期刊文献+
共找到72篇文章
< 1 2 4 >
每页显示 20 50 100
n型隧穿氧化层钝化背接触太阳能电池发射极激光硼掺杂工艺
1
作者 孟庆平 武春青 杨建宁 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第12期2052-2058,共7页
在n型隧穿氧化层钝化背接触(TBC)太阳能电池发射极制程中引入激光掺杂可快速实现发射极图案化制作,简化电池制作流程。通过激光将硼硅玻璃(BSG)中的硼掺入多晶硅层中,形成图案化的掺硼多晶硅层。研究了不同激光参数及掺杂次数对TBC太阳... 在n型隧穿氧化层钝化背接触(TBC)太阳能电池发射极制程中引入激光掺杂可快速实现发射极图案化制作,简化电池制作流程。通过激光将硼硅玻璃(BSG)中的硼掺入多晶硅层中,形成图案化的掺硼多晶硅层。研究了不同激光参数及掺杂次数对TBC太阳能电池发射极钝化性能和方块电阻的影响,实验结果表明,当激光功率为70 W、掺杂次数为2次时,太阳能电池发射极可获得良好的钝化效果和合适方阻,其中掺杂浓度达到8.1×10^(19)cm^(-3),隐开路电压>723 mV,方块电阻约为150Ω/□。制备的TBC太阳能电池的平均光电转换效率可达24.691%,短路电流密度为42.31 mA/cm^(2),开路电压为718.7 mV,填充因子为81.2%。 展开更多
关键词 隧穿氧化层钝化背接触(TBC)太阳能电池 钝化接触 激光掺杂 硼掺杂 光电转换效率
下载PDF
n型IBC太阳电池磷掺杂工艺 被引量:3
2
作者 屈小勇 高嘉庆 +4 位作者 郭永刚 吴翔 张博 杨爱静 张天杰 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2022年第3期278-283,共6页
为了兼顾叉指背接触(IBC)太阳电池背表面场(BSF)区域的钝化性能和接触性能,在现有IBC太阳电池制备工艺基础上引入离子注入技术,对电池背表面场区域进行磷离子注入。研究了不同磷离子注入剂量对IBC电池钝化性能和接触性能的影响,并研究... 为了兼顾叉指背接触(IBC)太阳电池背表面场(BSF)区域的钝化性能和接触性能,在现有IBC太阳电池制备工艺基础上引入离子注入技术,对电池背表面场区域进行磷离子注入。研究了不同磷离子注入剂量对IBC电池钝化性能和接触性能的影响,并研究了烧结工艺对IBC电池接触性能的影响。实验结果表明,当磷离子注入剂量为6.6×10^(14)~6.8×10^(14)ions/cm^(2)、烧结温度为840℃、烧结带速为9.4 m/min时,背表面场区域可同时获得良好的钝化性能和接触性能,制备的IBC电池最高光电转换效率可达24.38%,平均光电转换效率可达24.21%,对应的短路电流密度为42.553 mA/cm^(2),开路电压为701.9 mV,填充因子为81.35%。 展开更多
关键词 叉指背接触(IBC)太阳电池 离子注入 钝化性能 接触性能 光电转换效率
下载PDF
预烘烤对镀锡板表面膜层和润湿性的影响 被引量:4
3
作者 王志登 王洺浩 李宁 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第12期156-161,共6页
目的提高镀锡板与涂料匹配性,研究预烘烤消除缩孔对镀锡板表面膜层和润湿性能的影响。方法采用计时电位曲线、X光电子能谱仪、热重差热测试及表面接触角方法,分别评价烘烤处理前后的镀锡板表面钝化膜、氧化膜成分含量变化,并通过表面能... 目的提高镀锡板与涂料匹配性,研究预烘烤消除缩孔对镀锡板表面膜层和润湿性能的影响。方法采用计时电位曲线、X光电子能谱仪、热重差热测试及表面接触角方法,分别评价烘烤处理前后的镀锡板表面钝化膜、氧化膜成分含量变化,并通过表面能对表面润湿性变化进行分析。结果120℃烘烤不同时间下,钝化膜铬含量由4.30μg/cm2增至5.16μg/cm2,膜层中的Cr(OH)3/Cr2O3含量比例显著下降,使Cr(OH)3脱水缩合生成电活性的Cr2O3被检出。氧化膜含量(库伦法计算)由1.5m C/cm2以上降至0.6m C/cm2左右,其组成进一步被氧化生成SnO2,无法被阴极还原,降低了可被检出的氧化膜含量。水接触角由86°快速降至65°左右稳定,表面能值由37.5 mN/m最高增至50 mN/m,说明烘烤处理大幅提高了材料表面被水极性介质的润湿作用。结论通过镀锡板涂膜前预烘烤处理,改变了镀锡板表面钝化膜和氧化膜组成以及含量比例,降低了水接触角,提高了表面能值,增强了材料对涂料表面张力适配范围,有利于漆膜稳定铺展,为涂料端配方优化,实现镀锡板缩孔控制提供了技术方向。 展开更多
