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多晶硅薄膜的表面处理工艺 被引量：4
1
作者 曾祥斌 Johnny K O Sin +1 位作者 徐重阳 饶瑞 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期693-696,共4页
采用ＮＨ３和Ｎ２Ｏ的等离子体分别对ｐ－Ｓｉ（多晶硅）薄膜表面进行了钝化处理，处理后的 ｐ－Ｓｉ ＴＦＴ（薄膜晶体管）具有比未处理 ＴＦＴ更优越的性能，通电试验与热应力试验后，处理后的器件呈现出更好的承受电负荷和热应力能... 采用ＮＨ３和Ｎ２Ｏ的等离子体分别对ｐ－Ｓｉ（多晶硅）薄膜表面进行了钝化处理，处理后的 ｐ－Ｓｉ ＴＦＴ（薄膜晶体管）具有比未处理 ＴＦＴ更优越的性能，通电试验与热应力试验后，处理后的器件呈现出更好的承受电负荷和热应力能力，钝化的微观机理是ＮＨ３和Ｎ２Ｏ等离子体中和了ｐ－Ｓｉ薄膜的悬挂键，形成牢固的Ｓｉ－Ｎ键，减少了表面态密度． 展开更多
关键词 NH3 N2O 表面钝化 p-sitft 多晶硅薄膜 表面处理工艺
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多晶硅薄膜的激光晶化技术 被引量：1
2
作者 邵喜斌 《光机电信息》 2008年第4期7-10,共4页
1引言 多晶硅薄膜晶体管（P-SiTFT）在有源LCD和有源OLED中都有重要应用。在有源LCD中，a-SiTFT LCD目前占据绝大部分市场，尤其在大尺寸液晶电视和液晶显示器等方面，p-SiTFT LCD只是在中小尺寸中要求高分辨率的应用领域占据了一部分... 1引言 多晶硅薄膜晶体管（P-SiTFT）在有源LCD和有源OLED中都有重要应用。在有源LCD中，a-SiTFT LCD目前占据绝大部分市场，尤其在大尺寸液晶电视和液晶显示器等方面，p-SiTFT LCD只是在中小尺寸中要求高分辨率的应用领域占据了一部分市场。对于有源OLED而言，p-Si TFT的重要性要高于有源LCD，因为OLED是电流型器件， 展开更多
关键词 多晶硅薄膜晶体管 激光晶化 有源OLED A-sitft p-sitft 技术 LCD 液晶显示器
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基于改善AMOLED TFT均匀性和稳定性像素补偿电路
3
作者 谢莉 王永 《电子科技》 2010年第12期20-23,共4页
有机发光二极管显示器(OLED)正越来越多地用于中小尺寸的显示,但在大尺寸方面进展缓慢,因为在有源大尺寸方面对OLED的稳定性和均匀性要求较高,需要设计像素补偿电路。各研究机构提出了像素补偿电路用于改善OLED的均匀性和稳定性等问题,... 有机发光二极管显示器(OLED)正越来越多地用于中小尺寸的显示,但在大尺寸方面进展缓慢,因为在有源大尺寸方面对OLED的稳定性和均匀性要求较高,需要设计像素补偿电路。各研究机构提出了像素补偿电路用于改善OLED的均匀性和稳定性等问题,文中对目前采用有源OLED的α-SiTFT和p-SiTFT的各种像素补偿电路进行了分析。分析结果表明,文中设计方案取得了一定的效果,但尚存不足。 展开更多
关键词 α-sitft p-sitft 像素补偿电路
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低温多晶硅薄膜晶体管（p—SiTFT）制作新技术 被引量：1
4
作者 季旭东 《光电技术》 2003年第1期49-53,共5页
制作低温多晶硅薄膜晶体管层是制作高性能液晶显示器件技术的一个重要组成部分。本文对制作液晶显示器件的多晶硅薄膜晶体管层工艺及其改进进行了讨论。
关键词 低温多晶硅 液晶显示 薄膜晶体管 技术制造 p—sitft 物理蒸镀-溅射法
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