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光轴一致性误差对空间透射式系统像差和质量的影响 被引量:18
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作者 郭夏锐 廖志波 +1 位作者 王春雨 伏瑞敏 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第2期436-441,共6页
应用于空间光学的高精度透射式系统对光学装调有着严格的要求,微小的光轴一致性误差都将严重影响系统质量。介绍了一种通过像差分析和仿真预估指导光轴一致性装调的方法。以应用于空间光学的大口径长焦距透射式镜头为例,计算光轴一致性... 应用于空间光学的高精度透射式系统对光学装调有着严格的要求,微小的光轴一致性误差都将严重影响系统质量。介绍了一种通过像差分析和仿真预估指导光轴一致性装调的方法。以应用于空间光学的大口径长焦距透射式镜头为例,计算光轴一致性误差的像差特性。首先给出了光学元件偏心与系统像散、彗差以及球差的关系。然后详细分析了各不同透镜像差贡献的差异,分别计算了各元件偏心和倾斜对系统像散和彗差的影响。利用波前均方根(RMS)和光学传递函数(MTF)作为评价函数,得出各个分离透镜偏心误差对不同像差和系统成像质量的影响权重。最后在实验上对该方法进行验证,光学系统装调后实测结果满足像质要求。该方法能够为实际光学装调提供必要的参考,为高精度透射式光学系统的光轴一致性误差调整提供依据。 展开更多
关键词 光学遥感 透射式光学系统 光学装调 光学仿真
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水平式两轴转台中库德光路的快速装调 被引量:12
2
作者 乔健 高云国 +1 位作者 韩光宇 赵天 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期1760-1765,共6页
为实现对水平式两轴转台中库德光路的快速高精度装调,建立了自准直平行光管与平面反射镜相组合的自准直装调和检测系统。介绍了水平式两轴转台中库德光路的组成和工作原理,根据光学自准直原理给出了库德光路的装调和检测方法;结合库德... 为实现对水平式两轴转台中库德光路的快速高精度装调,建立了自准直平行光管与平面反射镜相组合的自准直装调和检测系统。介绍了水平式两轴转台中库德光路的组成和工作原理,根据光学自准直原理给出了库德光路的装调和检测方法;结合库德光路的特点推导出基于坐标变换的库德镜辅助装调模型,进而实现了库德光路的快速装调。最后,对装调好的库德光路进行了随经轴和纬轴转动的误差检测,得出两轴转台工作过程中库德光路的实际晃动误差。结果表明,通过装调的库德光路晃动误差仅为5.2″,满足设计指标要求的8″。该装调技术不仅适用于库德光路也可对其它的反射镜装调提供一定的借鉴和参考。 展开更多
关键词 库德光路 快速装调 自准直平行光管 平面反射镜
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透射式光学系统计算机辅助装校技术初步研究 被引量:11
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作者 廖志波 王春雨 +1 位作者 栗孟娟 伏瑞敏 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第9期2453-2456,共4页
应用于航天遥感领域的透射式光学镜头光学元件多,分离变量多,结构复杂,成像质量要求接近衍射极限,对光学装调有着苛刻的要求。传统的透射式系统装调一般采用直装定心的方法,通过机床定心和实验室定心结合依次将各个元件的偏心和倾斜调... 应用于航天遥感领域的透射式光学镜头光学元件多,分离变量多,结构复杂,成像质量要求接近衍射极限,对光学装调有着苛刻的要求。传统的透射式系统装调一般采用直装定心的方法,通过机床定心和实验室定心结合依次将各个元件的偏心和倾斜调整到预设置公差范围之内。这种方法增加了过程控制的难度,影响了装调一次成功率。在透射式系统装调中引入计算机辅助装调技术是突破传统装调方法,提高系统装调质量和效率行之有效的手段。借助计算机辅助装调技术,通过设置补偿环节的方法针对某一透射式光学镜头的初级像差进行调整,成功将系统装调结果 RMS从0.084λ(λ=632.8 nm)提高到0.046λ,实现了高精度、高效率的装调。 展开更多
关键词 透射式光学镜头 计算机辅助装调 补偿调整
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可调焦离轴三反光学系统的装调 被引量:9