关键词 预烘烤 镀锡板 表面膜层 钝化膜 润湿性 接触角
下载PDF
Si(100)表面Se薄膜生长及其在Ti/Si欧姆接触中的应用 被引量:2
4
作者 潘书万 亓东峰 +3 位作者 陈松岩 李成 黄巍 赖虹凯 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第9期712-716,共5页
本文采用分子束外延(MBE)系统在Si(100)表面淀积Se薄膜.通过控制衬底和固态Se束源炉的温度,实现了Se材料在Si(100)表面上的自限制超薄薄膜生长;在Se超薄层钝化的Si(100)表面上制备的Ti金属电极具有低的欧姆接触电阻特性,且热稳定性温度... 本文采用分子束外延(MBE)系统在Si(100)表面淀积Se薄膜.通过控制衬底和固态Se束源炉的温度,实现了Se材料在Si(100)表面上的自限制超薄薄膜生长;在Se超薄层钝化的Si(100)表面上制备的Ti金属电极具有低的欧姆接触电阻特性,且热稳定性温度提升至400℃. 展开更多
关键词 钝化 欧姆接触 热稳定性
原文传递
基于POLO钝化接触结构的晶硅电池技术及其研究进展
5
作者 张天杰 屈小勇 +7 位作者 郭永刚 吴翔 高嘉庆 张博 杨爱静 刘军保 李跃恒 林涛 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2022年第6期1122-1131,1140,共11页
多晶硅氧化物(POLO)结构是在晶硅表面依次生长一层极薄的界面氧化层与多晶硅层所形成的钝化接触结构。基于POLO结构的钝化接触技术不仅能够获得优异的表面钝化特性,而且避免了金属与晶硅表面的直接接触,极大地降低了金属与晶硅表面的接... 多晶硅氧化物(POLO)结构是在晶硅表面依次生长一层极薄的界面氧化层与多晶硅层所形成的钝化接触结构。基于POLO结构的钝化接触技术不仅能够获得优异的表面钝化特性,而且避免了金属与晶硅表面的直接接触,极大地降低了金属与晶硅表面的接触复合。目前应用POLO钝化接触结构制作的小面积晶硅太阳能电池转换效率高达26.1%,制作的大面积晶硅太阳能电池产业化效率已经超过24.5%。同时POLO钝化接触技术应用于晶硅电池的制作可以承受高温工艺,兼容现有的晶硅电池产业化设备,是未来极具产业化潜力的钝化接触技术方案。本文主要综述了POLO钝化接触结构中载流子的传输机理及相应的量化参数表征方法;对比了POLO结构制备中界面氧化层生长、多晶硅层的沉积、掺杂及氢化处理的方法;总结了多晶硅层的寄生吸收效应、晶硅表面形貌结构、掺杂浓度分布对POLO结构钝化接触特性的影响;简述了POLO钝化接触技术的研究进展及当前POLO电池制作面临的技术难点。 展开更多
关键词 钝化接触 载流子选择性接触 多晶硅氧化物(POLO) POLO结构 多晶硅 晶硅电池
下载PDF
超薄多晶硅的掺杂、钝化及光伏特性研究
6
作者 宋志成 杨露 +4 位作者 张春福 刘大伟 倪玉凤 张婷 魏凯峰 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2022年第3期434-440,共7页
