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高速并行双光子激光直写光刻系统
被引量：
11
1
作者
王洪庆
温积森
+10 位作者
杨臻垚
汤孟博
孙秋媛
马程鹏
王子昂
詹兰馨
张晓依
曹春
沈小明
丁晨良
匡翠方
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第22期115-122,共8页
双光子激光直写技术以其高精度、高灵活性的特点在科研领域被广泛应用,但较低的直写速度制约了其在工业领域的应用与发展。本团队基于转镜扫描系统设计并验证了一套高速双光子激光直写光刻系统,该系统基于空间光调制器与多通道声光调制...
双光子激光直写技术以其高精度、高灵活性的特点在科研领域被广泛应用,但较低的直写速度制约了其在工业领域的应用与发展。本团队基于转镜扫描系统设计并验证了一套高速双光子激光直写光刻系统,该系统基于空间光调制器与多通道声光调制器的联合调控,实现了六通道并行刻写功能,且每个通道可独立调控,调控频率可达MHz以上。实验结果表明,每通道直写速度最高可达7.770 m/s,刻写特征尺度最小为150 nm,并行刻写时的最高直写速度可达46.62 m/s。此外,本团队基于反射式像旋转器设计了一种高精度调节通道间距的方法,调节精度优于1 nm。
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关键词
光学制造
微纳加工
双光子激光直写
多光束并行制造
原文传递
题名
高速并行双光子激光直写光刻系统
被引量：
11
1
作者
王洪庆
温积森
杨臻垚
汤孟博
孙秋媛
马程鹏
王子昂
詹兰馨
张晓依
曹春
沈小明
丁晨良
匡翠方
机构
之江实验室智能芯片与器件研究中心
浙江大学光电科学与工程学院现代光学仪器国家重点实验室
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第22期115-122,共8页
基金
之江实验室重大科研项目(2020MC0AE01)
国家自然科学基金青年科学基金(52105565)
+2 种基金
浙江省自然科学基金重大项目(LD21F050002)
杭州市人力资源和社会保障局2020年度博士后科研资助项目(2021MC3UB04)
杭州市余杭区人力资源和社会保障局2020年度博士后科研配套补助项目(2021MC3UB16)。
文摘
双光子激光直写技术以其高精度、高灵活性的特点在科研领域被广泛应用,但较低的直写速度制约了其在工业领域的应用与发展。本团队基于转镜扫描系统设计并验证了一套高速双光子激光直写光刻系统,该系统基于空间光调制器与多通道声光调制器的联合调控,实现了六通道并行刻写功能,且每个通道可独立调控,调控频率可达MHz以上。实验结果表明,每通道直写速度最高可达7.770 m/s,刻写特征尺度最小为150 nm,并行刻写时的最高直写速度可达46.62 m/s。此外,本团队基于反射式像旋转器设计了一种高精度调节通道间距的方法,调节精度优于1 nm。
关键词
光学制造
微纳加工
双光子激光直写
多光束并行制造
Keywords
optical
fabrication
micro-and
nano
fabrication
two-photon
laser
direct
writing
parallel
fabrication
of
multiple
beams
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高速并行双光子激光直写光刻系统
王洪庆
温积森
杨臻垚
汤孟博
孙秋媛
马程鹏
王子昂
詹兰馨
张晓依
曹春
沈小明
丁晨良
匡翠方
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
11
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