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题名新型微流通池pH-ISFET集成传感器的研制
被引量：1
- 1
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作者
牛蒙年
丁辛芳
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机构
东南大学
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出处
《应用科学学报》
CAS
CSCD
1997年第1期75-81,共7页
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文摘
报道了一种新型微流通池ｐＥ－ＩＳＦＥＴ集成传感器，该集成传感器采用常规ＩＣ工艺、微加工技术和键合技术，实现微流通池、四对长臂式ＩＳＦＥＴ／ＲＥＦＥＴ传感器（差分测量用）和Ｔｉ／Ａｕ膜伪参考电极芯片一体化结构，芯片面积为８ｍｍｘ６ｍｍ，微流通池体积为０．７ｍｍｘ５．０ｍｍ×０．３ｍｍ，当集成传感器外部配上蠕动泵、注入阀和测量电路则构成微流通池ｐＨ－ＩＳＦＥＴ流动注入分析（ＦＩＡ）系统。实验结果表明，该集成传感器和ＦＩＡ系统具有响应快、耗样液量少等特点，且稳定性和可靠性大为提高。
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关键词
传感器
微流通池
ph-isfet传感器
流动注入分析
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Keywords
ph-isfet integrated sensor, micro flow-through cell, Ti/Au filmpseudo-reference electrode, isfet/REFET structure, FIA system
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH832
[自动化与计算机技术—控制科学与工程]
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题名pH-ISFET器件及其电路的SPICE模拟方法
被引量：1
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作者
牛蒙年
丁辛芳
童勤义
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机构
东南大学微电子中心
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出处
《电子科学学刊》
CSCD
1996年第4期443-448,共6页
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文摘
本文提出用SPICE软件模拟pH-ISFET器件及其电路的方法。通过SPICE内部的MOSFET参数和引入一些信号源来实现对pH-ISFET传感器及其电路的pH灵敏度关系、瞬态响应以及温度特性的模拟,所得结果与实验观测结果基本相符。
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关键词
ph-isfet传感器
电路
SPICE模拟
CAD
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Keywords
ph-TSFET sensor, Circuit, Simulation in SPICE
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分类号
TN710.9
[电子电信—电路与系统]
TP212.3
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名新型微流通池pH－ISFET集成传感器
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作者
丁辛芳
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机构
东南大学微电子中心
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出处
《电子器件》
CAS
1996年第3期154-158,共5页
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文摘
设计与制备了带Ｔｉ／Ａｕ膜参考电极的长臂式ｐＨ－ＩＳＦＥＴ集成传感器与微流通池。在静态和流动分析系统测量中表明：由蠕动泵驱动的待测液流动极畅，且试样量极少，响应速度快。
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关键词
ph-isfet集成传感器
微流通池
FIA系统
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Keywords
ph-isfet integreted sensor micro fiow-through cell flow injectionn analysis (FIA) system
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN386
[自动化与计算机技术—控制科学与工程]
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