、峰值信噪比、信噪比3个性能作数据对比,对相位解包裹数据进行模拟测试。结果显示,MSGV的平均峰值信噪比较调制度-相位梯度偏差质量图(modulation-phase gradient variance,MPGV)提升了约1.97%,均方根误差减小了约2.91%。表明本文提出的MSGV算法相对于传统算法有一定优越性,具有更高的抗噪性和更低的解包裹误差。将所提出的方法对鼓型滚子曲面进行缺陷检测与定位,结果表明,MSGV能更好地显示出缺陷的轮廓信息。
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关键词
相移条纹
质量图
调制度
缺陷检测
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Keywords
phase-shift fringes
mass map
modulation degree
defect detection
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分类号
TN206
[电子电信—物理电子学]
TP391.4
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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