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作者 张学敏 宋兴 +1 位作者 候晓华 李华 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第6期1458-1463,共6页
针对离轴反射光学系统的精密装调问题,提出了一种高精度空间交互测量以及基准传递系统,可实现调焦角度与系统光轴的高精度角度定位。该系统口径为450mm,可实现0.5km至无穷远的调焦,调焦角度精确定位后,只需调整无穷远处离轴三反光学系... 针对离轴反射光学系统的精密装调问题,提出了一种高精度空间交互测量以及基准传递系统,可实现调焦角度与系统光轴的高精度角度定位。该系统口径为450mm,可实现0.5km至无穷远的调焦,调焦角度精确定位后,只需调整无穷远处离轴三反光学系统的波像差满足要求,即可保证系统各个调焦位置处的波像差均满足设计要求,大大提高了装调效率。装调实验结果表明,无穷远处系统的波像差结果为0.09λ,1.5km处系统的波像差为0.1λ,2.5km处系统的波像差为0.11λ,0.5km处系统的波像差为0.2λ,均优于设计要求。 展开更多
关键词 离轴光学系统 反射式光学系统 光学装调 可调焦 基准传递
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高精度透射式空间光学系统装调误差分析与动态控制 被引量:9
5
作者 郭夏锐 王春雨 +1 位作者 廖志波 伏瑞敏 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第4期947-951,共5页
高分辨率对地观测对航天遥感器的成像质量提出了严格的要求,装框应力和偏心误差是影响大口径高精度透射式光学系统装调质量的重要因素。首先,在理论上分析了透镜装框应力的影响,实验测量了不同装调应力下的透镜面形,分析了装框应力对系... 高分辨率对地观测对航天遥感器的成像质量提出了严格的要求,装框应力和偏心误差是影响大口径高精度透射式光学系统装调质量的重要因素。首先,在理论上分析了透镜装框应力的影响,实验测量了不同装调应力下的透镜面形,分析了装框应力对系统光学传递函数(MTF)的影响。然后,对光学元件的装调偏心误差进行了研究,测量了一个偏心系统的波前干涉图,分析了偏心导致的光学系统像差,仿真计算了不同透镜偏心误差对像差和MTF的影响。介绍了一种在偏心误差小量超差的情况下,利用中心偏测量仪、干涉仪的测量数据对光学系统进行实时仿真,动态控制装调质量的方法,并在实验上对预估结果进行了验证。结果表明:高精度透射式光学系统装调过程中光学偏心和应力导致的面形变化是影响光学系统质量的主要因素,偏心误差的影响大于应力的影响,不同透镜偏心误差对系统质量有着较大的差异且相互补偿。仿真预估方法能够在装调公差日益苛刻的情况下动态评定各误差间的相互影响与补偿,实时评价光学系统的质量,提高装调效率。 展开更多
关键词 应用光学 光学遥感 透射式光学系统 光学仿真 光学装调
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离轴照明Schwarzschild投影物镜的计算机辅助装调方法 被引量:7
6
作者 林强 金春水 +1 位作者 向鹏 曹健林 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第2期144-150,共7页
介绍计算机辅助装调方法在离轴照明EUVL光学系统中的应用,阐述了一种基于奇异值分解(SVD)的牛顿迭代法来求解失调量。利用该方法对敏感矩阵进行分解,从中分析得到影响不同像差的结构参数的敏感性,并筛选出补偿器,求出相应失调量的大小... 介绍计算机辅助装调方法在离轴照明EUVL光学系统中的应用,阐述了一种基于奇异值分解(SVD)的牛顿迭代法来求解失调量。利用该方法对敏感矩阵进行分解,从中分析得到影响不同像差的结构参数的敏感性,并筛选出补偿器,求出相应失调量的大小。在此基础上进行多次模拟装调,证明各种情况都是收敛的,可以实现精密装调的目的。 展开更多
关键词 集成电路 EUVL 极紫外投影光刻 光学系统装调 奇异值分解
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中间像面非理想成像的近红外折反射系统光学装调方法
7
作者 陈太喜 王金鑫 +4 位作者 黄贺 张斌智 李鑫 丘敏艳 张鑫 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第5期208-217,共10页
