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光化线强度法研究大气压等离子体射流的氧原子浓度
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作者 许慧敏 唐潇 +3 位作者 武珈存 陈俊宇 赵娜 贾鹏英 《河北大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2022年第6期599-604,共6页
等离子体射流产生的众多活性粒子中,氧原子是化学活性非常强的氧化剂,也是生成其他含氧活性粒子的基础,因此确定氧原子浓度及其时空分布对提高等离子体射流的应用效率具有重要意义.针对于此,本工作利用单电极等离子体射流产生了实心结... 等离子体射流产生的众多活性粒子中,氧原子是化学活性非常强的氧化剂,也是生成其他含氧活性粒子的基础,因此确定氧原子浓度及其时空分布对提高等离子体射流的应用效率具有重要意义.针对于此,本工作利用单电极等离子体射流产生了实心结构的等离子体羽,利用高分辨光谱仪采集了放电的发射光谱.结果表明,等离子体羽中确实含有氧原子等活性粒子.采用光化线强度法通过比较氧原子谱线(777.4 nm)和氩原子谱线(750.4 nm)的强度比研究了等离子体中氧原子浓度.结果表明:等离子体羽中的氧原子浓度随着距离喷口距离的增加先减小后增大;固定其他实验参数的情况下,氧原子浓度随着外加电压峰值和工作气体流量的增加而增大;当工作气体中掺入空气后,等离子体羽中氧原子浓度随着空气体积分数的增加先增大后减小.结合放电机制,对以上实验现象进行了定性分析,所得结果对于大气压等离子体射流的应用具有重要意义. 展开更多
关键词 等离子体射流 发射光谱 光化线强度 氧原子浓度
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硅/氧浓度初始分布对硅晶圆内V-O_(2)对演变影响的仿真
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作者 关小军 关宇昕 王善文 《徐州工程学院学报（自然科学版）》 CAS 2021年第4期35-42,共8页
为了揭示自间隙硅原子相对浓度和间隙氧原子相对浓度的初始分布状态对低温退火期间硅晶圆内V-O_(2)对介观演变的影响,应用原有相场仿真模型及其改进模型,仿真了两个不同的点缺陷相对浓度初始分布状态下退火的硅晶圆内V-O_(2)对演变过程... 为了揭示自间隙硅原子相对浓度和间隙氧原子相对浓度的初始分布状态对低温退火期间硅晶圆内V-O_(2)对介观演变的影响,应用原有相场仿真模型及其改进模型,仿真了两个不同的点缺陷相对浓度初始分布状态下退火的硅晶圆内V-O_(2)对演变过程.结果表明:在文章的仿真条件下,均匀分布的硅原子相对浓度未影响V-O_(2)对演变,这与不考虑硅原子存在的情况相同;与均匀分布状态相比,初始的氧原子相对浓度随机均匀分布状态使得V-O_(2)对生成速度减慢. 展开更多
关键词 仿真 硅晶圆 V-O_(2)对 自间隙硅原子 间隙氧原子 初始的浓度分布
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水下运行直流激励大气压辉光放电的光谱特性研究
3
作者 武珈存 吴凯玥 +2 位作者 贾博宇 贾鹏英 李雪辰 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第8期2500-2504,共5页
大气压辉光放电的产生摆脱了真空装置的束缚,且其中富含活性粒子,因此大气压辉光放电在材料表面改性,生物医学,污染物处理等方面都具有良好的应用前景。在其应用研究中,含氧活性粒子如OH自由基和O原子等具有重要作用,但目前关于氧原子... 大气压辉光放电的产生摆脱了真空装置的束缚,且其中富含活性粒子,因此大气压辉光放电在材料表面改性,生物医学,污染物处理等方面都具有良好的应用前景。在其应用研究中,含氧活性粒子如OH自由基和O原子等具有重要作用,但目前关于氧原子浓度随工作气体中氧气含量的变化尚不清楚。利用直流电压激励针-网放电装置,以氩氧混合气体作为工作气体,在去离子水中产生了弥散的大气压等离子体。放电照片显示放电中包含明显的阳极辉区、负辉区以及位于它们之间的正柱区,这些特征区域的存在表明放电处于辉光放电机制。光电测量结果表明,气隙电压和发光信号随时间均是恒定的,即放电是时间连续的无脉冲形式。其中,气隙电压随放电电流的增大先减小而后维持不变,即放电的伏安特性曲线在小电流时具有负斜率,在大电流时处于稳压阶段,因此该水下放电在小电流时为亚辉光放电机制,在大电流时为正常辉光放电机制。通过采集250~900 nm范围内的放电发射光谱,发现谱线主要集中在680~900 nm范围内,这部分光谱由ArⅠ和OⅠ(777.4和844.0 nm)组成。此外,还在波长308 nm处观测到微弱的OH谱线。光谱测量结果发现, ArⅠ(如750.4和763.5 nm)的谱线强度随工作气体中氧气含量的增加而单调地减小。与之不同的是OⅠ的谱线强度随工作气体中氧气含量的增加先增大,在氧气含量为1.5%时达到其最大值,之后随氧气含量的增加而减小。为了分析OⅠ的谱线强度随工作气体中氧气含量的变化关系,通过光线化强度法(777.4 nm/750.4 nm)研究了氧原子浓度随工作气体中氧气含量的变化关系。结果表明氧原子浓度随氧气含量的变化趋势与OⅠ谱线强度的变化趋势一致,即随工作气体中氧气含量的增加表现为先增大后减小,其最大值出现在氧气含量为1.5%时。最后,基于氧原子的产生机制和氧� 展开更多
关键词 大气压辉光放电 发射光谱 谱线强度 氧原子浓度
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