本文对70 nm超薄多晶硅的掺杂工艺、钝化性能及光伏特性进行了研究。确定了70 nm超薄多晶硅的掺杂工艺,研究表明当离子注入剂量为3.2×10^(15) cm^(-3),在855℃退火20 min时,70 nm超薄多晶硅的钝化性能可以达到与常规120 nm多晶硅... 本文对70 nm超薄多晶硅的掺杂工艺、钝化性能及光伏特性进行了研究。确定了70 nm超薄多晶硅的掺杂工艺,研究表明当离子注入剂量为3.2×10^(15) cm^(-3),在855℃退火20 min时,70 nm超薄多晶硅的钝化性能可以达到与常规120 nm多晶硅相当的水平,且70 nm多晶硅的表面掺杂浓度达到5.6×10^(20) atoms/cm^(3),远高于120 nm掺杂多晶硅的表面掺杂浓度(2.5×10^(20) atoms/cm^(3))。基于70 nm超薄多晶硅厚度减薄和高表面浓度掺杂的特点,较低的寄生吸收和强场钝化效应使得在大尺寸(6英寸)直拉单晶硅片上加工的N型TOPCon太阳能电池的光电转换效率得到明显提升,主要电性能参数表现为:电流I_(sc)升高20 mA,串联电阻R_(s)降低,填充因子FF增加0.3%,光电转换效率升高0.13%。 展开更多
关键词 TOPCon太阳能电池 多晶硅 掺杂 离子注入 钝化接触 寄生吸收 光电转换效率
下载PDF
钝化剂自组装单层膜在铜铜键合工艺中的应用
7
作者 独莉 廖广兰 +2 位作者 张昆 宿磊 薛栋民 《半导体光电》 CSCD 北大核心 2014年第5期820-823,共4页
解决铜铜键合工艺中的铜氧化问题对于三维集成技术具有重要意义。选用1-己硫醇做临时钝化剂,通过自组装形式形成单层膜附着于铜表面,以防止铜在存放时与空气接触而发生氧化,键合前再使用乙醇等有机溶剂去除该单层膜。为了评估1-己硫醇... 解决铜铜键合工艺中的铜氧化问题对于三维集成技术具有重要意义。选用1-己硫醇做临时钝化剂,通过自组装形式形成单层膜附着于铜表面,以防止铜在存放时与空气接触而发生氧化,键合前再使用乙醇等有机溶剂去除该单层膜。为了评估1-己硫醇的钝化效果,采用接触角作为主要指标对实验结果进行评价。研究表明,样片表面经过1-己硫醇处理后,接触角极大增加,并在空气中长时间保持稳定,说明1-己硫醇具有良好的钝化效果,采用此方法得到了高质量的铜铜热压键合样片。 展开更多
关键词 铜铜键合 1-己硫醇 自组装单层膜 钝化 接触角
下载PDF
高效单晶硅太阳电池的最新进展及发展趋势 被引量:34
8
作者 陈俊帆 赵生盛 +6 位作者 高天 徐玉增 张力 丁毅 张晓丹 赵颖 侯国付 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期110-116,共7页
晶体硅太阳电池是目前光伏市场的主流产品,其又可分为多晶硅电池和单晶硅(c-Si)电池。目前,多晶硅电池成本较低,市场份额较大,但其效率较低;单晶硅电池成本相对偏高,但其效率更高,市场份额小于多晶硅电池。随着硅材料和硅片切割技术的进... 晶体硅太阳电池是目前光伏市场的主流产品,其又可分为多晶硅电池和单晶硅(c-Si)电池。目前,多晶硅电池成本较低,市场份额较大,但其效率较低;单晶硅电池成本相对偏高,但其效率更高,市场份额小于多晶硅电池。随着硅材料和硅片切割技术的进步,单晶硅片的成本持续下降,且未来市场对高效率的高端光伏产品需求日益增长。因此,高效率的单晶硅电池将受到更多的关注。为进一步提高单晶硅太阳电池的效率,近几年的研究工作主要集中于提高硅片质量来降低体缺陷,寻找新型钝化材料来降低表面和界面缺陷,开发先进的减反技术(新型的绒面陷光结构和材料)以提高光的利用率,引入低电阻金属化技术降低串联电阻,优化PN结制备技术以及器件结构等。2014年至今,单晶硅太阳电池的转换效率得到连续突破。目前,最高效率是日本Kaneka公司创造的26.6%,其他效率达到或者超过25%的晶硅电池包括钝化发射极背面局部场接触(PERL)电池、交叉指式背接触(IBC)电池、硅异质结(SHJ)电池、交叉指式背接触异质结(HBC)电池、隧穿氧化层钝化接触(TOPCon)电池、多晶硅氧化物选择钝化接触(POLO)电池等。分析这些典型电池的关键技术可以发现,栅线电极与c-Si的金属-半导体接触复合成为影响电池效率的关键因素。为减小这些复合,一方面通过电池背面局部开孔来减小金属与c-Si直接接触的面积,包括钝化发射极背场点接触(PERC)、PERL、钝化发射极和背面全扩散(PERT)等电池。另一方面则是开发既能够实现优异的表面钝化,同时又无需开孔便可分离与输运载流子的新型载流子选择性钝化接触技术,如SHJ电池、TOPCon电池等。此外,采用交叉指式背接触技术与其他电池结构结合则是最大限度提高光利用率的必然选择,包括IBC电池和HBC电池。本文介绍了当前国际上转化效率达到或超过25%的典型 展开更多