近年来,基于中间像面非理想成像的近红外折反射系统应用广泛,但由于该波段干涉仪的价格昂贵且难以维护,其应用并不普及,因此在该类系统集成阶段,通常只能采用传统的机械特征定位方式(例如采用中心偏测量仪辅助定位)进行装调。由于传统... 近年来,基于中间像面非理想成像的近红外折反射系统应用广泛,但由于该波段干涉仪的价格昂贵且难以维护,其应用并不普及,因此在该类系统集成阶段,通常只能采用传统的机械特征定位方式(例如采用中心偏测量仪辅助定位)进行装调。由于传统机械定位方法无法直接借助干涉仪对系统出瞳波像差进行实时高精度监测,即不能通过观察各视场像差变化规律来指导装调,导致系统的装调效率和精度通常难以保证。针对一个口径为150 mm、焦距为450 mm的中间像面非理想成像近红外折反射系统的高精度光学装调方法开展研究,通过对系统中继透镜组透镜薄膜进行包含常用干涉仪工作波长(λ@632.8 nm)的设计,来实现利用可见光激光干涉仪对系统波像差进行高精度检测的目的,然后研究了系统各装调自由度和系统初级波像差的敏感度关系,以失调敏感度单变量分析为基础,分析了各失调维度间的耦合作用特性,在此基础上提出了次镜和中继镜组相互反复迭代联调的光学装调方案。整机装调后,光学系统各视场波前误差(RMS)和设计仿真结果数值大小大致相同,方向一致,均达到成像质量要求。 展开更多
关键词 光学系统装调 折反射系统 迭代联调 非理想成像
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光学系统计算机辅助装调的坐标基准过渡方法 被引量:4
8
作者 顾志远 颜昌翔 +3 位作者 胡春晖 王洋 高志良 刘伟 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期227-232,共6页
为实现光学系统计算机辅助装调工程化应用,达到根据失调量的计算值对光学元件进行空间位置误差校正的目的,提出了失调量的计算值和调整机构调整量之间的过渡方法,利用坐标变换和最小二乘优化算法建立了失调量-调整量的关系模型,完成了... 为实现光学系统计算机辅助装调工程化应用,达到根据失调量的计算值对光学元件进行空间位置误差校正的目的,提出了失调量的计算值和调整机构调整量之间的过渡方法,利用坐标变换和最小二乘优化算法建立了失调量-调整量的关系模型,完成了两者坐标基准过渡。仿真结果表明,根据此方法自编程序计算出的平移调整量精度可达10-6 mm量级,角度调整量精度可达0.02″量级,计算精度远高于光学系统的装调要求。在模拟装调过程中,与直接采用失调量计算值对元件调整的结果相比,此方法的调整结果明显好于前者。对于不同的光学元件装卡方式和调整机构,可对此算法的相关参量进行赋值,灵活运用于不同的工况,为计算机辅助装调的实际工程化应用提供理论依据。 展开更多
关键词 光学设计 光学系统装调 计算机辅助装调 坐标基准过渡 最小二乘法
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神光-Ⅲ主机装置光传输系统安装精密准直技术研究 被引量:5
9
作者 曹庭分 熊召 +9 位作者 李恪宇 李奇 刘长春 叶海仙 陈海平 罗欢 蒋新颖 周海 袁晓东 魏晓峰 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2016年第11期247-252,共6页
为实现高功率激光装置长程传输光路中反射镜法线指向的精密准直,分析了反射镜法线指向安装误差来源。针对高功率激光装置结构和安装特点,选取了预准直、模块姿态离线复制和柔性对接相结合的精密准直方案。对离线准直测量精度和复位精度... 为实现高功率激光装置长程传输光路中反射镜法线指向的精密准直,分析了反射镜法线指向安装误差来源。针对高功率激光装置结构和安装特点,选取了预准直、模块姿态离线复制和柔性对接相结合的精密准直方案。对离线准直测量精度和复位精度进行了验证,实验数据证实了方案的可行性。该技术在神光-Ⅲ主机装置光传输系统安装调试中取得了良好的效果。 展开更多
关键词 光学设计 高功率激光装置 传输系统 精密准直
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用于折反式红外光学系统的辅助装调镜设计 被引量:4
10
作者 胡博 杨子建 +4 位作者 陈姣 高婧 腾国奇 张博 于跃 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期864-867,共4页
针对大口径折反射红外光学系统设计过程中正主、次镜的像差为单独校正,无法实现高精度调试的问题,提出设计一套可见光波段辅助装调镜的方法,辅助镜用于补偿主次镜之间的像差,完成高精度装调。辅助透镜研制过程中,严格控制加工精度,减少... 针对大口径折反射红外光学系统设计过程中正主、次镜的像差为单独校正,无法实现高精度调试的问题,提出设计一套可见光波段辅助装调镜的方法,辅助镜用于补偿主次镜之间的像差,完成高精度装调。辅助透镜研制过程中,严格控制加工精度,减少对系统精度的影响。采用ZYGO干涉仪对系统进行了调试,波像差实际值为0.3λ,设计值0.14λ。最后,更换中继透镜组,光学系统成像质量达到红外搜索跟踪系统的要求。 展开更多
