光纤光谱仪光路模拟优化及波长标定 被引量：10

1

作者 徐丹阳 童建平 +1 位作者 高建勋 汪飞 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期325-329,共5页

光学系统是光谱仪的核心部件,决定了整个仪器的基本性能与体积。因此分析了几种光学系统的利弊,最终确定采用交叉非对称切尔尼-特纳系统,并用Zemax软件对光路进行了优化设计,确定整体分辨率为1.8 nm,测量范围为200~900 nm。利用Matlab... 光学系统是光谱仪的核心部件,决定了整个仪器的基本性能与体积。因此分析了几种光学系统的利弊,最终确定采用交叉非对称切尔尼-特纳系统,并用Zemax软件对光路进行了优化设计,确定整体分辨率为1.8 nm,测量范围为200~900 nm。利用Matlab软件求解最小二乘法三阶多项式的拟合系数,采用HG-1汞-氩校准光源对波长进行三阶曲线拟合校正,使其相对波长误差控制在0.05 nm以内。与USB4000光纤光谱仪进行了数据对比分析,表明该设计思路及方法切实可行。 展开更多

关键词 光学设计 光路 模拟优化 波长标定

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一种基于TDLAS的高分辨率二维温度场重建算法及数值仿真 被引量：8

2

作者 李金义 朱可柯 +2 位作者 杜振辉 周涛 姚宏宝 《实验流体力学》 CAS CSCD 北大核心 2014年第3期63-71,共9页

发展了一种基于TDLAS正交光路的二维燃烧场温度重建算法,为了评价该重建方法,数值仿真了2 N(N≥3)条视线(Light-of-sight,LOS)测量路径呈N×N均匀排布时对两种不同的温度场的二维重建结果,并定义了最大偏差和平均偏差两个物理量来描... 发展了一种基于TDLAS正交光路的二维燃烧场温度重建算法,为了评价该重建方法,数值仿真了2 N(N≥3)条视线(Light-of-sight,LOS)测量路径呈N×N均匀排布时对两种不同的温度场的二维重建结果,并定义了最大偏差和平均偏差两个物理量来描述N值对重建结果的影响。结果表明,对于对称的单峰非均匀温度场,重建的温度场最大偏差在50K(2.5%)以内,最大偏差随N的奇偶而波动,其总体趋势随N增大而减小;平均偏差随着N的增大而减小,N≥9时最大偏差和平均偏差的改善均已不明显;对于双峰温度场,用该方法二维重建的结果最大偏差超过350K(15.2%),平均偏差大于0.03,并出现严重失真,此时可通过额外布置斜穿待测场的测量路径来改善测量结果。研究结果对实际的二维测量系统的搭建和应用有指导意义。 展开更多

关键词 二维温度场重建 调谐激光吸收光谱 正交光路 数值仿真

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复杂光学系统鬼像分析的单向链表实现算法 被引量：7

3

作者 胡福生 金光 张楠 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第3期322-325,共4页

光学系统的杂散光极易在系统内形成多个鬼像,严重影响光束质量和传输特性。主要研究了复杂光学系统中折射面的多次反射和衍射面的多级衍射而形成的杂散光及其数学模型与计算方法,提出了一种采用单向链表数据结构进行鬼像分析的更加简洁... 光学系统的杂散光极易在系统内形成多个鬼像,严重影响光束质量和传输特性。主要研究了复杂光学系统中折射面的多次反射和衍射面的多级衍射而形成的杂散光及其数学模型与计算方法,提出了一种采用单向链表数据结构进行鬼像分析的更加简洁、高效的实现算法。编制了专门的杂散光分析软件,实例计算表明,采用该软件可以快速地分析含衍射元件的复杂光学系统的杂散光,全面描述鬼像在像面的位置和能量分布,分析结果对在光学系统设计阶段排除鬼像的潜在危害具有重要参考价值。 展开更多

