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硅微机械加工光波导压力传感器的设计 被引量：3
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作者 许高攀 胡国清 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2002年第1期60-62,共3页
随着波导材料的研究和进展 ,采用新的波导材料设计出了一种波导式压力传感器 ,就光波导压力传感器的原理和特性作了一个简要阐述 。
关键词 光波导 压力传感器 硅微机械加工 设计
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