关键词 红外光学系统 辅助透镜 光学设计 装调
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天文光学望远镜的调校与检测 被引量:3
11
作者 李德培 《光学技术》 EI CAS CSCD 1998年第3期26-30,共5页
本文扼要叙述了天文光学望远镜的通用调校步骤与方法,适用于诸如卡氏(Cassegrain)、葛氏(Gregory)、奈氏(Nasmyth)、折轴(Coudé)、施密特(Schmidt)、牛顿(Newton)望远镜、... 本文扼要叙述了天文光学望远镜的通用调校步骤与方法,适用于诸如卡氏(Cassegrain)、葛氏(Gregory)、奈氏(Nasmyth)、折轴(Coudé)、施密特(Schmidt)、牛顿(Newton)望远镜、…等的光学元件及系统的调校。对极轴的高度与方位的调整,也给以简要介绍。本文还概述了对成像质量的检测。文中以通光口径2.16m天文望远镜为例,给出了光路调整图。 展开更多
关键词 光学望远镜 光学系统 光轴 调整 天文望远镜
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Fast Beam Deflection and Beam Quality- Keys to Economic High Quality Electron Beam Applications 被引量:3
12
作者 Uwe Clauβ James Bull 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第S4期90-94,共5页
Since its first introduction to the industry the control systems of electron beam machines have gone through an enormous evolution.With the availability of fast amplifier components and digital beam controllers the ad... Since its first introduction to the industry the control systems of electron beam machines have gone through an enormous evolution.With the availability of fast amplifier components and digital beam controllers the advantages of the electron beam have further increased making it a truly software controlled thermal processing tool.Modern beam controllers enable multi-beam and multi-focus technologies,where the beam is split in up to 60 individual beams.These technologies can reduce the processing time by parallel processing or improve the quality by optimized thermal expansion of the part.Multi-process technologies,where several processes are performed in one run (e.g.welding and cosmetic treatment) further extend the application range of the electron beam process.Fast beam deflection in conjunction with electron-optical monitoring is the fundamental component for advanced seam tracking systems.They allow automating the EB application in order to optimize the process costs and improve the quality of the re-sults in a reproducible manner.Basis for a high quality of the EB process is the condition of the tool,the electron beam itself.By in-troducing the beam parameter product to the electron beam,reliable information about the quality of the beam can be derived.Im-plemented into automatic beam alignment systems repeatable results with high quality are achieved. 展开更多
