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题名大功率光电器件光波导键合技术研究
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作者
张晨璐
罗燕
魏紫东
王乐庭
谢雅
尚吉扬
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机构
上海航天电子通讯设备研究所
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出处
《科技创新与应用》
2024年第29期72-76,共5页
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文摘
光导开关是一种新型半导体光电子器件,在光通讯、雷达、微波等领域广泛应用,但在高工作电压的条件下会发生表面击穿等问题,因此需要对其进行封装提高侧面的耐压性能。该文选用光波导的方式对碳化硅晶片进行封装,通过玻璃浆料烧结键合、真空热压键合和光波导胶键合3种方法对小面积的侧面异质键合进行研究。通过3种方法的工艺优化及键合质量性能测试,光波导胶键合方法对激光功率的损耗最小,实现器件耐压值提升至10 kV。
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关键词
光导开关
玻璃浆料烧结
真空热压
光波导胶
键合方法
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Keywords
photoconductive semiconductor switches(PCSS)
glass paste sintering
vacuum hot pressing
optical waveguide adhesive
bonding method
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分类号
TN36
[电子电信—物理电子学]
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题名基于MT光纤适配器的光垂直耦合器件制备技术研究
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作者
严新捷
庞拂飞
邓传鲁
刘奂奂
王廷云
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机构
上海大学特种光纤与光接入网省部共建重点实验室
上海大学通信与信息工程学院
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出处
《光通信技术》
北大核心
2017年第9期38-41,共4页
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基金
上海市科学技术委员会科研计划项目(16511104300)资助
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文摘
针对光波导互连背板中的光纤-光波导垂直(90°转向)耦合技术,提出了一种基于MT光纤适配连接器的光垂直耦合器件制备方法。详细阐述了紫外光固化胶在光纤适配连接器上的涂膜方法,通过准分子激光器的阶梯刻蚀法对固化胶薄膜顶部端面进行45°微反射镜制备;分析了所制备样品参数如斜面粗糙度、斜面几何尺寸以及耦合元件垂直耦合性能。
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关键词
光波导
紫外光固化胶
光纤适配连接器
涂膜方法
垂直耦合
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Keywords
optical waveguide
UV curing adhesive
fiber optic adapter
coating method
vertical coupling
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分类号
TN915.62
[电子电信—通信与信息系统]
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题名基于Norland紫外固化胶的热光开关器件
被引量：2
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作者
王旗
王希斌
孙小强
田亮
王菲
张大明
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机构
吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室
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出处
《中国光学》
EI
CAS
2012年第2期194-198,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(No.61077041,No.60807029)
吉林省青年科研基金资助项目(No.20100174)
吉林大学基本科研业务费专项资金资助项目(No.200810028,No.200905005,No.201100253)
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文摘
采用新型聚合物材料Norland紫外固化胶(NOA)制备了聚合物M-Z型热光开关器件。对NOA薄膜材料的光学性质进行了表征,采用感应耦合等离子体(ICP)方法制备出形貌良好的波导器件。测得在1 550 nm波长下,长2.2 cm的直波导插入损耗为8.3 dB。在电极上施加直流信号,测得热光开关的消光比为11 dB,驱动功率为85 mW。引入直流偏置网络,获得了器件的开关特性曲线,测得开关器件的上升时间为1.085 ms,下降时间为489.5μs。实验结果表明:NOA材料在热光开关及其它聚合物光波导集成器件的制备中具有很大的应用潜力。
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关键词
平面光波导
聚合物光波导
热光开关
Norland紫外固化胶
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Keywords
planar optical waveguide
polymer optical waveguide
thermo-optic switch
Norland optical adhesive（NOA）
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分类号
TN252
[电子电信—物理电子学]
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