关键词 鬼像 杂光 光线追迹 光路模拟

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基于ZEMAX的柚果内部品质光谱无损检测光路仿真与试验

4

作者 陈鑫 徐赛 +1 位作者 陆华忠 梁鑫 《华南农业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期618-623,共6页

[目的]解决柚果Citrus maxima在无损检测中采集的光谱信息较弱、柚果内部品质检测不准确的问题。[方法]采用ZEMAX软件对光谱无损检测光路进行光学仿真,并搭建实物装置进行测试与验证。为进一步验证该光路对柚果内部品质的无损检测效果,... [目的]解决柚果Citrus maxima在无损检测中采集的光谱信息较弱、柚果内部品质检测不准确的问题。[方法]采用ZEMAX软件对光谱无损检测光路进行光学仿真,并搭建实物装置进行测试与验证。为进一步验证该光路对柚果内部品质的无损检测效果,采集400~1 100 nm波段132个柚果光谱数据,理化测定其可溶性固形物含量并进行训练建模和测试验证。[结果]最优光路参数为:灯珠数量为7、柚果与光源间距为2 cm,探测器与柚果间距为0.5 cm。通过Savitzky-Golay (SG)平滑和标准正态变换(Standard normal variate,SNV)预处理,竞争自适应重加权采样(Competitive adaptive reweighted sampling,CARS)特征选择,建立柚果糖度偏最小二乘回归(Partial least squares regression,PLSR)预测模型,训练集R2和RMSE分别为0.81和0.85,测试集R2和RMSE分别为0.81和0.89。[结论]本研究得到的柚果光谱无损检测光路参数可用于柚果内部品质的无损检测,检测效果较好,也为其他大尺寸水果内部无损检测提供了参考。 展开更多

关键词 柚果 ZEMAX 光路优化 光学仿真 无损检测 建模识别

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纸膜双层缺陷检测的视觉成像光场设计

5

作者 蒋仕飞 张兆国 +3 位作者 王法安 解开婷 王成琳 李治 《中国光学（中英文）》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期354-365,共12页

为实现包装盒纸质基底层和透明膜层缺陷的同步检测,开展了对纸和膜缺陷的同步成像研究。首先,分别建立了标准球面积分光场、椭球面积分光场和弧面积分光场模型,并利用COMSOL Multiphysics 5.6对3类光场进行射线仿真,对比分析了球面积分... 为实现包装盒纸质基底层和透明膜层缺陷的同步检测,开展了对纸和膜缺陷的同步成像研究。首先,分别建立了标准球面积分光场、椭球面积分光场和弧面积分光场模型,并利用COMSOL Multiphysics 5.6对3类光场进行射线仿真,对比分析了球面积分光场下射线角度均匀性及辐照均匀性,通过正交仿真优化椭球面积分光场参数;其次,在椭球面积分光场环境、亮场前打光环境、暗场前打光环境下对包装盒成像。与此同时,对包装盒的油污、抵触、开口、泡皱、破损5项常见缺陷依次进行物理检测和机器视觉检测,验证缺陷成像的有效性。试验结果表明,在椭球面积分光场下成像,图像对纸质基底层缺陷特征、透明膜层缺陷特征均有较好的呈现效果,图像上油污、抵触、开口、泡皱、破损的物理检出率分别为96.2%、92.5%、100%、95%、92%,异常检出率分别为98.6%、97.5%、100%、100%、98.4%,缺陷类别检出率分别为97.6%、96%、100%、97%、96%。研究结果表明,椭球面积分光场光路角度和辐照强度均匀,覆透明膜包装盒的缺陷特征呈现清晰,满足工业生产的检测要求。 展开更多