关键词 单晶硅太阳电池 减反技术 新型钝化材料 载流子选择性钝化接触 交叉指式背接触
下载PDF
PERC结构多晶硅太阳电池的研究 被引量:10
9
作者 赵素香 张松 +2 位作者 王振交 李果华 季静佳 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第12期939-942,968,共5页
高效、低成本是目前硅太阳电池追求的主要目标。多晶硅太阳电池成本低,但其电性能较差。背面钝化及局部背接触是提高多晶硅太阳电池电性能的主要技术。通过采用SiO2/SiNx叠层膜作为背钝化介质层,依次经过背面开槽、丝网印刷、烧结形成... 高效、低成本是目前硅太阳电池追求的主要目标。多晶硅太阳电池成本低,但其电性能较差。背面钝化及局部背接触是提高多晶硅太阳电池电性能的主要技术。通过采用SiO2/SiNx叠层膜作为背钝化介质层,依次经过背面开槽、丝网印刷、烧结形成背面局部接触,制备钝化发射极和背表面电池(PERC)结构多晶硅太阳电池。采用恒光源I-V特性测试系统测试其电性能,结果表明:较之常规铝背场多晶硅太阳电池,PERC结构电池在开路电压Voc、短路电流密度Jsc、转换效率η方面分别提高了13 mV、1.8 mA/cm2和0.67%(绝对值),其转换效率达到17.27%。PERC结构多晶硅电池采用了常规丝网印刷工艺,有利于实现高效多晶硅电池的产业化生产,具有很高的实际意义。 展开更多
关键词 多晶硅太阳电池 背面钝化 背面局部接触 钝化发射极和背表面电池(PERC) SIO2 SiNx叠层膜
下载PDF
全TOPCon电池正面多晶硅层硼掺杂工艺
10
作者 张博 宋志成 +1 位作者 倪玉凤 魏凯峰 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第2期329-335,共7页
为提升隧穿氧化层钝化接触(TOPCon)电池光电转换效率,本文通过高温扩散在n型TOPCon电池正面制作p型隧穿氧化层钝化接触结构,提升发射极钝化性能,减少正面金属复合。本文研究了不同沉积时间、推进温度、推进时间等工艺参数对实验样品钝... 为提升隧穿氧化层钝化接触(TOPCon)电池光电转换效率,本文通过高温扩散在n型TOPCon电池正面制作p型隧穿氧化层钝化接触结构,提升发射极钝化性能,减少正面金属复合。本文研究了不同沉积时间、推进温度、推进时间等工艺参数对实验样品钝化性能及掺杂曲线的影响。实验结果表明,当沉积时间为1500 s,推进温度为920℃,推进时间为20 min时,掺硼多晶硅层可获得较优的钝化性能及掺杂浓度,其中样品多晶硅层硼掺杂浓度达到1.40×10^(20)cm^(-3),隐开路电压(iV_(oc))大于720.0 mV。依据该参数制备的TOPCon电池光电转换效率可达23.89%,对应的短路电流密度为39.36 mA/cm^(2),开路电压(V_(oc))达到726.4 mV,填充因子(FF)为83.54%。 展开更多
关键词 TOPCon电池 钝化接触 硼扩散 钝化 电流密度 光电转换效率
下载PDF
晶体硅表面形貌对钝化接触电池的影响
11
作者 张婷 刘大伟 +2 位作者 杨露 魏凯峰 倪玉凤 《电源技术》 CAS 北大核心 2023年第11期1490-1494,共5页
