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题名激光直写技术的研究现状及其进展
被引量：11
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作者
徐兵
魏国军
陈林森
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机构
苏州大学信息光学工程研究所
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出处
《光电子技术与信息》
2004年第6期1-5,共5页
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文摘
介绍了激光直写技术的最新发展现状,系统的功能、结构和工作方式,对当前该系统存在的一些问题进行了归纳分析,探讨了系统的应用范围和今后的发展方向。
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关键词
激光直写
二元光学元件
光刻
空间光调制器
光变图像
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Keywords
laser direct writing(LDW)
binary optical element( BOE)
photolithography
spatial light mod ulator(SLM)
optical variable device (ovd)
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
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题名采用DMD并行输入的激光干涉直写方法
被引量：11
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作者
吴智华
周小红
魏国军
邵洁
陈林森
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机构
苏州大学信息光学工程研究所
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出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第5期424-428,共5页
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文摘
基于HoloMaker-IV激光干涉直写系统的数字微反射镜(digital micro-mirror device,DMD)并行输入光刻方式,提出了根据图形特性的智能边界处理,实现了超高分辨率图像的高效激光直写干涉光刻。通过DMD输入图形与系统干涉控制参数相互匹配处理的方式对256色位图进行了图形格式转换,从而支持2D/3D,3D光变图像以及各种微图形文字的处理,为高效率制作高品质光变图像提供了新方法。实验表明:在2400DPI分辨率下,该方法比传统逐点光刻法的运行效率提高90倍。给出了高质量的实验结果。
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关键词
并行激光直写
图像处理软件
数字光变图像
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Keywords
parallel laser direct writing
image processing software
optical variable device（ovd）
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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