关键词 光路仿真 透明膜成像 球面积分光场 缺陷特征成像 视觉检测 COMSOL Multiphysics 5.6射线仿真

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显微荧光光谱采集系统的设计与可行性分析

6

作者 杜宪炟 陈和 +2 位作者 郭磐 张寅超 陈思颖 《光电技术应用》 2023年第3期30-35,共6页

显微荧光光谱采集常使用价格高昂的增强电荷耦合器件(ICCD)作为光探测器,为了增强快速采集信号的能力并控制成本,围绕多通道阳极光电倍增管(PMT)线阵探测器的使用需求,设计了一种可见光波段工作的显微荧光光谱采集系统。包括激光激发、... 显微荧光光谱采集常使用价格高昂的增强电荷耦合器件(ICCD)作为光探测器,为了增强快速采集信号的能力并控制成本,围绕多通道阳极光电倍增管(PMT)线阵探测器的使用需求,设计了一种可见光波段工作的显微荧光光谱采集系统。包括激光激发、物镜聚焦和采集、荧光传输等结构,并最终耦合至光纤接收信号。通过显微物镜及荧光光学系统性能分析,以及结合线阵PMT探测器特性的信噪比分析计算,在激发光源使用波长360 nm,功率为20 mW的紫外激光时,激光光斑在3.4μm包围圆范围内包含80%以上的能量。采集范围超过5μm时可获取90%以上的荧光辐射能量。采集积分时间为0.2 ms时信噪比超过10,能够得到强度足够的信号,满足显微荧光光谱采集的需求。 展开更多

关键词 显微光路 系统设计 光电倍增管阵列 仿真模拟 信噪比计算

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杨氏双缝干涉图样的理论模拟 被引量：4

7

作者 何坤娜 韩萍 +1 位作者 朱世秋 金仲辉 《物理通报》 2016年第3期25-28,共4页

本文在未经任何理论近似的情况下，模拟了杨氏双缝干涉实验中观察屏上的干涉图样，模拟结果不但有利于学生全面掌握干涉条纹的分布规律，而且有助于学生体会实验条件的重要性．

关键词 双缝干涉 光程差 模拟

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一种基于光线光学的杂光分析模型 被引量：3

8

作者 岑兆丰 何志平 +2 位作者 李晓彤 朱启华 张清泉 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2003年第23期188-190,共3页

光学系统的杂散光极易在系统内形成多个鬼像,这不仅严重影响光束质量和传输特性,并可能对系统光学元件造成永久性损伤。该文提出了一种基于光线追迹的分析光学系统杂光影响的有效方法,建立适合各类光学系统杂散光及鬼像分析的数理模型... 光学系统的杂散光极易在系统内形成多个鬼像,这不仅严重影响光束质量和传输特性,并可能对系统光学元件造成永久性损伤。该文提出了一种基于光线追迹的分析光学系统杂光影响的有效方法,建立适合各类光学系统杂散光及鬼像分析的数理模型。编制了专门的杂散光分析软件,通过计算机光路模拟,对光学系统中的鬼光束进行全面、系统分析,可得出系统鬼像及关键元件处的能量密度,从而在光学系统设计阶段排除鬼像的潜在危害。 展开更多

关键词 鬼像 杂光 光线追迹 计算机光路模拟 光学系统

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手持/便携式激光拉曼测试装置中探头的设计与实验研究 被引量：3

9

作者 高楠 张一超 +1 位作者 徐丹阳 隋成华 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期83-91,共9页