硅片基底形貌是影响太阳电池薄膜沉积和钝化质量的因素之一。以TOPCon电池结构为基础,采用三种不同溶液腐蚀制备了三种不同的硅背表面形貌,结合形貌、反射率、磷杂质掺杂分布、表面钝化结果测试及电池效率和金属接触电阻测试等表征方法... 硅片基底形貌是影响太阳电池薄膜沉积和钝化质量的因素之一。以TOPCon电池结构为基础,采用三种不同溶液腐蚀制备了三种不同的硅背表面形貌,结合形貌、反射率、磷杂质掺杂分布、表面钝化结果测试及电池效率和金属接触电阻测试等表征方法分析,发现所制备的电池背表面若粗糙,其背表面陷光性好、金属接触电阻低但钝化质量相对差。而用3.6%(质量分数)KOH溶液、具有消泡和缓蚀作用的添加剂(体积分数)1%,65℃,腐蚀180~300 s制备的电池背表面光滑平坦,虽陷光性差、金属接触电阻高,但其钝化效果却非常高。通过优化金属栅线设计降低金属接触电阻后制备的背面抛光电池光电转换效率和外量子响应均最佳。 展开更多
关键词 钝化接触电池 表面形貌 表面钝化 金属接触
下载PDF
用于燃料电池双极板的不锈钢成分优化 被引量:4
12
作者 黄一川 王清 +3 位作者 张爽 董闯 吴爱民 林国强 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第5期651-664,共14页
利用团簇式方法,通过对Fe-Cr-Ni合金进行成分精修,在保持合金良好耐蚀性的同时,提升不锈钢的导电性。首先,解析316L不锈钢的成分,获得其Fe-Cr-Ni基础成分的理想团簇式[Ni-Fe11Ni1]Cr3,进而,固定Cr3,将Ni含量(质量分数)从6.63%变到32.74%... 利用团簇式方法,通过对Fe-Cr-Ni合金进行成分精修,在保持合金良好耐蚀性的同时,提升不锈钢的导电性。首先,解析316L不锈钢的成分,获得其Fe-Cr-Ni基础成分的理想团簇式[Ni-Fe11Ni1]Cr3,进而,固定Cr3,将Ni含量(质量分数)从6.63%变到32.74%,得到符合团簇成分通式[Ni-Fe13-xNix-1]Cr3=Fe13-xNixCr3(x=1~5)的合金成分。利用真空电弧熔炼并铜模浇注成直径10 mm试棒,随后进行固溶及水淬处理。实验结果表明,在模拟双极板服役环境(0.5 mol/L H2SO4+2×10^(-6) HF)下,随着Ni含量提高,在酸钝化后,自腐蚀电流密度由14.39μA/cm^(2)降低至1.00μA/cm^(2),在电化学氮化后,由1.03μA/cm^(2)降低至0.29μA/cm^(2)。这些数据均优于参照合金316L不锈钢(分别为7.51和0.47μA/cm^(2)),甚至低于0.5μA/cm^(2)的目前产业目标。在0.064 MPa压力下接触电阻逐渐减小(酸钝化后,从1.16Ω·cm^(2)减至0.98Ω·cm^(2),电化学氮化后,从1.07Ω·cm^(2)减至1.03Ω·cm^(2)),优于316L不锈钢的1.1Ω·cm^(2).上述实验结果表明,Ni含量的持续添加能够提升合金作为双极板的使役性能,最佳的不锈钢成分配方为[Ni-Fe10Ni2]Cr3,可以作为替代316L的新型不锈钢。电化学氮化处理方法在提升合金耐蚀性的同时,保持了相当高的接触电阻,是较好的不锈钢双极板表面处理方法。 展开更多
关键词 不锈钢 双极板 酸钝化 电化学氮化 耐蚀性 界面接触电阻 钝化膜
原文传递
PERC电池背表面钝化的PC1D仿真分析 被引量:4
13
作者 李宁 谷书辉 任丙彦 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第8期2273-2278,共6页
采用PC1D软件仿真分析钝化发射极及背接触(passivation emitter and rear contact,PERC)电池;模拟结果表明:降低电池的背表面复合速率有利于增强电池性能、提高电池长波响应。PERC电池由于背表面钝化可采用较低的背场厚度;背钝化层... 采用PC1D软件仿真分析钝化发射极及背接触(passivation emitter and rear contact,PERC)电池;模拟结果表明:降低电池的背表面复合速率有利于增强电池性能、提高电池长波响应。PERC电池由于背表面钝化可采用较低的背场厚度;背钝化层中的表面电荷对高背表面复合速率的电池性能的提升作用显著,但在背表面复合速率较低时影响不大;实测得到PERC电池比常规全铝背接触电池的开路电压和短路电流分别增大1.56%和2.56%。 展开更多
关键词 太阳电池 表面电荷 钝化 钝化发射极及背局域接触电池