关键词 electron BEAM control system FAST BEAM deflection MULTI-BEAM TECHNOLOGY multi-focus TECHNOLOGY electron-optical monitoring SEAM tracking systems BEAM parameter product BEAM quality automatic BEAM alignment
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库德光路的五棱镜安装方法 被引量:2
13
作者 李庆波 王惠 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2014年第7期792-795,共4页
为实现库德光路的快速高精度装调,提供了一种基于自准直原理的五棱镜安装方法,给出了库德光路的原理和安装方法,并对组装后的库德光路进行误差分析。得出应用此方法安装库德光路的光学静态误差在15″以内,满足一般库德光路的技术要求。... 为实现库德光路的快速高精度装调,提供了一种基于自准直原理的五棱镜安装方法,给出了库德光路的原理和安装方法,并对组装后的库德光路进行误差分析。得出应用此方法安装库德光路的光学静态误差在15″以内,满足一般库德光路的技术要求。因此,此方法不仅可以适用于库德光路,对反射镜的安装也有一定的借鉴和参考。 展开更多
关键词 库德光路 快速高精度装调 自准直原理 五棱镜
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激光光散射系统的标定与调试 被引量:2
14
作者 王少清 娄本浊 +1 位作者 金卫东 张军 《光学仪器》 2006年第2期7-11,共5页
激光散射是研究液体中高分子和亚微米颗粒动态行为的最有效方法之一。讨论了标定与调试激光光散射系统的理论依据。结合实践介绍了标定与调试激光光散射系统的原理和方法。给出了一个实际例子。
关键词 光散射 光学系统 标定与调试 高聚物 纳米材料
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高分辨率星载光学系统装调过程的偏心误差分析 被引量:1
15
作者 王芬 王敏 +1 位作者 林峰 郭巧双 《光学仪器》 2015年第5期414-418,共5页
针对影响光学系统成像质量的装调误差,分析了偏心误差对高分辨率光学系统成像的影响。基于一款自主设计的接近衍射极限的高分辨率星载相机光学系统,利用Zemax光学软件分析光学装调过程中偏心误差对光学传递函数的影响,得出光学系统中各... 针对影响光学系统成像质量的装调误差,分析了偏心误差对高分辨率光学系统成像的影响。基于一款自主设计的接近衍射极限的高分辨率星载相机光学系统,利用Zemax光学软件分析光学装调过程中偏心误差对光学传递函数的影响,得出光学系统中各个分离元件对成像质量影响的权重,为光学系统的装调方案设计和实施提供了依据,实现了该光学系统2 500万像素高分辨率成像。这种误差分析方法实现了对光学系统装调过程的有效控制,提高了光学装调的效率。 展开更多
关键词 光学系统 高分辨率 偏心误差 装调
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2.16米天文望远镜光学系统的调整
16
作者 李德培 《光学仪器》 2001年第2期30-36,共7页
叙述了 2 .1 6米天文望远镜卡焦及折轴光学系统的调整原理与具体步骤。调整后用恒星在卡焦光学系统焦面拍摄了刀口阴影图 ,加入熔石英像场改正镜后 [1] ,还拍摄了全视场的恒星星团照片 ,全视场底片线尺寸为 30 cm× 30 cm。结果显... 叙述了 2 .1 6米天文望远镜卡焦及折轴光学系统的调整原理与具体步骤。调整后用恒星在卡焦光学系统焦面拍摄了刀口阴影图 ,加入熔石英像场改正镜后 [1] ,还拍摄了全视场的恒星星团照片 ,全视场底片线尺寸为 30 cm× 30 cm。结果显示 ,在全视场内从中心到边、角所有的星像都很圆 ,对其线大小测定 ,暗星直径为 0 .1 8mm~ 0 .2 0 mm。 展开更多
关键词 天文望远镜 光学系统 调整 卡焦 折轴
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基于引导光源颜色/闪烁频率的登陆艇光学引导策略及实现 被引量:1