从手持/便携式角度出发,采用双光纤光路设计了激光拉曼测试装置中的探头,并确定关键器件性能、型号及尺寸.利用Zemax软件进行光学模拟仿真,得到入射光路的工作焦距为13.5mm,像方数值孔径为0.23;收集光路的像面焦距为13.46mm,数值孔径为0... 从手持/便携式角度出发,采用双光纤光路设计了激光拉曼测试装置中的探头,并确定关键器件性能、型号及尺寸.利用Zemax软件进行光学模拟仿真,得到入射光路的工作焦距为13.5mm,像方数值孔径为0.23;收集光路的像面焦距为13.46mm,数值孔径为0.235.用SolidWorks软件进行机械设计,TracePro软件进行探头整体光路模拟,通过计算机数字控制机加工和3D打印两种方式制作得到整体尺寸为50mm×33.5mm×17mm的探头.用设计的拉曼探头对酒精样品进行了测试,测得酒精拉曼光谱与商用产品测得的结果基本一致,且在200~300cm^-1波数范围内有更好的信号表现.对K粉及冰毒进行了拉曼光谱测试,实测数据与理论数据基本一致.实验结果表明拉曼探头的设计达到了预期效果,并具有良好的性能. 展开更多

关键词 光学设计 拉曼光谱 拉曼探头 激光 光路模拟

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光学电压传感器互易性光路研究 被引量：3

10

作者 周扬 王黎明 +2 位作者 王腾 曾令强 杨娅姣 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第7期81-88,共8页

提高光学电压传感器光路中光波相位差传输稳定性的关键是对系统光路寄生干扰相位差的抑制。为此研究了一种基于晶体材料Pockels效应,并结合sagnac光路结构形成的光学电压传感器,在分析该光路结构互易性机理基础上,提出了将系统光路改为... 提高光学电压传感器光路中光波相位差传输稳定性的关键是对系统光路寄生干扰相位差的抑制。为此研究了一种基于晶体材料Pockels效应,并结合sagnac光路结构形成的光学电压传感器,在分析该光路结构互易性机理基础上,提出了将系统光路改为使用熊猫型保偏光纤和低双折射旋转光纤相结合的形式以消除光敏感电路段产生的模式相位差,从而提高了传感器光路互易性。建立了系统光路温度场与热应力数学模型,利用有限元仿真研究了外界环境温度对其相位差传播产生的影响特性,得到外界温度每增加1℃,光路双折射平均减小2.27521×10^(-7)。基于此,对该互易性光路进行了实验研究,实验表明:温度对测量结果最大影响为1.7339%/℃,当环境温度上升10℃时,相比光路全采用熊猫型保偏光纤,传感器测量准确度从6.008%提高至1.53%;当温度上升20℃时,准确度从52.016%提高至8.13%。可初步证明该互易性光路的可行性。 展开更多

关键词 光学电压传感器 光路互易性 相位差 有限元仿真 温度特性

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四种典型旋转型干涉仪的光程差分析和仿真 被引量：2

11

作者 冯明春 刘文清 +4 位作者 徐亮 高闽光 魏秀丽 童晶晶 李相贤 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期3214-3219,共6页

从经典迈克尔逊干涉仪结构出发,主要分析了四种旋转型干涉仪的结构特点,以及干涉仪的光程差与旋转角度之间的关系。通过设定参数,使用干涉仪光程差表达式对这四种旋转型干涉仪的光程差作了模拟仿真。在干涉仪光程差表达式基础上,对这四... 从经典迈克尔逊干涉仪结构出发,主要分析了四种旋转型干涉仪的结构特点,以及干涉仪的光程差与旋转角度之间的关系。通过设定参数,使用干涉仪光程差表达式对这四种旋转型干涉仪的光程差作了模拟仿真。在干涉仪光程差表达式基础上,对这四种旋转型干涉仪的旋转速度与旋转角度之间关系也作了模拟仿真。通过对干涉仪光程差的模拟仿真和比较,能够直观地反映出干涉仪光程差与旋转角度之间的关系。在要求运动速度误差控制在3%以内情况下,讨论了四种旋转型干涉仪的旋转角度范围。通过对干涉仪的光程差分析和仿真,这对于研究干涉仪的结构和性能分析具有很好的借鉴意义。 展开更多

关键词 傅里叶变换干涉仪 光程差 旋转角度 仿真

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大气SO2检测模块的光路研究 被引量：1

12

作者 苏杭 王桂梅 +1 位作者 张振兴 郭炜 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2020年第2期266-270,共5页