下载PDF
n型双面TOPCon太阳电池钝化技术 被引量:4
14
作者 于波 史金超 +3 位作者 李锋 庞龙 刘克铭 于威 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第5期368-373,共6页
隧穿氧化物钝化接触(TOPCon)技术已成为当前产业化高效太阳电池的重点研究方向之一。报道了可应用于规模化生产的n型双面TOPCon太阳电池技术,对前表面SiO_2/多晶硅钝化层进行了优化设计。为了有效降低接触电阻,太阳电池的背表面采用了... 隧穿氧化物钝化接触(TOPCon)技术已成为当前产业化高效太阳电池的重点研究方向之一。报道了可应用于规模化生产的n型双面TOPCon太阳电池技术,对前表面SiO_2/多晶硅钝化层进行了优化设计。为了有效降低接触电阻,太阳电池的背表面采用了全面积SiO_2/多晶硅钝化层结构;为避免多晶硅层对太阳光的寄生吸收,仅将SiO_2/多晶硅钝化层应用于前表面金属接触的底部。J-V特性和少子寿命等分析显示,双面TOPCon结构设计显著提升了太阳电池的表面钝化接触性能,其开路电压和短路电流密度显著增加。所制备的面积为239 cm^2的双面TOPCon太阳电池的平均正面转换效率可达20.33%,相对正面无SiO_2/多晶硅钝化层的常规钝化发射极及背表面全扩散(PERT)结构的太阳电池转换效率提升了0.29%。 展开更多
关键词 隧穿氧化物钝化接触(TOPCon)太阳电池 选择性钝化接触 隧穿氧化层 多晶硅 双面太阳电池
下载PDF
太阳能电池背表面钝化的研究 被引量:2
15
作者 周国华 施正荣 +3 位作者 朱拓 吴俊 梅晓东 姚海燕 《能源工程》 2009年第1期17-20,共4页
利用PC1D模拟不同少子寿命的电池效率与背表面复合速率的关系,采用氮化硅和及其与二氧化硅薄膜的叠加层作为背面钝化膜,通过丝网印刷的方法形成条形局域背接触和局域背面点接触,条形接触的面积为背表面的25%,背面点接触孔径为250μm,间... 利用PC1D模拟不同少子寿命的电池效率与背表面复合速率的关系,采用氮化硅和及其与二氧化硅薄膜的叠加层作为背面钝化膜,通过丝网印刷的方法形成条形局域背接触和局域背面点接触,条形接触的面积为背表面的25%,背面点接触孔径为250μm,间距2mm。经过RTP处理之后,两种不同的接触方式存在相同的问题,串联电阻大,并联电阻小,而利用腐蚀浆料的方法形成背面点接触,在电性能参数有少许改善。结果表明,在正常的烧结状态下,常规铝浆很难完全穿透氮化硅薄膜及其叠加层背面钝化层。而利用腐蚀浆料的方法形成背面点接触,在电性能参数有少许改善。 展开更多
关键词 背面钝化 背面局域接触
下载PDF
高效单晶硅PERC局部背表面场及接触的优化 被引量:2
16
作者 徐卓 王红芳 +3 位作者 王英超 李锋 史金超 张伟 《半导体技术》 CSCD 北大核心 2017年第11期850-854,共5页
钝化发射极和背面电池(PERC)技术可有效提高电池效率,在常规p型电池的背面增加了钝化层,并形成了局部背表面场(LBSF)结构。介绍了PERC结构电池的工艺流程,分析了背场(BSF)的形成机制,主要研究了PERC的LBSF制备工艺及影响要素。通过采用... 钝化发射极和背面电池(PERC)技术可有效提高电池效率,在常规p型电池的背面增加了钝化层,并形成了局部背表面场(LBSF)结构。介绍了PERC结构电池的工艺流程,分析了背场(BSF)的形成机制,主要研究了PERC的LBSF制备工艺及影响要素。通过采用激光消融后清洗方法改善了背表面形貌,平整的背表面形貌有利于BSF的形成。通过优化烧结条件,电池的填充因子得到改善。讨论了激光开槽图形对开路电压以及填充因子的影响。测试结果表明,PERC转换效率绝对值提升了0.9%,达到20.83%,填充因子达到80.7%。 展开更多
关键词 背面钝化 局部背表面场(LBSF) 接触 激光 金属化
下载PDF
两种不锈钢在PEMFC环境下的耐蚀性 被引量:1
17