17
作者 刘典宏 《光电技术应用》 2019年第4期29-33,共5页
通过光学引导手段可有效指引登陆艇夜间快速进入登陆舰坞舱,基于LED小发散矩形光场整形方法,设计了半峰全宽为2.3°×1.15°的LED引导光源,提出了基于引导光源颜色/闪烁频率的登陆艇光学对中方法,制作了5个颜色和闪烁频率... 通过光学引导手段可有效指引登陆艇夜间快速进入登陆舰坞舱,基于LED小发散矩形光场整形方法,设计了半峰全宽为2.3°×1.15°的LED引导光源,提出了基于引导光源颜色/闪烁频率的登陆艇光学对中方法,制作了5个颜色和闪烁频率不完全相同的LED引导光源,搭建了光学引导系统原理样机。水上实验表明,该样机能够有效实现登陆艇光学引导系统的对中效果。 展开更多
关键词 光学引导系统 LED引导光源 对中 登陆艇
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傅里叶望远镜光学系统装调及外场成像实验
18
作者 陈宝刚 董磊 +2 位作者 刘欣悦 明名 吴小霞 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2012年第3期480-484,共5页
提出傅里叶望远镜外场成像实验的光学系统组成,详细介绍光学系统的装调和检测过程,并对模拟目标进行成像实验。采用3束不同频率的激光照射模拟目标并在目标表面形成干涉条纹,利用拼接主镜接收散射回波能量,再经次镜汇聚,最后进入压缩透... 提出傅里叶望远镜外场成像实验的光学系统组成,详细介绍光学系统的装调和检测过程,并对模拟目标进行成像实验。采用3束不同频率的激光照射模拟目标并在目标表面形成干涉条纹,利用拼接主镜接收散射回波能量,再经次镜汇聚,最后进入压缩透镜组被光电倍增管探测。实验结果表明:主镜支撑结构稳定性优于0.075mrad,子镜指向调整精度优于0.05mrad,对安装的61块子镜进行共焦试验,光斑质心重合精度小于20mm。最后,对3mm的模拟目标进行外场成像实验,结果表明:室外环境下傅里叶望远镜的成像效果与实验室内成像效果及计算机仿真结果吻合较好,为后续反射模拟目标的成像提供了参考。 展开更多
关键词 傅里叶望远镜 拼接主镜 光学系统装调 外场成像
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基于干涉原理精确对中折衍混合器件的技术研究
19
作者 赵丽萍 赵子英 +2 位作者 邬敏贤 金国藩 严瑛白 《光子学报》 EI CAS CSCD 1998年第8期744-747,共4页
在折衍混合光学系统的加工和装配过程中,折、衍器件间的对中精度严重影响混合器件的质量和性能,但是由于衍射器件与传统折射器件的显著差异,传统的对中手段已不再适用,如何简便实现二者的精确对中是混合光学系统实用化过程中亟待解... 在折衍混合光学系统的加工和装配过程中,折、衍器件间的对中精度严重影响混合器件的质量和性能,但是由于衍射器件与传统折射器件的显著差异,传统的对中手段已不再适用,如何简便实现二者的精确对中是混合光学系统实用化过程中亟待解决的问题之一本文提出利用干涉原理简便地实现衍射器件与折射器件的高精度对中,理论分析和实验结果表明该对中装校方法是有效可行的。 展开更多
关键词 混合光学系统 折衍混合器件 干涉原理
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基于多视场星点椭圆率的望远镜主动准直方法
20
作者 李博 袁祥岩 +1 位作者 李正阳 卢海平 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第4期218-227,共10页
光学元件的准直失调会引起天文望远镜在观测过程中的像质退化,该问题在大口径快焦比的天文光学系统中更为突出。针对此问题,本文提出一种用于望远镜日常观测过程中的主动准直方法,通过星像解算实时校正副镜位置及姿态达到维持望远镜像... 光学元件的准直失调会引起天文望远镜在观测过程中的像质退化,该问题在大口径快焦比的天文光学系统中更为突出。针对此问题,本文提出一种用于望远镜日常观测过程中的主动准直方法,通过星像解算实时校正副镜位置及姿态达到维持望远镜像质的目的。该方法基于多视场星点椭圆率,利用粒子群优化算法迭代求解望远镜光学元件失调量,从而校正由光学元件失调引起的低阶像差。利用1.6 m多通道测光巡天望远镜光学系统进行模拟仿真,求解副镜失调量残余误差小于1%,在系统设计公差范围以内。利用南极巡天望远镜AST3-3模拟及实验验证,表明该方法可高精度求解望远镜光学元件的失调误差。 展开更多
关键词 光学望远镜 椭圆率分布 主动准直 粒子群优化算法 失调量
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