为了适应当下网格化大气监测中低体积分数的SO2气体检测需要,针对紫外荧光法模块化应用的光路关键性问题,将物远心光学系统与双平凸组合光学系统相结合,应用于SO2检测模块的激发光路和采集光路上。采用多光学系统优势互补的方法,进行了... 为了适应当下网格化大气监测中低体积分数的SO2气体检测需要,针对紫外荧光法模块化应用的光路关键性问题,将物远心光学系统与双平凸组合光学系统相结合,应用于SO2检测模块的激发光路和采集光路上。采用多光学系统优势互补的方法,进行了理论分析和实验验证。通过模型的建立,分析了光路系统对反应室信噪比的影响,结合ZEMAX软件仿真、蒙特卡洛法公差评价分析与整个光学系统的间接实验验证,取得了该优化光路系统应用。结果表明,其仪器线性度的相关系数的平方能够达到0.9999。该光学系统具有较强的应用价值,能够为紫外荧光法模块化光路系统设计提供理论依据与实验数据支持。 展开更多

关键词 光学设计 光路研究 光路建模 ZEMAX仿真 实验分析

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NO快速检测光腔结构设计与光路仿真

13

作者 李文 蔡永青 +1 位作者 陈梦凡 刘鹏 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第11期2146-2152,共7页

根据NO与臭氧的化学发光反应机理,提出了一种基于化学发光反应检测原理的用于NO气体快速检测的新型圆柱全反射S型光腔结构。该结构以圆柱内壁全反射S型结构为光腔模型,采用圆柱体光源作为光散射元件,将化学发光光线最大效率地汇聚到探... 根据NO与臭氧的化学发光反应机理,提出了一种基于化学发光反应检测原理的用于NO气体快速检测的新型圆柱全反射S型光腔结构。该结构以圆柱内壁全反射S型结构为光腔模型,采用圆柱体光源作为光散射元件,将化学发光光线最大效率地汇聚到探测器的感光面,增强了NO浓度测量信号,提高了检测精度。采用光学软件ZEMAX对所提模型进行光路仿真,通过对比分析表明,S型光腔采集光路对化学发光的采集效率为36.6%。通过实验验证,结果表明,在一定浓度范围内NO气体浓度与化学反应发光强度线性相关度为0.999 2,在量程0‰~2.5‰的范围内,检出限为0.001‰。所提模型结构简单,满足国家标准,为尾气在线检测提供了一种实用的设计方案。 展开更多

关键词 S型光腔结构 光路仿真 NO浓度 化学发光 ZEMAX

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新型光弹调制干涉具研究 被引量：1

14

作者 张瑞 王志斌 +4 位作者 李晋华 杨强 黄艳飞 王耀利 张鹏飞 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期938-942,共5页

针对单个光弹调制器((Photoelastic Modulator,PEM))干涉具受到材料本身热、力学的限制,产生的最大光程差小,而多个PEM串联又难以控制,且多个PEM界面的多次反射将使光能大量损失等缺点,提出一种在单PEM上贴全反射膜经过多次反射有效提... 针对单个光弹调制器((Photoelastic Modulator,PEM))干涉具受到材料本身热、力学的限制,产生的最大光程差小,而多个PEM串联又难以控制,且多个PEM界面的多次反射将使光能大量损失等缺点,提出一种在单PEM上贴全反射膜经过多次反射有效提高最大光程的方法。理论推导分析了不同反射情况对光程差的影响,并得到任意角任意位置入射经多次反射后产生最大光程差的公式与光谱反演公式,且通过COMSOL、MATLAB、ZEMAX仿真和实验验证其可行性。实验选用的弹光晶体为硒化锌(ZeSe),压电晶体为石英,结果显示实验与理论的相对误差为0.21%,为该方法的工程应用提供了参考。 展开更多