作者 田如锦 孙俊才 王剑利 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期191-193,共3页
用电化学方法测定了一种高Cr、Ni奥氏体不锈钢和316L在25℃和70℃时含2×10-6F-的H2SO4水溶液中的极化曲线,评价了氧化膜/碳纸和钝化膜/碳纸间的界面接触电阻。结果表明,在质子交换膜燃料电池(PEMFC)环境中,高Cr、Ni奥氏体不锈钢的... 用电化学方法测定了一种高Cr、Ni奥氏体不锈钢和316L在25℃和70℃时含2×10-6F-的H2SO4水溶液中的极化曲线,评价了氧化膜/碳纸和钝化膜/碳纸间的界面接触电阻。结果表明,在质子交换膜燃料电池(PEMFC)环境中,高Cr、Ni奥氏体不锈钢的耐腐蚀性优于316L,在两种介质温度下其钝化电流密度均低于10mA/cm2。钝化膜/碳纸的界面接触电阻明显比氧化膜/碳纸高,并随介质温度提高而增加。这种高Cr、Ni奥氏体不锈钢的氧化膜/碳纸和钝化膜/碳纸的界面接触电阻明显低于316L。 展开更多
关键词 PEMFC 奥氏体不锈钢 钝化 界面接触电阻
下载PDF
The n-type Si-based materials applied on the front surface of IBC-SHJ solar cells
18
作者 Jianhui Bao Ke Tao +2 位作者 Yiren Lin Rui Jia Aimin Liu 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第9期353-358,共6页
Interdigitated back contact silicon hetero-junction(IBC-SHJ) solar cells exhibit excellent performance owing to the IBC and SHJ structures.The front surface field(FSF) layer composed of electric field passivation and ... Interdigitated back contact silicon hetero-junction(IBC-SHJ) solar cells exhibit excellent performance owing to the IBC and SHJ structures.The front surface field(FSF) layer composed of electric field passivation and chemical passivation has been proved to play an important role in IBC-SHJ solar cells.The electric field passivated layer n^+-a-Si: H, an n-type Si alloy with carbon or oxygen in amorphous phase, is simulated in this study to investigate its effect on IBC-SHJ.It is indicated that the n^+-a-Si: H layer with wider band gap can reduce the light absorption on the front side efficaciously,which hinders the surface recombination of photo-generated carriers and thus contributes to the improvement of the short circuit current density Jsc.The highly doped n^+-a-Si: H can result in the remakable energy band bending, which makes it outstanding in