期刊导航
期刊开放获取
cqvip
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
基于数字微镜器件的并行彩色共聚焦测量系统
被引量：
13
1
作者
张一
余卿
+2 位作者
张昆
程方
崔长彩
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第4期859-866,共8页
彩色共聚焦技术因其高分辨率、高测速的特点,在表面形貌测量领域备受关注,然而现有的彩色共聚焦技术多为单点测量,一定程度上限制了测量效率。本文在彩色共聚焦技术的基础上,以DMD作为光分束器件,结合自主研发的大口径色散管镜,利用面...
彩色共聚焦技术因其高分辨率、高测速的特点,在表面形貌测量领域备受关注,然而现有的彩色共聚焦技术多为单点测量,一定程度上限制了测量效率。本文在彩色共聚焦技术的基础上,以DMD作为光分束器件,结合自主研发的大口径色散管镜,利用面阵彩色相机作为光电接收器件,研究和建立了基于数字微镜器件的并行彩色共聚焦实验平台,实现了对被测物面上多个探测点的并行图像处理。最终,利用所搭建的并行彩色共聚焦测量系统,对50μm高的台阶和自制台阶进行了测量,并对硬币的表面形貌进行了三维恢复。实验结果表明,该测量系统的轴向测量范围为300μm,测量精度达到微米级;同时,能够较好地恢复硬币的表面形貌特征,具有较好的测量效率与可靠性。
展开更多
关键词
光学测量
彩色共聚焦技术
数字微镜器件
彩色相机
表面形貌三维重构
下载PDF
职称材料
题名
基于数字微镜器件的并行彩色共聚焦测量系统
被引量：
13
1
作者
张一
余卿
张昆
程方
崔长彩
机构
华侨大学机电及自动化学院
华侨大学制造工程研究院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第4期859-866,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51505162)
福建省科技计划项目(No.2019I0013)
+1 种基金
泉州市科技计划项目(No.2017T004)
华侨大学研究生科研创新基金资助项目(No.18013080064)。
文摘
彩色共聚焦技术因其高分辨率、高测速的特点,在表面形貌测量领域备受关注,然而现有的彩色共聚焦技术多为单点测量,一定程度上限制了测量效率。本文在彩色共聚焦技术的基础上,以DMD作为光分束器件,结合自主研发的大口径色散管镜,利用面阵彩色相机作为光电接收器件,研究和建立了基于数字微镜器件的并行彩色共聚焦实验平台,实现了对被测物面上多个探测点的并行图像处理。最终,利用所搭建的并行彩色共聚焦测量系统,对50μm高的台阶和自制台阶进行了测量,并对硬币的表面形貌进行了三维恢复。实验结果表明,该测量系统的轴向测量范围为300μm,测量精度达到微米级;同时,能够较好地恢复硬币的表面形貌特征,具有较好的测量效率与可靠性。
关键词
光学测量
彩色共聚焦技术
数字微镜器件
彩色相机
表面形貌三维重构
Keywords
optical
measurement
parallel
chromatic
confocal
Digital
Micromirror
Device(DMD)
color
camera
surface
topography
measurement
分类号
TH742 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于数字微镜器件的并行彩色共聚焦测量系统
张一
余卿
张昆
程方
崔长彩
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
13
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