关键词 光弹调制 多反射 光程差 干涉具 仿真

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中国稀土产业政策的最优化和数值模拟 被引量：1

15

作者 谢畅 《资源与产业》 2021年第6期1-12,共12页

对稀土矿产资源最优开采和征税模式的研究对于提高资源配置效率,解决环境污染问题,走出贫困化增长困境具有重要意义。针对稀土行业的特点,论文基于Hotelling模型提供了一个分析中国稀土市场的框架,建立了最优开采量和稀土价格的数理模型... 对稀土矿产资源最优开采和征税模式的研究对于提高资源配置效率,解决环境污染问题,走出贫困化增长困境具有重要意义。针对稀土行业的特点,论文基于Hotelling模型提供了一个分析中国稀土市场的框架,建立了最优开采量和稀土价格的数理模型,说明了稀土净价格变化、环境污染对于最优产量和价格路径的影响。利用现有的市场数据,论文对未来的稀土供应量和价格进行了数值计算,并对各种税制的效率和问题进行了比较。研究表明:1)在中国资源储量固定的条件下,假设稀土新的市场需求稳步增长,中国稀土的最优产量长期维持在13万t/a,最优现期价格在19万元/t,并随时间稳步上升。目前国内生产配额和最优产量比较接近,但是价格明显低于最优价格。2)不考虑新的市场需求,仅考虑环境治理成本,稀土的最优产量长期维持在22万t/a,环境治理成本逐渐上升至最高100亿元/a之后逐渐下降。稀土生产的污染程度越高,环境的自我净化能力越弱,最优产量相应降低,资源耗尽的时间相对延长。 展开更多

关键词 稀土产业 最优开采路径 外部性 环境税 数值模拟

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变光程长方法测量物质的光学参数

16

作者 李刚 李靖瑶 林凌 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期403-405,共3页

采用变光程长的方法,并应用带有数值孔径的光谱仪,对物质的光学参数进行测量。以去离子水为例,通过微米位移进给机构,对水的吸收峰处光学参数进行测量,得到其吸收系数为26.154 cm-1,与现有文献的26cm-1或28 cm-1较符合,散射系数为6 cm-... 采用变光程长的方法,并应用带有数值孔径的光谱仪,对物质的光学参数进行测量。以去离子水为例,通过微米位移进给机构,对水的吸收峰处光学参数进行测量,得到其吸收系数为26.154 cm-1,与现有文献的26cm-1或28 cm-1较符合,散射系数为6 cm-1。采用蒙特卡罗仿真,对测量数据进行评价。通过与现有的测量结果进行比较和蒙特卡罗仿真表明,此方法测量的物质参数较为准确;通过对标准差的计算可知,实验结果的一致性较好,且重复性较高。 展开更多

关键词 变光程长 近红外光谱 光学参数 去离子水 蒙特卡罗仿真

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连续可调高分辨率光程发生系统

17

作者 张继彬 曹国华 +1 位作者 王立明 丁红昌 《机械工程师》 2017年第1期51-54,共4页

提出了一种多次反射光程发生系统,该系统具有高分辨率、光程连续可调的特点,分辨率可达毫米级。系统由3个曲率半径相同的球面反射镜组成,光线从一端射入,在反射镜组中经过多次反射后从另一端射出,进而产生光程。光线在系统中反射次数受... 提出了一种多次反射光程发生系统,该系统具有高分辨率、光程连续可调的特点,分辨率可达毫米级。系统由3个曲率半径相同的球面反射镜组成,光线从一端射入,在反射镜组中经过多次反射后从另一端射出,进而产生光程。光线在系统中反射次数受多种因素影响,文中采用的调节镜片相对位置的方法可有效改变光线在反射镜组中的反射次数并改变系统的光程。通过建模软件建立光程发生系统的几何模型并进行仿真实验,实验结果表明系统产生的光程连续可调。对光程发生系统进行光学仿真,得到仿真图像与照度图表,分析并得出系统每一级光程的调节范围。分析计算光程发生系统的散斑失真影响,计算结果显示系统的散斑在可接受范围内,对光程的影响可忽略,系统可行。 展开更多