the field passivation, while it makes little contribution to the chemical passivation.It is noteworthy that when the electric field intensity exceeds 1.3 × 10^5 V/cm, the efficiency decrease caused by the inferior chemical passivation is only 0.16%.In this study, the IBC-SHJ solar cell with a front n^+-a-Si: H field passivation layer is simulated, which shows the high efficiency of 26% in spite of the inferior chemical passivation on the front surface. 展开更多
关键词 Si-based doped materials passivation interdigitated BACK contact silicon hetero-junction(IBC-SHJ) solar cell simulation
下载PDF
具有选择性前表面场的p型背结太阳电池
19
作者 李得银 马岩青 +3 位作者 石惠君 杨超 王冬冬 陈丹 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2022年第11期1119-1125,共7页
隧穿氧化物钝化接触(TOPCon)结构由掺杂多晶硅及隧穿氧化层构成,具有出色的钝化及接触特性。将n型TOPCon太阳电池制备理念应用到p型硅片中,利用背面原位掺杂磷多晶硅层充当pn结,并利用印刷纳米硼浆的方法完成选择性前表面场(FSF)的制备... 隧穿氧化物钝化接触(TOPCon)结构由掺杂多晶硅及隧穿氧化层构成,具有出色的钝化及接触特性。将n型TOPCon太阳电池制备理念应用到p型硅片中,利用背面原位掺杂磷多晶硅层充当pn结,并利用印刷纳米硼浆的方法完成选择性前表面场(FSF)的制备。这种具有选择性前表面场的p型背结电池的优势是背面TOPCon发射极的全面积金属接触避免了发射极内的横向电流传输损耗,有助于空穴(主要载流子)向前端的局部前表面场传输,另外正面选择性前表面场的设计形成高低结,极大地减小了表面复合及金属栅线接触电阻。结果表明,相比同结构的n型TOPCon太阳电池,此种结构的p型背结太阳电池光电转换效率高0.34%,填充因子约高1%,说明该结构的背结太阳电池具有一定的电性能优越性和发展潜力。 展开更多
关键词 背结太阳电池 隧穿氧化物钝化接触(TOPCon) 原位掺杂 选择性前场 纳米硼浆
下载PDF
SiGe沟道三维器件关键集成技术研究进展
20
作者 赵飞 李永亮 王文武 《微纳电子与智能制造》 2021年第1期63-74,共12页
随着器件特征尺寸进入5 nm及以下技术节点,SiGe高迁移率沟道FinFET或GAA三维器件成为了研究热点。总结了适用于三维器件的SiGe高迁移率沟道导入集成、钝化及低阻接触技术的挑战及潜在解决方案。对于FinFET器件,STI last沟道导入方案更... 随着器件特征尺寸进入5 nm及以下技术节点,SiGe高迁移率沟道FinFET或GAA三维器件成为了研究热点。总结了适用于三维器件的SiGe高迁移率沟道导入集成、钝化及低阻接触技术的挑战及潜在解决方案。对于FinFET器件,STI last沟道导入方案更利于获得高质量的SiGe沟道导入集成。而对于GAA器件,通过优化牺牲层/沟道层叠层外延及湿法释放工艺可实现SiGe沟道导入集成。同时,O3钝化技术及与高阶前驱体源漏选择性外延相结合的Ga/B共掺杂技术成为了最有潜力的钝化和低阻接触技术。 展开更多
关键词 SIGE FINFET GAAFET 沟道导入 界面钝化 低阻接触
下载PDF
上一页 1 2 4 下一页 到第
使用帮助 返回顶部