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超高精度面形干涉检测技术进展
被引量：
9
1
作者
侯溪
张帅
+6 位作者
胡小川
全海洋
吴高峰
贾辛
何一苇
陈强
伍凡
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第8期14-26,共13页
深紫外、极紫外光刻、先进光源等现代光学工程牵引驱动超精密光学技术持续发展,超精密光学制造要求与之精度相匹配的超高精度检测技术。作为核心技术指标之一的面形精度通常要求达到纳米、深亚纳米甚至几十皮米量级,超高精度面形干涉检...
深紫外、极紫外光刻、先进光源等现代光学工程牵引驱动超精密光学技术持续发展,超精密光学制造要求与之精度相匹配的超高精度检测技术。作为核心技术指标之一的面形精度通常要求达到纳米、深亚纳米甚至几十皮米量级,超高精度面形干涉检测技术挑战技术极限,具有重要研究意义和应用价值。本文分析了面形干涉检测技术发展趋势,主要介绍了中国科学院光电技术研究所近年来在超高精度面形干涉检测技术相关研究进展。
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关键词
先进光学制造
超精密光学
光学测量
面形检测
干涉检测
绝对检测
下载PDF
职称材料
面向制造的光学面形超精密测量技术研究进展
被引量：
5
2
作者
陈善勇
薛帅
+2 位作者
熊玉朋
彭小强
戴一帆
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2023年第3期167-180,共14页
超精密测量是光学制造的前提。高精度的光学面形测量仍然遵循零位检验原则,计算机生成全息图(CGH)是自由曲面等复杂面形零位检验所必需的补偿器。为此,面向制造过程,重点论述CGH补偿检验原理及其衍射级次的鬼像干扰、投影畸变校正、测...
超精密测量是光学制造的前提。高精度的光学面形测量仍然遵循零位检验原则,计算机生成全息图(CGH)是自由曲面等复杂面形零位检验所必需的补偿器。为此,面向制造过程,重点论述CGH补偿检验原理及其衍射级次的鬼像干扰、投影畸变校正、测量不确定度与绝对检验问题,探讨CGH补偿检验的局限与应对方法。针对制造过程中产生的动态演变局部大误差的测量难题,论述子孔径拼接测量、自适应补偿干涉测量方法,探讨加工原位干涉测量进展。最后,从超高精度测量与溯源、混合光学零件的宏微跨尺度测量、自主可控面形测量仪器及其原位集成三个方面对光学面形测量技术发展进行展望。
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关键词
测量
超精密测量
零位检验
光学面形计量
光学自由曲面
计算机生成全息图
原文传递
K-B镜面形高精度检测技术研究进展
被引量：
6
3
作者
张帅
侯溪
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第4期660-675,共16页
以新一代同步辐射光源和全相干X射线自由电子激光为代表的先进光源已成为众多学科领域中一种不可或缺的研究工具。先进光源技术不断进步,驱动超精密光学制造快速发展,先进光源中关键聚焦光学元件K-B镜的面形精度是影响光源性能的重要指...
以新一代同步辐射光源和全相干X射线自由电子激光为代表的先进光源已成为众多学科领域中一种不可或缺的研究工具。先进光源技术不断进步,驱动超精密光学制造快速发展,先进光源中关键聚焦光学元件K-B镜的面形精度是影响光源性能的重要指标,要求其在几十纳弧度以下。然而,高精度K-B镜面形检测技术依然存在较大技术挑战,一直是国内外研究热点。本文介绍了反射式轮廓测量技术即长程轮廓仪(LTP)、纳米测量仪(NOM)以及拼接干涉检测技术等典型K-B镜面形检测技术的基本原理,对比分析了其技术特点,综述了国内外K-B镜面形检测技术的研究现状和最新进展,对发展趋势进行了展望。
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关键词
X射线光学
K-B镜
光学测量
面形检测
拼接干涉
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职称材料
X射线柱面镜拼接检测大角度定位误差校正
4
作者
覃蝶
吴永前
+2 位作者
徐燕
张帅
邓婷
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2022年第17期425-433,共9页
为解决拼接干涉测量过程中的子孔径机械定位误差问题,提出一种基于遗传算法的定位误差补偿方法。该算法利用子孔径重叠区域匹配度作为适应度函数,再使用误差搜索算法计算并补偿子孔径测量过程中产生的定位误差。通过仿真及实验证明该算...