关键词 光学设计 光程发生系统 仿真实验 散斑失真

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数字电影反光镜3D扫描面形检测与评价

18

作者 吕少波 王银河 +3 位作者 雷鹏 姚春龙 高鹏 阴晓俊 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2013年第1期117-122,共6页

通过3D扫描的方法,对椭球反光镜的面形进行了检测,并与标准椭球面形进行最佳拟合对比,以E210反光镜为例。结果表明:3D扫描能够完成椭球反光镜的检测,E210反光镜在底孔部位存在加工过量,在端口部位存在近似"十字形"对称的加工... 通过3D扫描的方法,对椭球反光镜的面形进行了检测,并与标准椭球面形进行最佳拟合对比,以E210反光镜为例。结果表明:3D扫描能够完成椭球反光镜的检测,E210反光镜在底孔部位存在加工过量,在端口部位存在近似"十字形"对称的加工不足的现象,加工误差范围为-0.06mm～+0.08mm,符合轮廓度误差±0.1mm的要求。3D扫描点云能够进行逆向反求并建立实际反射面模型,进一步模拟反光镜的反射光斑形状、大小等参数,模拟结果与检测结果一致。 展开更多

关键词 椭球反光镜 3D扫描 面形偏差 光路模拟

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干涉空间相位光刻对准方法研究

19

作者 马平 胡松 +1 位作者 周绍林 徐文祥 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第10期634-637,642,共5页

介绍了一种适合高分辨力接近/接触式光刻的新型纳米级光刻对准方法。简要阐述了该对准方法的基本原理,探讨了应用该对准方法的光学结构设计,提出了照明光路与干涉条纹捕获光路的垂直设计,采用单色非曝光光源远心照明方式并外加补偿光路... 介绍了一种适合高分辨力接近/接触式光刻的新型纳米级光刻对准方法。简要阐述了该对准方法的基本原理,探讨了应用该对准方法的光学结构设计,提出了照明光路与干涉条纹捕获光路的垂直设计,采用单色非曝光光源远心照明方式并外加补偿光路的结构设计。在软件处理方面,提出采用九点四线曲面拟合面阵CCD细分方法及最小二乘曲线拟合定位方法,实现光刻对准精度的进一步提高。该光刻对准方法能够克服现有对准技术的诸多缺陷,具有纳米级对准精度,能够满足纳米光刻的对准需求。 展开更多

关键词 干涉空间相位对准 莫尔条纹 补偿光路 CCD细分 曲线拟合

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光程可调吸收气室气体传感器研究 被引量：8

20

作者 程跃 罗晓乐 +3 位作者 刘磊 张鹏 吴礼章 叶杨高 《传感器与微系统》 CSCD 2016年第6期56-58,65,共4页

光程可调吸收气室可满足光纤气体传感器不同探测灵敏度和量程的需求。介绍了吸收气室的基本结构,并利用Trace Pro软件对气室进行了光学仿真设计和分析,确定了多次反射池的光学参数。对气室的结构、防腐工艺、密封工艺及光程可调节进行... 光程可调吸收气室可满足光纤气体传感器不同探测灵敏度和量程的需求。介绍了吸收气室的基本结构,并利用Trace Pro软件对气室进行了光学仿真设计和分析,确定了多次反射池的光学参数。对气室的结构、防腐工艺、密封工艺及光程可调节进行了研究。通过调试和实验测量,结果表明：气室光程可在0.8~30 m范围调节,完全可应用于低浓度气体（对应长光程气室）和高浓度气体（对应短光程气室）的检测。 展开更多

关键词 光纤气体传感器 吸收气室 可调光程 气室光学仿真 TRACEPRO

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