为解决拼接干涉测量过程中的子孔径机械定位误差问题,提出一种基于遗传算法的定位误差补偿方法。该算法利用子孔径重叠区域匹配度作为适应度函数,再使用误差搜索算法计算并补偿子孔径测量过程中产生的定位误差。通过仿真及实验证明该算法对子孔径机械定位误差的补偿能力。拟合柱面镜的仿真结果显示,该算法角度误差计算精度优于0.01°,平移误差计算精度优于0.16 mm,且补偿后的拼接面形与仿真面形基本一致。对曲率半径接近100 m的椭圆柱面镜的拼接测量实验结果表明,所提出的机械误差补偿算法可以有效补偿拼接测量过程中引入的机械定位误差,减少子孔径测量过程中对高精度机械位移平台的依赖。
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关键词
X射线光学
KirkpatrickBaez镜
光学测量
面形检测
拼接干涉仪
原文传递
题名
超高精度面形干涉检测技术进展
被引量：
9
1
作者
侯溪
张帅
胡小川
全海洋
吴高峰
贾辛
何一苇
陈强
伍凡
机构
中国科学院光电技术研究所
中国科学院大学
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第8期14-26,共13页
文摘
深紫外、极紫外光刻、先进光源等现代光学工程牵引驱动超精密光学技术持续发展,超精密光学制造要求与之精度相匹配的超高精度检测技术。作为核心技术指标之一的面形精度通常要求达到纳米、深亚纳米甚至几十皮米量级,超高精度面形干涉检测技术挑战技术极限,具有重要研究意义和应用价值。本文分析了面形干涉检测技术发展趋势,主要介绍了中国科学院光电技术研究所近年来在超高精度面形干涉检测技术相关研究进展。
关键词
先进光学制造
超精密光学
光学测量
面形检测
干涉检测
绝对检测
Keywords
advanced
optical
manufacturing
ultra-precision
optic
s
optical
measurement
surface
metrology
interferometry
absolute
measurement
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
TH741 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
面向制造的光学面形超精密测量技术研究进展
被引量：
5
2
作者
陈善勇
薛帅
熊玉朋
彭小强
戴一帆
机构
国防科技大学智能科学学院装备综合保障技术重点实验室
超精密加工技术湖南省重点实验室
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2023年第3期167-180,共14页
基金
国家自然科学基金(51975578,51991371)。
文摘
超精密测量是光学制造的前提。高精度的光学面形测量仍然遵循零位检验原则,计算机生成全息图(CGH)是自由曲面等复杂面形零位检验所必需的补偿器。为此,面向制造过程,重点论述CGH补偿检验原理及其衍射级次的鬼像干扰、投影畸变校正、测量不确定度与绝对检验问题,探讨CGH补偿检验的局限与应对方法。针对制造过程中产生的动态演变局部大误差的测量难题,论述子孔径拼接测量、自适应补偿干涉测量方法,探讨加工原位干涉测量进展。最后,从超高精度测量与溯源、混合光学零件的宏微跨尺度测量、自主可控面形测量仪器及其原位集成三个方面对光学面形测量技术发展进行展望。
关键词
测量
超精密测量
零位检验
光学面形计量
光学自由曲面
计算机生成全息图
Keywords
measurement
ultraprecision
measurement
null
test
optical
surface
metrology
freeform
optical
surface
s
computer
generated
hologram
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
K-B镜面形高精度检测技术研究进展
被引量：
6
3
作者
张帅
侯溪
机构
中国科学院光电技术研究所
中国科学院大学
出处
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第4期660-675,共16页
基金
国家自然科学基金面上资助项目(No.61675209)。
文摘
以新一代同步辐射光源和全相干X射线自由电子激光为代表的先进光源已成为众多学科领域中一种不可或缺的研究工具。先进光源技术不断进步,驱动超精密光学制造快速发展,先进光源中关键聚焦光学元件K-B镜的面形精度是影响光源性能的重要指标,要求其在几十纳弧度以下。然而,高精度K-B镜面形检测技术依然存在较大技术挑战,一直是国内外研究热点。本文介绍了反射式轮廓测量技术即长程轮廓仪(LTP)、纳米测量仪(NOM)以及拼接干涉检测技术等典型K-B镜面形检测技术的基本原理,对比分析了其技术特点,综述了国内外K-B镜面形检测技术的研究现状和最新进展,对发展趋势进行了展望。
关键词
X射线光学
K-B镜
光学测量
面形检测
拼接干涉
Keywords
X-ray
optic
s
K-B
mirror
optical
measurement
surface
metrology
stitching
interferometer
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
X射线柱面镜拼接检测大角度定位误差校正
4
作者
覃蝶
吴永前
徐燕
张帅
邓婷
机构
中国科学院光电技术研究所
中国科学院大学
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2022年第17期425-433,共9页
基金
国家重点研发计划(2016YFA0401304)。
文摘
为解决拼接干涉测量过程中的子孔径机械定位误差问题,提出一种基于遗传算法的定位误差补偿方法。该算法利用子孔径重叠区域匹配度作为适应度函数,再使用误差搜索算法计算并补偿子孔径测量过程中产生的定位误差。通过仿真及实验证明该算法对子孔径机械定位误差的补偿能力。拟合柱面镜的仿真结果显示,该算法角度误差计算精度优于0.01°,平移误差计算精度优于0.16 mm,且补偿后的拼接面形与仿真面形基本一致。对曲率半径接近100 m的椭圆柱面镜的拼接测量实验结果表明,所提出的机械误差补偿算法可以有效补偿拼接测量过程中引入的机械定位误差,减少子孔径测量过程中对高精度机械位移平台的依赖。
关键词
X射线光学
KirkpatrickBaez镜
光学测量
面形检测
拼接干涉仪
Keywords
Xray
optic
s
KirkpatrickBaez
mirror
optical
measurement
surface
metrology
stitching
interferometer
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超高精度面形干涉检测技术进展
侯溪
张帅
胡小川
全海洋
吴高峰
贾辛
何一苇
陈强
伍凡
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2020
9
下载PDF
职称材料
2
面向制造的光学面形超精密测量技术研究进展
陈善勇
薛帅
熊玉朋
彭小强
戴一帆
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2023
5
原文传递
3
K-B镜面形高精度检测技术研究进展
张帅
侯溪
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
6
下载PDF
职称材料
4
X射线柱面镜拼接检测大角度定位误差校正
覃蝶
吴永前
徐燕
张帅
邓婷
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2022
0
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